TN-MSP325S-2DCRF
TN
이 DC/RF 3헤드 고진공 마그네트론 스퍼터링 코팅기는 효율적이고 정확한 필름 증착을 위한 첨단 기술과 정밀 제어를 제공합니다.고진공 환경으로 깨끗하고 오염 없는 코팅 공정을 보장합니다.
코터에는 3개의 마그네트론 스퍼터링 헤드가 장착되어 있어 여러 층을 동시에 증착할 수 있습니다.이를 통해 두께와 구성을 정밀하게 제어하여 복잡한 다층 필름을 생산할 수 있습니다.
고품질 진공 시스템을 갖춘 이 코터는 탁월한 필름 균일성과 접착력을 보장합니다.스퍼터링 헤드는 안정적이고 일관된 플라즈마 방전을 제공하여 필름 밀도를 높이고 다공성을 낮춥니다.
이 장비는 사용자 친화적이며 쉽게 작동하고 제어할 수 있는 사용자 인터페이스가 함께 제공됩니다.DC 및 RF 스퍼터링을 포함한 다양한 증착 모드를 제공하여 필름 준비에 유연성을 제공합니다.
견고한 구조와 안정적인 성능을 갖춘 이 코터는 연구 개발 실험실은 물론 산업 생산 시설에도 적합합니다.뛰어난 광학 특성을 지닌 SiO2/Ta2O5 다층 광학 필름 제조를 위한 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.
요약하자면, DC/RF 3헤드 고진공 마그네트론 스퍼터링 코팅기는 SiO2/Ta2O5 다층 광학 필름을 정확하고 효율적으로 증착하는 전문가급 장비입니다.고급 기능과 사용자 친화적인 인터페이스는 다양한 박막 응용 분야에 이상적인 선택입니다.
마그네트론 스퍼터링 코팅기 기술 매개변수:
샘플 스테이지 | 크기 | 직경 140mm |
가열 온도 | 최대 500℃ | |
온도 정확도 | ±1℃ | |
회전 속도 | 1-20rpm 조절 가능 | |
마그네트론 스퍼터링 헤드 | 수량 | 2'×3(1',2' 선택) |
냉각 모드 | 수냉식 | |
물 냉각기 | 유속 10L/min의 순환수 냉각기 | |
진공 챔버 | 챔버 크기 | 직경300mm×300mm |
챔버 재료 | 스테인레스 스틸 | |
감시 창 | 직경 100mm | |
개방 모드 | 상단 커버 열림 | |
질량유량계 | 2개 채널;측정 범위 100SCCM;100SCCM (고객 요구에 따라 맞춤 설정 가능) | |
진공 시스템 | 모델 | TN-GZK103-A |
분자펌프 | TN-600 | |
배압 펌프 | 로터리 베인 펌프 | |
궁극의 진공 | 1.0E-5Pa | |
펌핑 인터페이스 | CF160 | |
배기 인터페이스 | KF40 | |
진공 측정 | 복합 진공 게이지 | |
전원공급장치 | AC;220V 50/60Hz | |
펌핑 속도 | 분자 펌프: 600L/S 회전 날개 펌프: 1.1L/S 포괄적인 가스 펌핑 성능: 20분 안에 최대 1.0E-3Pa까지 진공 처리 | |
전원 구성 | 수량 | DC 전원 x2 RF 전원 공급 장치 x1 |
최대 출력 전력 | DC 500W, RF 500W | |
기타 매개변수 | 전원 전압 | AC220V,50Hz |
총 전력 | 4KW | |
전체 크기 | 600mm×650mm×1280mm | |
총 무게 | 약 300kg | |
이 DC/RF 3헤드 고진공 마그네트론 스퍼터링 코팅기는 효율적이고 정확한 필름 증착을 위한 첨단 기술과 정밀 제어를 제공합니다.고진공 환경으로 깨끗하고 오염 없는 코팅 공정을 보장합니다.
코터에는 3개의 마그네트론 스퍼터링 헤드가 장착되어 있어 여러 층을 동시에 증착할 수 있습니다.이를 통해 두께와 구성을 정밀하게 제어하여 복잡한 다층 필름을 생산할 수 있습니다.
고품질 진공 시스템을 갖춘 이 코터는 탁월한 필름 균일성과 접착력을 보장합니다.스퍼터링 헤드는 안정적이고 일관된 플라즈마 방전을 제공하여 필름 밀도를 높이고 다공성을 낮춥니다.
이 장비는 사용자 친화적이며 쉽게 작동하고 제어할 수 있는 사용자 인터페이스가 함께 제공됩니다.DC 및 RF 스퍼터링을 포함한 다양한 증착 모드를 제공하여 필름 준비에 유연성을 제공합니다.
견고한 구조와 안정적인 성능을 갖춘 이 코터는 연구 개발 실험실은 물론 산업 생산 시설에도 적합합니다.뛰어난 광학 특성을 지닌 SiO2/Ta2O5 다층 광학 필름 제조를 위한 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다.
요약하자면, DC/RF 3헤드 고진공 마그네트론 스퍼터링 코팅기는 SiO2/Ta2O5 다층 광학 필름을 정확하고 효율적으로 증착하는 전문가급 장비입니다.고급 기능과 사용자 친화적인 인터페이스는 다양한 박막 응용 분야에 이상적인 선택입니다.
마그네트론 스퍼터링 코팅기 기술 매개변수:
샘플 스테이지 | 크기 | 직경 140mm |
가열 온도 | 최대 500℃ | |
온도 정확도 | ±1℃ | |
회전 속도 | 1-20rpm 조절 가능 | |
마그네트론 스퍼터링 헤드 | 수량 | 2'×3(1',2' 선택) |
냉각 모드 | 수냉식 | |
물 냉각기 | 유속 10L/min의 순환수 냉각기 | |
진공 챔버 | 챔버 크기 | 직경300mm×300mm |
챔버 재료 | 스테인레스 스틸 | |
감시 창 | 직경 100mm | |
개방 모드 | 상단 커버 열림 | |
질량유량계 | 2개 채널;측정 범위 100SCCM;100SCCM (고객 요구에 따라 맞춤 설정 가능) | |
진공 시스템 | 모델 | TN-GZK103-A |
분자펌프 | TN-600 | |
배압 펌프 | 로터리 베인 펌프 | |
궁극의 진공 | 1.0E-5Pa | |
펌핑 인터페이스 | CF160 | |
배기 인터페이스 | KF40 | |
진공 측정 | 복합 진공 게이지 | |
전원공급장치 | AC;220V 50/60Hz | |
펌핑 속도 | 분자 펌프: 600L/S 회전 날개 펌프: 1.1L/S 포괄적인 가스 펌핑 성능: 20분 안에 최대 1.0E-3Pa까지 진공 처리 | |
전원 구성 | 수량 | DC 전원 x2 RF 전원 공급 장치 x1 |
최대 출력 전력 | DC 500W, RF 500W | |
기타 매개변수 | 전원 전압 | AC220V,50Hz |
총 전력 | 4KW | |
전체 크기 | 600mm×650mm×1280mm | |
총 무게 | 약 300kg | |
