TN-MSP180SRF-RPM
TN
분말 마그네트론 스퍼터링 코팅 기계는 분말 기반 스퍼터링 공정을 사용하여 열 차단 코팅(TBC)을 정밀하게 적용하도록 설계된 최첨단 장비입니다. 이 첨단 기술은 고온으로부터 부품을 보호하는 데 특히 유용하므로 항공우주 및 자동차 엔진은 물론 에너지 저장 및 변환 산업에 사용하기에 이상적입니다.
혁신적인 디자인과 고품질 구조를 갖춘 이 분말 마그네트론 스퍼터링 코팅 기계는 탁월한 성능과 신뢰성을 제공합니다. 코팅 공정에 대한 정밀한 제어를 보장하는 최첨단 기능을 갖추고 있어 가장 높은 산업 표준을 충족하는 균일하고 일관된 코팅을 제공합니다.
이 기계의 분말 기반 스퍼터링 기술을 사용하면 우수한 단열 특성을 지닌 TBC를 증착할 수 있으므로 온도 저항이 중요한 응용 분야에 필수적인 도구입니다. 엔진 부품의 성능을 향상시키거나 에너지 저장 시스템의 효율성을 향상시키려는 경우, 이 기계는 우수한 코팅 결과를 달성하기 위한 완벽한 솔루션입니다.
고급 기능 외에도 분말 마그네트론 스퍼터링 코팅 기계는 사용자 친화적이고 작동이 간편하여 광범위한 산업 및 응용 분야에 적합합니다. 직관적인 인터페이스와 사용자 정의 가능한 설정을 통해 특정 요구 사항에 맞게 코팅 매개 변수를 쉽게 조정하여 최적의 성능과 효율성을 보장할 수 있습니다.
전반적으로 분말 마그네트론 스퍼터링 코팅 기계는 다양한 산업 분야에서 열차폐 코팅을 적용하기 위한 최고의 솔루션입니다. 고급 기능, 신뢰할 수 있는 성능 및 사용자 친화적인 디자인은 고온 환경에서 구성 요소의 내구성과 성능을 향상시키려는 모든 조직에 귀중한 자산입니다.
제품명 | 회전식 분말 마그네트론 스퍼터링 코터 |
제품 모델 | TN-MSP180SRF-RPM |
특성 | 분말 재료는 다음과 같습니다. 코팅 표면: 마그네트론 스퍼터링이 사용됩니다. 스퍼터링할 때, 분말 재료가 캐비티 내에서 롤링되어 분말에 균일한 코팅을 달성합니다. 표면; 진공 청소기로 청소할 수 있습니다. 대기 |
기본 매개변수 | 전원 공급 장치: AC220V 50HZ 힘: <1500W |
무선 주파수 전원 공급 장치 | 입력 전원 : 220V 3A 출력 전력: 0-300W 출력 주파수: 13.56HZ 냉각 모드: 냉각 모드 장비 내부는 공냉식입니다. 사이즈 :444(L)*410(W)*128(H) |
자기 제어 표적 총 | 2인치 마그네트론 스퍼터링 헤드( 수냉식 중간층), 신속하게 진공 챔버에 연결됨 접착; 대상 크기 요구 사항: Φ50*(≤3mm)mm 두께; 2인치 마그네트론 스퍼터링 헤드는 최대 RF 전력을 견딜 수 있습니다: 300w; 2인치 마그네트론 스퍼터링 헤드는 최대 DC 전력을 견딜 수 있습니다: 500W; |
대상물질 | 금 스퍼터링에 적합하며, 은, 알루미늄, 구리 및 기타 금속, 기판 손상이 적고 기판 온도 상승 구리 타겟, Φ2 '*3mm입니다. 기준 대상 크기 요구 사항: Φ2 'X(≤3mm)mm 두께 |
스퍼터링 챔버 | 스퍼터링 챔버는 석영 유리로 만든 특별한 모양의 퍼니스 튜브, 크기: (직경 100+ 150+ 100) ×800(mm); 챔버는 다음과 같습니다. 회전, 속도는 1-10rpm 범위에서 조정 가능하며 속도는 전면 패널의 주지사 및 디스플레이 화면에 속도가 표시됩니다. 의 두 끝은 공동은 자성유체 플랜지 사이의 빠른 연결로 밀봉 그리고 스테인레스 스틸 밀봉 플랜지와 지지 프레임이 자성유체 플랜지를 지지하기 위한 플랜지의 양단. 제거하다 그만큼 양끝에 자성유체플랜지를 설치하고 로본체를 기울임 (에 의해 제어됨 전면 패널의 손잡이)를 빠르게 방전하려면 재료. Ø6.35 슬리브 조인트가 설치되어 있습니다 공기 흡입구로 왼쪽 플랜지에 스테인레스 스틸 니들 밸브 공기 흡입구와 기계식 압력 게이지를 제어합니다. -0.1-0.15MPa의 측정 범위는 내부 압력을 관찰하는 데 사용됩니다. 노; Φ19mm 관통 구멍을 사용하여 스퍼터링 타겟 헤드를 캐비티 내부로 넣습니다. Φ8m 탑 노즐 커넥터 켜짐 오른쪽 플랜지는 공기 배출구, 스테인리스로 사용됩니다. 강철 바늘 밸브는 공기 배출구를 제어하며 KF25 커넥터가 연결됩니다. 그만큼 진공 시스템에서는 KF16 인터페이스가 백업 인터페이스로 사용되며, 디지털 디스플레이 진공 게이지는 선택적으로 설치할 수 있습니다. 오른쪽 플랜지는 와 함께 설치 캐비티 내 석영 배플 1개, 스테인리스강 배플 4개 바 Baffle에 설치되어 분산된 물질을 교반시켜 줍니다. 완전히 스퍼터링될 수 있습니다. 가드가 설치되어 있습니다. 상단 플라즈마를 차폐하는 공동과 석영 관찰이 있습니다. 가드 상단에 길이와 너비가 240m인 포트가 있습니다. 재료의 스퍼터링을 관찰하십시오. |
난방 시스템 | 회전 석영 스퍼터링 공동은 가열을 실현할 수 있는 가열 장치로 코팅되어 있습니다. 회전 석영 스퍼터링 캐비티. 난방 시스템은 실현 PID 온도 제어 장비를 통해 프로그래밍된 온도 제어. 최대 난방 온도 챔버 기밀성이 허용하는 온도는 200℃입니다. 하지만, 난방 시스템의 온도를 설정할 수 있습니다 이 제한 없이, 그리고 이로 인한 부품의 손상 200°C 이상에서의 작동은 제조업체에서 부담하지 않습니다. 온도 조종 정확도 : ±1°C |
진공 시스템 | 오일프리 스크롤 진공 펌프; 모델 :CY-GWSP600, 매개변수는 다음과 같습니다: 배기 속도: 8.71/s; 31.3m3 /시간 한계 진공 : 1Pa 소음 값: 36 LDB(A) 누설률(배기 포트 및 가스 밸러스트 밸브 닫힘):1*10-8Pa· m3 /s 최대 입구/배기 압력 :0.1/0.13MPa 작동 온도 : 5~40C 냉각 방식: 공냉식 입구/배기 포트 크기: KF40/KF16 단상 모터: 전력 0.75kW; 전압: ~ 115V(50Hz/60Hz); 200 ~ 230V50Hz/60Hz), 두 가지 전압 옵션; 속도: 1425(50Hz), 1725(60Hz) rpm; 공동 형태: 국가 표준, 북미, 유럽, 영국/아일랜드, 인도 3상 모터: 전력: 0.75kW; 전압: 200 ~ 230 및 380 ~ 415(50Hz); 또는 200 ~ 230 및 460(60Hz)V 속도 : 1425(50Hz), 1725(60Hz) rpm |
수냉식 장비 | 모델 :KJ-5000 작동 전류: 1.4-2.1A 냉각 용량: 2361Btu/h 크기: 55X28X43cm(LXWXH) 탱크 용량: 6L 물 흐름율: 16L/min |
전체 치수 장비의 | 1500mm(길이)*1000mm(폭)*1500mm(높이) 크기 방패가 열리면 |
무게 | 약 100kg |
보증 기간 | 1년(마모 부품 제외) 그런 밀봉 링으로) |
필요한 사항 주목 | 내부의 공기압은 방 0.02MPa(상대압력)보다 높지 않아야 합니다. 고압으로 인해 내부에 실린더, 가스가 석영 관으로 통과될 때, 실린더에는 감압 밸브를 설치해야 합니다. 보장하기 위해 안전을 위해 0.02MPa 이하의 압력을 사용하는 것을 권장합니다. 그것은 당사에서 감압 밸브를 구입하는 것이 좋습니다. 시료 가열용 실험, 그것 배기 밸브와 흡입구를 닫는 것은 권장되지 않습니다. 밸브의 퍼니스 튜브의 플랜지 끝. 부득이하게 폐쇄가 필요한 경우 공기 샘플을 가열하는 밸브에서는 항상 주의가 필요합니다. 압력계의 표시기. 압력 표시기가 더 큰 경우 ~보다 0.02MPa가 발생하면 즉시 공기 배출 밸브를 열어야 합니다. 사고를 예방하다 (로 튜브 파열, 플랜지 튀어나옴, 등.). 우리는 고객을 추천하지 않습니다 에게 고객이 처리하는 경우 가연성, 폭발성 및 독성 가스를 사용하십시오. 가연성, 폭발성 및 독성 가스를 사용해야 하는 이유는 다음과 같습니다. 자체 관련 보호 및 방폭 조치. 그만큼 회사는 사용으로 인해 발생한 문제에 대해서는 책임을 지지 않습니다. 가연성, 폭발성 및 독성 가스. |
분말 마그네트론 스퍼터링 코팅 기계는 분말 기반 스퍼터링 공정을 사용하여 열 차단 코팅(TBC)을 정밀하게 적용하도록 설계된 최첨단 장비입니다. 이 첨단 기술은 고온으로부터 부품을 보호하는 데 특히 유용하므로 항공우주 및 자동차 엔진은 물론 에너지 저장 및 변환 산업에 사용하기에 이상적입니다.
혁신적인 디자인과 고품질 구조를 갖춘 이 분말 마그네트론 스퍼터링 코팅 기계는 탁월한 성능과 신뢰성을 제공합니다. 코팅 공정에 대한 정밀한 제어를 보장하는 최첨단 기능을 갖추고 있어 가장 높은 산업 표준을 충족하는 균일하고 일관된 코팅을 제공합니다.
이 기계의 분말 기반 스퍼터링 기술을 사용하면 우수한 단열 특성을 지닌 TBC를 증착할 수 있으므로 온도 저항이 중요한 응용 분야에 필수적인 도구입니다. 엔진 부품의 성능을 향상시키거나 에너지 저장 시스템의 효율성을 향상시키려는 경우, 이 기계는 우수한 코팅 결과를 달성하기 위한 완벽한 솔루션입니다.
고급 기능 외에도 분말 마그네트론 스퍼터링 코팅 기계는 사용자 친화적이고 작동이 간편하여 광범위한 산업 및 응용 분야에 적합합니다. 직관적인 인터페이스와 사용자 정의 가능한 설정을 통해 특정 요구 사항에 맞게 코팅 매개 변수를 쉽게 조정하여 최적의 성능과 효율성을 보장할 수 있습니다.
전반적으로 분말 마그네트론 스퍼터링 코팅 기계는 다양한 산업 분야에서 열차폐 코팅을 적용하기 위한 최고의 솔루션입니다. 고급 기능, 신뢰할 수 있는 성능 및 사용자 친화적인 디자인은 고온 환경에서 구성 요소의 내구성과 성능을 향상시키려는 모든 조직에 귀중한 자산입니다.
제품명 | 회전식 분말 마그네트론 스퍼터링 코터 |
제품 모델 | TN-MSP180SRF-RPM |
특성 | 분말 재료는 다음과 같습니다. 코팅 표면: 마그네트론 스퍼터링이 사용됩니다. 스퍼터링할 때, 분말 재료가 캐비티 내에서 롤링되어 분말에 균일한 코팅을 달성합니다. 표면; 진공 청소기로 청소할 수 있습니다. 대기 |
기본 매개변수 | 전원 공급 장치: AC220V 50HZ 힘: <1500W |
무선 주파수 전원 공급 장치 | 입력 전원 : 220V 3A 출력 전력: 0-300W 출력 주파수: 13.56HZ 냉각 모드: 냉각 모드 장비 내부는 공냉식입니다. 사이즈 :444(L)*410(W)*128(H) |
자기 제어 표적 총 | 2인치 마그네트론 스퍼터링 헤드( 수냉식 중간층), 신속하게 진공 챔버에 연결됨 접착; 대상 크기 요구 사항: Φ50*(≤3mm)mm 두께; 2인치 마그네트론 스퍼터링 헤드는 최대 RF 전력을 견딜 수 있습니다: 300w; 2인치 마그네트론 스퍼터링 헤드는 최대 DC 전력을 견딜 수 있습니다: 500W; |
대상물질 | 금 스퍼터링에 적합하며, 은, 알루미늄, 구리 및 기타 금속, 기판 손상이 적고 기판 온도 상승 구리 타겟, Φ2 '*3mm입니다. 기준 대상 크기 요구 사항: Φ2 'X(≤3mm)mm 두께 |
스퍼터링 챔버 | 스퍼터링 챔버는 석영 유리로 만든 특별한 모양의 퍼니스 튜브, 크기: (직경 100+ 150+ 100) ×800(mm); 챔버는 다음과 같습니다. 회전, 속도는 1-10rpm 범위에서 조정 가능하며 속도는 전면 패널의 주지사 및 디스플레이 화면에 속도가 표시됩니다. 의 두 끝은 공동은 자성유체 플랜지 사이의 빠른 연결로 밀봉 그리고 스테인레스 스틸 밀봉 플랜지와 지지 프레임이 자성유체 플랜지를 지지하기 위한 플랜지의 양단. 제거하다 그만큼 양끝에 자성유체플랜지를 설치하고 로본체를 기울임 (에 의해 제어됨 전면 패널의 손잡이)를 빠르게 방전하려면 재료. Ø6.35 슬리브 조인트가 설치되어 있습니다 공기 흡입구로 왼쪽 플랜지에 스테인레스 스틸 니들 밸브 공기 흡입구와 기계식 압력 게이지를 제어합니다. -0.1-0.15MPa의 측정 범위는 내부 압력을 관찰하는 데 사용됩니다. 노; Φ19mm 관통 구멍을 사용하여 스퍼터링 타겟 헤드를 캐비티 내부로 넣습니다. Φ8m 탑 노즐 커넥터 켜짐 오른쪽 플랜지는 공기 배출구, 스테인리스로 사용됩니다. 강철 바늘 밸브는 공기 배출구를 제어하며 KF25 커넥터가 연결됩니다. 그만큼 진공 시스템에서는 KF16 인터페이스가 백업 인터페이스로 사용되며, 디지털 디스플레이 진공 게이지는 선택적으로 설치할 수 있습니다. 오른쪽 플랜지는 와 함께 설치 캐비티 내 석영 배플 1개, 스테인리스강 배플 4개 바 Baffle에 설치되어 분산된 물질을 교반시켜 줍니다. 완전히 스퍼터링될 수 있습니다. 가드가 설치되어 있습니다. 상단 플라즈마를 차폐하는 공동과 석영 관찰이 있습니다. 가드 상단에 길이와 너비가 240m인 포트가 있습니다. 재료의 스퍼터링을 관찰하십시오. |
난방 시스템 | 회전 석영 스퍼터링 공동은 가열을 실현할 수 있는 가열 장치로 코팅되어 있습니다. 회전 석영 스퍼터링 캐비티. 난방 시스템은 실현 PID 온도 제어 장비를 통해 프로그래밍된 온도 제어. 최대 난방 온도 챔버 기밀성이 허용하는 온도는 200℃입니다. 하지만, 난방 시스템의 온도를 설정할 수 있습니다 이 제한 없이, 그리고 이로 인한 부품의 손상 200°C 이상에서의 작동은 제조업체에서 부담하지 않습니다. 온도 조종 정확도 : ±1°C |
진공 시스템 | 오일프리 스크롤 진공 펌프; 모델 :CY-GWSP600, 매개변수는 다음과 같습니다: 배기 속도: 8.71/s; 31.3m3 /시간 한계 진공 : 1Pa 소음 값: 36 LDB(A) 누설률(배기 포트 및 가스 밸러스트 밸브 닫힘):1*10-8Pa· m3 /s 최대 입구/배기 압력 :0.1/0.13MPa 작동 온도 : 5~40C 냉각 방식: 공냉식 입구/배기 포트 크기: KF40/KF16 단상 모터: 전력 0.75kW; 전압: ~ 115V(50Hz/60Hz); 200 ~ 230V50Hz/60Hz), 두 가지 전압 옵션; 속도: 1425(50Hz), 1725(60Hz) rpm; 공동 형태: 국가 표준, 북미, 유럽, 영국/아일랜드, 인도 3상 모터: 전력: 0.75kW; 전압: 200 ~ 230 및 380 ~ 415(50Hz); 또는 200 ~ 230 및 460(60Hz)V 속도 : 1425(50Hz), 1725(60Hz) rpm |
수냉식 장비 | 모델 :KJ-5000 작동 전류: 1.4-2.1A 냉각 용량: 2361Btu/h 크기: 55X28X43cm(LXWXH) 탱크 용량: 6L 물 흐름율: 16L/min |
전체 치수 장비의 | 1500mm(길이)*1000mm(폭)*1500mm(높이) 크기 방패가 열리면 |
무게 | 약 100kg |
보증 기간 | 1년(마모 부품 제외) 그런 밀봉 링으로) |
필요한 사항 주목 | 내부의 공기압은 방 0.02MPa(상대압력)보다 높지 않아야 합니다. 고압으로 인해 내부에 실린더, 가스가 석영 관으로 통과될 때, 실린더에는 감압 밸브를 설치해야 합니다. 보장하기 위해 안전을 위해 0.02MPa 이하의 압력을 사용하는 것을 권장합니다. 그것은 당사에서 감압 밸브를 구입하는 것이 좋습니다. 시료 가열용 실험, 그것 배기 밸브와 흡입구를 닫는 것은 권장되지 않습니다. 밸브의 퍼니스 튜브의 플랜지 끝. 부득이하게 폐쇄가 필요한 경우 공기 샘플을 가열하는 밸브에서는 항상 주의가 필요합니다. 압력계의 표시기. 압력 표시기가 더 큰 경우 ~보다 0.02MPa가 발생하면 즉시 공기 배출 밸브를 열어야 합니다. 사고를 예방하다 (로 튜브 파열, 플랜지 튀어나옴, 등.). 우리는 고객을 추천하지 않습니다 에게 고객이 처리하는 경우 가연성, 폭발성 및 독성 가스를 사용하십시오. 가연성, 폭발성 및 독성 가스를 사용해야 하는 이유는 다음과 같습니다. 자체 관련 보호 및 방폭 조치. 그만큼 회사는 사용으로 인해 발생한 문제에 대해서는 책임을 지지 않습니다. 가연성, 폭발성 및 독성 가스. |
