TN-MS500S-2TA1S
TN
마그네트론 스퍼터 및 열 증발 투인원 코팅 기계는 전자 제품, 유리, 세라믹 샘플, 금속 및 기타 샘플의 코팅에 사용할 수 있으며 특히 실험실 SEM(주사 전자 현미경)의 샘플 준비에 적합합니다.
장비는 주로 스테인레스 스틸 진공 챔버, 마그네트론 스퍼터링 타겟, 증발 소스, 회전식 가열 샘플 테이블, 진공 펌프 장치, 진공 측정 게이지, 공기 흡입 시스템 및 제어 시스템으로 구성됩니다.
특징
ㅏ. 터치스크린 작동, 온도 조절 미터 감지.디지털 매개변수 인터페이스와 자동 작동 모드는 사용자에게 탁월한 연구 개발 플랫폼을 제공합니다.
비. 진공 챔버는 관찰 창과 배플을 갖춘 304 스테인리스 스틸로 만들어졌습니다.아름다운 모양, 훌륭한 솜씨, 뛰어난 진공 성능.주요 밀봉 플랜지는 CF 시리즈 고진공 밀봉 플랜지입니다.진공 챔버의 각 인터페이스는 고무 씰 링으로 밀봉되어 있어 진공 성능이 뛰어나고 코팅 품질을 효과적으로 보장할 수 있습니다.
씨. 타겟은 캐비티 바닥에 위치하며 타겟은 위쪽에 있습니다.샘플 테이블에는 가열 및 회전 기능이 있어 코팅 효과를 더욱 균일하게 만들 수 있습니다.
디. 진공 획득 시스템은 2단계 진공 펌프 그룹을 채택합니다.백킹 펌프는 펌핑 속도가 빠른 기계식 펌프로 대기압에서 저진공까지의 시간을 효과적으로 줄일 수 있습니다.메인 펌프는 펌핑 속도가 빠르고 진공 획득 속도가 빠른 터빈 분자 펌프입니다.전반적인 진공 획득 시스템은 깨끗하고 빠릅니다.
기술적인 매개변수
모델 | TN-MS500S-2TA1S | |||
샘플 테이블 | 크기 | 난방 | ≤500℃ | |
회전 속도 | 1-20r/분 | 온도 조절 | ±1℃ | |
마그네트론 스퍼터 헤드 | 수량 | 2인치 ×2 | 냉각 모드 | 차가 워진 물 |
열 증발 | 증발기 소스 | 텅스텐 와이어 바구니 | 최대 온도 | 1500℃ |
열전대 | S타입 | |||
진공 챔버 | 크기 | 300mmDia.× 300mmH | 감시 창 | 100mm 직경 |
재료 | 304 SU | 오픈 모드 | 전면 개방형 도어 | |
진공 시스템 | 기계식 펌프 | 로터리 베인 펌프 | 추출 인터페이스 | KF16 |
펌핑 | 1.1L/초 | |||
분자펌프 | 터보 분자 펌프 | 추출 인터페이스 | CF150 | |
펌핑 | 600L/초 | 배기 인터페이스 | KF40 | |
진공게이지 | 저항 게이지 + 이온화 게이지 | |||
궁극적인 진공도 | 1.3x10-4Pa | 전원공급장치 | AC;220V 50/60Hz | |
DC 전원 공급 장치 | 1 세트 | 출력 파워 | 1000W 이하 | |
출력 전압 | 600W 이하 | 응답 시간 | <5ms | |
RF 전원 공급 장치 | 1 세트 | 출력 파워 | 1000W 이하 | |
전력 안정성 | 5W 이하 | |||
RF 주파수 | 13.56MHz | RF 안정성 | ±0.005% | |
필름 두께 측정기 | 해결 | ±0.03Hz | 정확성 | ±0.5% |
범위 상한 | 50000 | 속도 | 100~1000ms | |
수냉식 시스템 | 탱크 용량 | 9L | 흐름 | 10L/분 |
가스 시스템 | 유량계 유형 | MFC(질량유량계) | 범위 | 200sccm |
가스 종류 | 아르곤 | |||
다른 | 입력 공급 | AC220V,50Hz | 크기 | 1400x750x1300mm |
총 전력 | 4kw(호스트+진공펌프) | 무게 | 295kg | |
새로운 샘플 테이블을 사용할 수 있습니다
견본 | 크기 | Dia.150mm 샘플의 경우 최대. | 키 | 70mm 조절 가능 |
회전 속도 | 1~20rpm | 난방 | 0~500℃ |
마그네트론 스퍼터 및 열 증발 투인원 코팅 기계는 전자 제품, 유리, 세라믹 샘플, 금속 및 기타 샘플의 코팅에 사용할 수 있으며 특히 실험실 SEM(주사 전자 현미경)의 샘플 준비에 적합합니다.
장비는 주로 스테인레스 스틸 진공 챔버, 마그네트론 스퍼터링 타겟, 증발 소스, 회전식 가열 샘플 테이블, 진공 펌프 장치, 진공 측정 게이지, 공기 흡입 시스템 및 제어 시스템으로 구성됩니다.
특징
ㅏ. 터치스크린 작동, 온도 조절 미터 감지.디지털 매개변수 인터페이스와 자동 작동 모드는 사용자에게 탁월한 연구 개발 플랫폼을 제공합니다.
비. 진공 챔버는 관찰 창과 배플을 갖춘 304 스테인리스 스틸로 만들어졌습니다.아름다운 모양, 훌륭한 솜씨, 뛰어난 진공 성능.주요 밀봉 플랜지는 CF 시리즈 고진공 밀봉 플랜지입니다.진공 챔버의 각 인터페이스는 고무 씰 링으로 밀봉되어 있어 진공 성능이 뛰어나고 코팅 품질을 효과적으로 보장할 수 있습니다.
씨. 타겟은 캐비티 바닥에 위치하며 타겟은 위쪽에 있습니다.샘플 테이블에는 가열 및 회전 기능이 있어 코팅 효과를 더욱 균일하게 만들 수 있습니다.
디. 진공 획득 시스템은 2단계 진공 펌프 그룹을 채택합니다.백킹 펌프는 펌핑 속도가 빠른 기계식 펌프로 대기압에서 저진공까지의 시간을 효과적으로 줄일 수 있습니다.메인 펌프는 펌핑 속도가 빠르고 진공 획득 속도가 빠른 터빈 분자 펌프입니다.전반적인 진공 획득 시스템은 깨끗하고 빠릅니다.
기술적인 매개변수
모델 | TN-MS500S-2TA1S | |||
샘플 테이블 | 크기 | 난방 | ≤500℃ | |
회전 속도 | 1-20r/분 | 온도 조절 | ±1℃ | |
마그네트론 스퍼터 헤드 | 수량 | 2인치 ×2 | 냉각 모드 | 차가 워진 물 |
열 증발 | 증발기 소스 | 텅스텐 와이어 바구니 | 최대 온도 | 1500℃ |
열전대 | S타입 | |||
진공 챔버 | 크기 | 300mmDia.× 300mmH | 감시 창 | 100mm 직경 |
재료 | 304 SU | 오픈 모드 | 전면 개방형 도어 | |
진공 시스템 | 기계식 펌프 | 로터리 베인 펌프 | 추출 인터페이스 | KF16 |
펌핑 | 1.1L/초 | |||
분자펌프 | 터보 분자 펌프 | 추출 인터페이스 | CF150 | |
펌핑 | 600L/초 | 배기 인터페이스 | KF40 | |
진공게이지 | 저항 게이지 + 이온화 게이지 | |||
궁극적인 진공도 | 1.3x10-4Pa | 전원공급장치 | AC;220V 50/60Hz | |
DC 전원 공급 장치 | 1 세트 | 출력 파워 | 1000W 이하 | |
출력 전압 | 600W 이하 | 응답 시간 | <5ms | |
RF 전원 공급 장치 | 1 세트 | 출력 파워 | 1000W 이하 | |
전력 안정성 | 5W 이하 | |||
RF 주파수 | 13.56MHz | RF 안정성 | ±0.005% | |
필름 두께 측정기 | 해결 | ±0.03Hz | 정확성 | ±0.5% |
범위 상한 | 50000 | 속도 | 100~1000ms | |
수냉식 시스템 | 탱크 용량 | 9L | 흐름 | 10L/분 |
가스 시스템 | 유량계 유형 | MFC(질량유량계) | 범위 | 200sccm |
가스 종류 | 아르곤 | |||
다른 | 입력 공급 | AC220V,50Hz | 크기 | 1400x750x1300mm |
총 전력 | 4kw(호스트+진공펌프) | 무게 | 295kg | |
새로운 샘플 테이블을 사용할 수 있습니다
견본 | 크기 | Dia.150mm 샘플의 경우 최대. | 키 | 70mm 조절 가능 |
회전 속도 | 1~20rpm | 난방 | 0~500℃ |
