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이중 표적 마그네트론 스퍼터 및 열 증발 복합 코팅 기계

마그네트론 스퍼터 및 열 증발 투인원 코팅 기계는 전자 제품, 유리, 세라믹 샘플, 금속 및 기타 샘플의 코팅에 사용할 수 있으며 특히 실험실 SEM(주사 전자 현미경)의 샘플 준비에 적합합니다.
가용성 상태:
수량:
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  • TN-MS500S-2TA1S

  • TN

Magnetron Sputter 및 열 증발 2-in-one 코팅 기계는 전자 제품, 유리, 세라믹 샘플, 금속 및 기타 샘플의 코팅에 사용될 수 있으며, 특히 실험실 SEM (주사 전자 현미경)의 샘플 준비에 적합합니다.


이 장비는 주로 스테인레스 스틸 진공 챔버, 마그네트론 스퍼터링 대상, 증발 소스, 로터리 가열 샘플 테이블, 진공 펌프 장치, 진공 측정 게이지, 공기 흡입 시스템 및 제어 시스템으로 구성됩니다.


기술 매개 변수

모델

TN-MS500S-2TA1S

샘플 테이블

크기

150mm 직경.

난방

≤500 ℃


회전 속도

1-20R/분

임시 제어

± 1 ℃

마그네트론 스퍼터 헤드

수량

2 인치 × 2

냉각 모드

물이 냉각되었습니다

열 증발

증발기 소스

텅스텐 와이어 바스켓

맥스 온도

1500 ℃

열전대

s 유형



진공 챔버

크기

300mmdia. × 300mmh

시계 창

100mm 직경.

재료

304 SUS

오픈 모드

전면 오프닝 도어


진공 시스템

기계식 펌프

로타리 베인 펌프

추출 인터페이스

KF16

펌핑

1.1L/s



분자 펌프

터보 분자 펌프

추출 인터페이스

CF150

펌핑

600L/s

배기 인터페이스

KF40

진공 게이지

저항 게이지 + 이온화 게이지



궁극적 인 진공 정도

1.3x10-4PA

전원 공급 장치

AC; 220V 50/60Hz

스퍼터 파워가 상쾌합니다

DC 전원 공급 장치

1 세트

출력 전원

≤1000W

출력 전압

≤600W

응답 시간

5ms

RF 전원 공급 장치

1 세트

출력 전원

≤1000W

전력 안정성

≤5W



RF 주파수

13.56MHz

RF 안정성


± 0.005%

필름 두께 게이지

해결

± 0.03Hz

정확성

± 0.5%

상한 범위 제한


50000

속도

100 ~ 1000ms

수냉식 시스템

탱크 볼륨

9L

흐름

10L/분

가스 시스템

유량계 유형

MFC (질량 유량계)

범위

200SCCM

가스 유형

AR




다른

입력 공급

AC220V, 50Hz

크기

1400x750x1300mm

총 전력

4KW 밸런스 (호스트+진공 펌프)

무게

295kg

새로운 샘플 테이블을 사용할 수 있습니다

견본

크기

DIA.150mm 샘플 최대 용.

70mm 조정 가능


회전 속도

1 ~ 20rpm

난방

0 ~ 500 ℃


듀얼 대상 Magnetron Sputter 및 열 증발 복합 코팅 기계는 고급 코팅 응용 프로그램을 위해 설계된 최신 솔루션입니다. 눈에 띄는 기능 중 하나는 정밀한 감지를 위해 온도 제어 측정기로 보완되는 직관적 인 터치 스크린 작동입니다. 이 디지털 매개 변수 인터페이스 및 자동 작동 모드는 사용자에게 연구 및 개발을위한 탁월한 플랫폼을 제공하여 코팅 재료 프로세스를 간소화하고 생산성을 향상시킵니다.


304 스테인리스 스틸로 만든 진공 챔버로 제작 된이 기계는 미세한 장인 정신과 함께 미적으로 유쾌한 디자인을 자랑합니다. 챔버에는 관찰 창과 배플이 포함되어있어 사용자가 코팅 공정을 효과적으로 모니터링 할 수 있습니다. 메인 씰링 플랜지는 CF 시리즈 고 진공 실용 플랜지로 우수한 진공 성능을 보장합니다. 진공 챔버의 각 인터페이스는 내구성 고무 씰 링으로 밀봉되어 있으며, 이는 진공 완전성을 유지하는 데 크게 기여하며, 결과적으로 생성 된 코팅의 품질.


기능 측면에서, 기계는 대상이 캐비티의 바닥에 위치하고 위쪽을 향하는 고유 한 대상 배열을 특징으로한다. 이 설계는 가열 및 회전 할 수있는 샘플 테이블과 짝을 이루어 다른 기판에 걸쳐보다 균일 한 코팅 효과를 촉진합니다. 이 기능은 특히 복잡한 코팅 공정에서 일관된 결과를 달성하는 데 필수적입니다.


진공 획득 시스템은 2 단계 진공 펌프 그룹을 사용하는 또 다른 하이라이트입니다. 백 펌프는 대기압에서 낮은 진공으로 전환하는 데 필요한 시간을 효율적으로 줄이는 고속 기계 펌프입니다. 터빈 분자 펌프 인 메인 펌프는 높은 펌핑 속도 로이 공정을 향상시켜 빠른 진공 획득을 보장합니다. 이 구성 요소는 함께 깨끗하고 효율적인 진공 환경을 만듭니다. 이는 다양한 응용 분야에서 고품질 코팅을 달성하는 데 중요합니다. 전반적 으로이 기계는 코팅 기술의 상당한 발전을 나타내며 사용자 친화적 인 기능을 강력한 성능과 결합합니다.


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Zhengzhou Tainuo Thin Film Materials Co., Ltd.
실험실 과학 기기 생산 전문 제조업체입니다.당사의 제품은 대학, 연구 기관 및 실험실에서 널리 사용됩니다.

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