TN-MSH325-III-DCDCRF-SS
TN
다양한 산업 분야의 정밀 코팅 응용 분야를 위해 설계된 최첨단 3타겟 마그네트론 스퍼터링 코터를 소개합니다. 이 고급 코터는 뛰어난 정확성과 효율성으로 고품질 다층 및 등급 필름, 복합 합금 필름 및 자성 합금 필름을 생산하는 최신 기술을 갖추고 있습니다.
3타겟 마그네트론 스퍼터링 코터는 알루미늄-구리 합금, 실리콘-게르마늄 필름, 퍼멀로이(니켈-철) 및 CoFeB(코발트-철-붕소)를 포함한 광범위한 재료를 증착할 수 있습니다. 이러한 재료는 박막 태양전지와 기타 전자 및 광학 장치 생산에 필수적입니다.
다양한 기능과 우수한 성능을 갖춘 당사의 3타겟 마그네트론 스퍼터링 코터는 다양한 기판에 정밀하고 균일한 코팅을 달성하려는 연구 개발 실험실, 대학 및 산업 제조업체에 이상적인 솔루션입니다. 지금 당사의 최첨단 코터에 투자하여 생산 공정에 가져올 수 있는 품질과 효율성의 차이를 경험해 보십시오.
제품 이름 | 오토매틱 프로그램 제어 고진공 3타겟 마그네트론 스퍼터링 코팅 산화막용 기기 | |
제품 모델 | TN-MSH325-III-DCDCRF-SS | |
힘 공급 전압 | AC220V,50Hz | |
완벽한 힘 | 6KW | |
체계 진공 | DF 5×10-4Pa | |
견본 단계 | Dimensions | Φ150mm |
난방 온도 | ≤850℃ | |
온도 제어 정확도 | ±1℃ | |
Adjustable 속도 | 20rpm 이하 | |
마그네트론 스퍼터링 타겟 | 목표 크기 | 지름 Φ50.8mm, 두께 ≤3mm |
냉각 방법 | 순환 수냉 | |
물 흐름 크기 | Not 10L/분 미만 | |
수량 | 3 | |
진공 방 | 공동 크기 | 지름 Φ325mm |
공동 재료 | SUU304 스테인레스 스틸 | |
관찰 창문 | 지름 Φ100mm | |
열기 방법 | 맨 위 열기 | |
가스 제어 | 1 질량 유량계는 200SCCM 범위의 Ar 흐름을 제어하는 데 사용됩니다. | |
진공 체계 | 갖추게 하는 1개의 분자 펌프 시스템, 가스 펌핑 속도 600L/S | |
영화 두께 측정 | 선택 과목 석영 크리스탈 필름 두께 측정기, 해상도 0.10 Å | |
스퍼터링 전원 공급 장치 | 갖추게 하는 DC 전원 공급 장치 포함, 전력 500W*2 RF 전원 공급 장치 300W | |
제어 체계 | 싸이키 자체 개발한 전문 제어 시스템 | |
장비 치수 | 570mm×1040mm×1700mm | |
장비 무게 | 350kg | |
합금 박막용 3타겟 마그네트론 스퍼터링 코터는 복잡한 합금 구성 및 다층 구조의 증착을 위해 설계된 고도로 전문화된 장비입니다. 세 가지 서로 다른 타겟을 활용함으로써 이 시스템을 통해 맞춤형 특성을 지닌 정밀한 합금 필름과 적층형 재료를 생성할 수 있습니다. 이러한 유형의 기계를 사용할 수 있고 일반적으로 사용되는 주요 영역은 다음과 같습니다.
다층 및 등급 필름: 3타겟 구성은 다양한 재료를 순차적으로 또는 동시에 증착할 수 있는 다층 또는 등급 필름 증착에 이상적입니다. 이는 트랜지스터, 커패시터, 인터커넥트 등 고급 반도체 장치를 제조하는 데 매우 중요합니다.
복합 합금 필름: 마이크로 전자공학에서는 특정한 전기적, 열적 특성을 지닌 합금 필름이 필요한 경우가 많습니다. 3타겟 시스템을 사용하면 알루미늄-구리 합금 또는 실리콘-게르마늄 필름과 같은 합금의 구성을 정밀하게 제어할 수 있습니다.
반사 방지 및 반사 코팅: 경사굴절률이나 다층 스택을 포함한 복잡한 광학 코팅을 증착할 수 있습니다. 이러한 코팅은 다양한 용도의 렌즈, 거울 및 광학 필터에 필수적입니다.
처프 거울 및 빔 스플리터: 이러한 구성 요소에는 세 가지 다른 타겟을 사용하여 효율적으로 생성할 수 있는 복잡한 다중 재료 레이어가 필요한 경우가 많습니다.
자성 합금 필름: 3타겟 스퍼터링은 자기저장소자, 센서, 스핀트로닉 부품 생산에 필수적인 퍼멀로이(니켈-철), CoFeB(코발트-철-붕소) 등 자성합금막을 증착하는데 사용된다.
스핀트로닉 구조: 적층형 자성 및 비자성 물질을 생성하는 능력은 데이터 저장 및 논리 연산을 위해 전자 스핀을 활용하는 스핀트로닉 장치의 핵심입니다.
박막 태양전지: CIGS(구리 인듐 갈륨 셀레나이드) 또는 CZTS(구리 아연 주석 황화물) 셀과 같은 박막 태양전지 생산에서 복합 합금 흡수층과 투명 전도성 산화물을 증착하기 위한 3타겟 시스템이 필수적입니다.
배터리 및 연료전지 부품: 3타겟 스퍼터링은 배터리의 전극재료용 합금막과 연료전지의 보호층 또는 촉매층을 증착하여 소자의 효율과 내구성을 향상시키는 기술입니다.
고급 툴링 코팅: 티타늄-알루미늄-질화물(TiAlN), 크롬-알루미늄-질화물(CrAlN) 등의 단단한 내마모성 합금 코팅을 만들어 절삭공구, 금형, 기타 기계부품에 적용하는 코터입니다. 그들의 성과.
보호 코팅: 내식성, 내산화성 또는 열 장벽을 제공하는 합금 코팅은 항공우주, 자동차 및 산업 응용 분야에 사용하기 위해 이 시스템을 사용하여 증착됩니다.
미적 코팅: 이 기계는 전자제품, 보석류, 가정용품과 같은 소비재에 장식 마감과 기능적 특성(예: 긁힘 방지)을 모두 제공하는 다층 또는 합금 코팅을 증착할 수 있습니다.
건축 코팅: 3타겟 스퍼터링은 건축용 유리에 코팅을 생성하여 에너지 효율, 자외선 차단 및 심미성을 향상시키는 데 사용됩니다.
신소재 개발: 연구원들은 특정 전자, 자기, 광학 또는 기계적 특성을 지닌 새로운 합금 재료를 개발하고 탐색하기 위해 3타겟 스퍼터링 코터를 사용합니다. 시스템의 유연성 덕분에 새로운 재료의 신속한 프로토타이핑이 가능합니다.
나노구조 및 박막 장치: 재료 과학 및 나노 기술 연구에서 조성과 두께를 정밀하게 제어하여 복잡한 다성분 필름을 생성하는 능력은 새로운 박막 장치를 연구하고 개발하는 데 매우 중요합니다.
초전도 재료: NbTi(니오븀-티타늄), NbN(니오븀 질화물) 등의 초전도 합금막을 증착하여 초전도 전자제품, 자석, 고온초전도 연구 등에 사용되는 장비입니다.
고급 자기 코팅: 3타겟 스퍼터링을 통해 고급 데이터 저장 장치, 자기 센서 및 스핀트로닉 응용 분야에 사용되는 복잡한 자기 합금 및 다층을 생성할 수 있습니다.
생체적합성 코팅: 생체의학 공학에서는 3타겟 스퍼터링을 사용하여 티타늄 합금이나 세포 성장을 촉진하는 코팅과 같이 생체 적합하고 의료용 임플란트에 적합한 합금 코팅을 증착합니다.
기능성 생체재료: 이 시스템은 의료 기기 및 기구에 대한 항균성 또는 친수성 표면과 같은 특정 표면 특성을 갖는 코팅을 만드는 데에도 사용할 수 있습니다.
전반적으로 3타겟 마그네트론 스퍼터링 코터는 복잡한 합금 박막 및 다층 구조의 증착을 위해 여러 산업 및 연구 분야에서 사용되는 다재다능하고 강력한 도구입니다. 세 가지 다른 재료를 동시에 또는 순차적으로 처리할 수 있는 능력을 통해 맞춤형 특성을 갖춘 고급 재료 및 장치를 개발하는 데 필요한 정밀한 제어가 가능합니다.
다양한 산업 분야의 정밀 코팅 응용 분야를 위해 설계된 최첨단 3타겟 마그네트론 스퍼터링 코터를 소개합니다. 이 고급 코터는 뛰어난 정확성과 효율성으로 고품질 다층 및 등급 필름, 복합 합금 필름 및 자성 합금 필름을 생산하는 최신 기술을 갖추고 있습니다.
3타겟 마그네트론 스퍼터링 코터는 알루미늄-구리 합금, 실리콘-게르마늄 필름, 퍼멀로이(니켈-철) 및 CoFeB(코발트-철-붕소)를 포함한 광범위한 재료를 증착할 수 있습니다. 이러한 재료는 박막 태양전지와 기타 전자 및 광학 장치 생산에 필수적입니다.
다양한 기능과 우수한 성능을 갖춘 당사의 3타겟 마그네트론 스퍼터링 코터는 다양한 기판에 정밀하고 균일한 코팅을 달성하려는 연구 개발 실험실, 대학 및 산업 제조업체에 이상적인 솔루션입니다. 지금 당사의 최첨단 코터에 투자하여 생산 공정에 가져올 수 있는 품질과 효율성의 차이를 경험해 보십시오.
제품 이름 | 오토매틱 프로그램 제어 고진공 3타겟 마그네트론 스퍼터링 코팅 산화막용 기기 | |
제품 모델 | TN-MSH325-III-DCDCRF-SS | |
힘 공급 전압 | AC220V,50Hz | |
완벽한 힘 | 6KW | |
체계 진공 | DF 5×10-4Pa | |
견본 단계 | Dimensions | Φ150mm |
난방 온도 | ≤850℃ | |
온도 제어 정확도 | ±1℃ | |
Adjustable 속도 | 20rpm 이하 | |
마그네트론 스퍼터링 타겟 | 목표 크기 | 지름 Φ50.8mm, 두께 ≤3mm |
냉각 방법 | 순환 수냉 | |
물 흐름 크기 | Not 10L/분 미만 | |
수량 | 3 | |
진공 방 | 공동 크기 | 지름 Φ325mm |
공동 재료 | SUU304 스테인레스 스틸 | |
관찰 창문 | 지름 Φ100mm | |
열기 방법 | 맨 위 열기 | |
가스 제어 | 1 질량 유량계는 200SCCM 범위의 Ar 흐름을 제어하는 데 사용됩니다. | |
진공 체계 | 갖추게 하는 1개의 분자 펌프 시스템, 가스 펌핑 속도 600L/S | |
영화 두께 측정 | 선택 과목 석영 크리스탈 필름 두께 측정기, 해상도 0.10 Å | |
스퍼터링 전원 공급 장치 | 갖추게 하는 DC 전원 공급 장치 포함, 전력 500W*2 RF 전원 공급 장치 300W | |
제어 체계 | 싸이키 자체 개발한 전문 제어 시스템 | |
장비 치수 | 570mm×1040mm×1700mm | |
장비 무게 | 350kg | |
합금 박막용 3타겟 마그네트론 스퍼터링 코터는 복잡한 합금 구성 및 다층 구조의 증착을 위해 설계된 고도로 전문화된 장비입니다. 세 가지 서로 다른 타겟을 활용함으로써 이 시스템을 통해 맞춤형 특성을 지닌 정밀한 합금 필름과 적층형 재료를 생성할 수 있습니다. 이러한 유형의 기계를 사용할 수 있고 일반적으로 사용되는 주요 영역은 다음과 같습니다.
다층 및 등급 필름: 3타겟 구성은 다양한 재료를 순차적으로 또는 동시에 증착할 수 있는 다층 또는 등급 필름 증착에 이상적입니다. 이는 트랜지스터, 커패시터, 인터커넥트 등 고급 반도체 장치를 제조하는 데 매우 중요합니다.
복합 합금 필름: 마이크로 전자공학에서는 특정한 전기적, 열적 특성을 지닌 합금 필름이 필요한 경우가 많습니다. 3타겟 시스템을 사용하면 알루미늄-구리 합금 또는 실리콘-게르마늄 필름과 같은 합금의 구성을 정밀하게 제어할 수 있습니다.
반사 방지 및 반사 코팅: 경사굴절률이나 다층 스택을 포함한 복잡한 광학 코팅을 증착할 수 있습니다. 이러한 코팅은 다양한 용도의 렌즈, 거울 및 광학 필터에 필수적입니다.
처프 거울 및 빔 스플리터: 이러한 구성 요소에는 세 가지 다른 타겟을 사용하여 효율적으로 생성할 수 있는 복잡한 다중 재료 레이어가 필요한 경우가 많습니다.
자성 합금 필름: 3타겟 스퍼터링은 자기저장소자, 센서, 스핀트로닉 부품 생산에 필수적인 퍼멀로이(니켈-철), CoFeB(코발트-철-붕소) 등 자성합금막을 증착하는데 사용된다.
스핀트로닉 구조: 적층형 자성 및 비자성 물질을 생성하는 능력은 데이터 저장 및 논리 연산을 위해 전자 스핀을 활용하는 스핀트로닉 장치의 핵심입니다.
박막 태양전지: CIGS(구리 인듐 갈륨 셀레나이드) 또는 CZTS(구리 아연 주석 황화물) 셀과 같은 박막 태양전지 생산에서 복합 합금 흡수층과 투명 전도성 산화물을 증착하기 위한 3타겟 시스템이 필수적입니다.
배터리 및 연료전지 부품: 3타겟 스퍼터링은 배터리의 전극재료용 합금막과 연료전지의 보호층 또는 촉매층을 증착하여 소자의 효율과 내구성을 향상시키는 기술입니다.
고급 툴링 코팅: 티타늄-알루미늄-질화물(TiAlN), 크롬-알루미늄-질화물(CrAlN) 등의 단단한 내마모성 합금 코팅을 만들어 절삭공구, 금형, 기타 기계부품에 적용하는 코터입니다. 그들의 성과.
보호 코팅: 내식성, 내산화성 또는 열 장벽을 제공하는 합금 코팅은 항공우주, 자동차 및 산업 응용 분야에 사용하기 위해 이 시스템을 사용하여 증착됩니다.
미적 코팅: 이 기계는 전자제품, 보석류, 가정용품과 같은 소비재에 장식 마감과 기능적 특성(예: 긁힘 방지)을 모두 제공하는 다층 또는 합금 코팅을 증착할 수 있습니다.
건축 코팅: 3타겟 스퍼터링은 건축용 유리에 코팅을 생성하여 에너지 효율, 자외선 차단 및 심미성을 향상시키는 데 사용됩니다.
신소재 개발: 연구원들은 특정 전자, 자기, 광학 또는 기계적 특성을 지닌 새로운 합금 재료를 개발하고 탐색하기 위해 3타겟 스퍼터링 코터를 사용합니다. 시스템의 유연성 덕분에 새로운 재료의 신속한 프로토타이핑이 가능합니다.
나노구조 및 박막 장치: 재료 과학 및 나노 기술 연구에서 조성과 두께를 정밀하게 제어하여 복잡한 다성분 필름을 생성하는 능력은 새로운 박막 장치를 연구하고 개발하는 데 매우 중요합니다.
초전도 재료: NbTi(니오븀-티타늄), NbN(니오븀 질화물) 등의 초전도 합금막을 증착하여 초전도 전자제품, 자석, 고온초전도 연구 등에 사용되는 장비입니다.
고급 자기 코팅: 3타겟 스퍼터링을 통해 고급 데이터 저장 장치, 자기 센서 및 스핀트로닉 응용 분야에 사용되는 복잡한 자기 합금 및 다층을 생성할 수 있습니다.
생체적합성 코팅: 생체의학 공학에서는 3타겟 스퍼터링을 사용하여 티타늄 합금이나 세포 성장을 촉진하는 코팅과 같이 생체 적합하고 의료용 임플란트에 적합한 합금 코팅을 증착합니다.
기능성 생체재료: 이 시스템은 의료 기기 및 기구에 대한 항균성 또는 친수성 표면과 같은 특정 표면 특성을 갖는 코팅을 만드는 데에도 사용할 수 있습니다.
전반적으로 3타겟 마그네트론 스퍼터링 코터는 복잡한 합금 박막 및 다층 구조의 증착을 위해 여러 산업 및 연구 분야에서 사용되는 다재다능하고 강력한 도구입니다. 세 가지 다른 재료를 동시에 또는 순차적으로 처리할 수 있는 능력을 통해 맞춤형 특성을 갖춘 고급 재료 및 장치를 개발하는 데 필요한 정밀한 제어가 가능합니다.
