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데스크탑 단일 타겟 마그네트론 코터에는 왕복 샘플 테이블이 장착되어 있어 정밀하고 균일한 코팅이 가능합니다.
이 고품질 데스크탑 단일 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터는 박막 증착 분야의 연구원 및 전문가에게 적합합니다.첨단 기술과 안정적인 성능으로 다양한 박막을 정확하고 효율적으로 준비할 수 있습니다.
코터는 단층 또는 다층 강유전성 박막, 전도성 필름, 합금 필름 및 기타 박막의 증착을 위해 특별히 설계되었습니다.마그네트론 스퍼터링 기술은 우수한 필름 품질과 균일성을 보장합니다.
왕복 샘플 테이블이 장착된 이 코터는 코팅 공정을 정밀하게 제어할 수 있습니다.샘플 테이블이 앞뒤로 움직여 기판에 스퍼터링된 재료가 고르게 분포되도록 합니다.이 기능은 일관되고 재현 가능한 결과를 얻는 데 필수적입니다.
데스크탑 단일 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터는 간단한 인터페이스와 직관적인 제어 기능을 갖추고 있어 사용자 친화적입니다.이를 통해 스퍼터링 전력, 증착 시간, 가스 유량과 같은 증착 매개변수를 쉽게 조정할 수 있습니다.이는 숙련된 연구원과 해당 분야의 신규 이민자 모두에게 적합합니다.
이 코터는 컴팩트한 디자인으로 공간이 제한된 실험실에 이상적입니다.성능 저하 없이 표준 실험실 벤치에 쉽게 장착할 수 있습니다.견고한 구조로 내구성과 장기적인 신뢰성이 보장됩니다.
결론적으로, 왕복 샘플 테이블을 갖춘 데스크탑 단일 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터는 고품질 박막을 준비하기 위한 전문가급 도구입니다.고급 기능, 사용자 친화적인 인터페이스, 컴팩트한 디자인으로 모든 연구 또는 생산 시설에 귀중한 추가 기능을 제공합니다.
단일 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터의 기술 매개변수:
왕복 샘플 테이블 | 크기 | 50*100mm | |
왕복 속도 | 0~50mm/초 | ||
마그네트론 표적 총 | 표적 비행기 | 원형 평면 타겟 | |
스퍼터링 진공 | 10Pa~0.2Pa | ||
표적 지름 | 2 인치 | ||
표적 두께 | 권장 2~5mm | ||
표적 온도 | ≤65℃ | ||
진공 챔버 | 공동 크기 | 에 대한 Φ180mm × 높이 215mm | |
공동 재료 | 높은 순도 석영 | ||
관찰 창문 | 전방향 투명도 | ||
열리는 방법 | 이동할 수 있는 상단 덮개 | ||
전원 공급 장치 | DC 전원 공급 장치 | 최대 150W | |
수량 | 1 | ||
분자 펌프 시스템 | 포어라인 펌프 | 로타리 베인 펌프 | VRD-4 |
펌핑 속도 | 1.1L/초 | ||
궁극적인 진공 | 5*10-1아빠 | ||
분자 펌프 | 분자 펌핑 속도 | 600L/S | |
정격 속도 | 24000rpm | ||
궁극적인 진공 | 5*10-5아빠 | ||
진동 값 | ≤0.1um | ||
시작 Time | 도안 4.5분 | ||
중단 시간 | <7분 | ||
냉각 방법 | 수냉식 + 공냉식 | ||
워터 쿨러 | 냉각 수온 | 37℃ 이하 | |
냉각 물 흐름율 | 10L/분 | ||
전원 전압 | AC220V 50Hz | ||
데스크탑 단일 타겟 마그네트론 코터에는 왕복 샘플 테이블이 장착되어 있어 정밀하고 균일한 코팅이 가능합니다.
이 고품질 데스크탑 단일 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터는 박막 증착 분야의 연구원 및 전문가에게 적합합니다.첨단 기술과 안정적인 성능으로 다양한 박막을 정확하고 효율적으로 준비할 수 있습니다.
코터는 단층 또는 다층 강유전성 박막, 전도성 필름, 합금 필름 및 기타 박막의 증착을 위해 특별히 설계되었습니다.마그네트론 스퍼터링 기술은 우수한 필름 품질과 균일성을 보장합니다.
왕복 샘플 테이블이 장착된 이 코터는 코팅 공정을 정밀하게 제어할 수 있습니다.샘플 테이블이 앞뒤로 움직여 기판에 스퍼터링된 재료가 고르게 분포되도록 합니다.이 기능은 일관되고 재현 가능한 결과를 얻는 데 필수적입니다.
데스크탑 단일 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터는 간단한 인터페이스와 직관적인 제어 기능을 갖추고 있어 사용자 친화적입니다.이를 통해 스퍼터링 전력, 증착 시간, 가스 유량과 같은 증착 매개변수를 쉽게 조정할 수 있습니다.이는 숙련된 연구원과 해당 분야의 신규 이민자 모두에게 적합합니다.
이 코터는 컴팩트한 디자인으로 공간이 제한된 실험실에 이상적입니다.성능 저하 없이 표준 실험실 벤치에 쉽게 장착할 수 있습니다.견고한 구조로 내구성과 장기적인 신뢰성이 보장됩니다.
결론적으로, 왕복 샘플 테이블을 갖춘 데스크탑 단일 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터는 고품질 박막을 준비하기 위한 전문가급 도구입니다.고급 기능, 사용자 친화적인 인터페이스, 컴팩트한 디자인으로 모든 연구 또는 생산 시설에 귀중한 추가 기능을 제공합니다.
단일 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터의 기술 매개변수:
왕복 샘플 테이블 | 크기 | 50*100mm | |
왕복 속도 | 0~50mm/초 | ||
마그네트론 표적 총 | 표적 비행기 | 원형 평면 타겟 | |
스퍼터링 진공 | 10Pa~0.2Pa | ||
표적 지름 | 2 인치 | ||
표적 두께 | 권장 2~5mm | ||
표적 온도 | ≤65℃ | ||
진공 챔버 | 공동 크기 | 에 대한 Φ180mm × 높이 215mm | |
공동 재료 | 높은 순도 석영 | ||
관찰 창문 | 전방향 투명도 | ||
열리는 방법 | 이동할 수 있는 상단 덮개 | ||
전원 공급 장치 | DC 전원 공급 장치 | 최대 150W | |
수량 | 1 | ||
분자 펌프 시스템 | 포어라인 펌프 | 로타리 베인 펌프 | VRD-4 |
펌핑 속도 | 1.1L/초 | ||
궁극적인 진공 | 5*10-1아빠 | ||
분자 펌프 | 분자 펌핑 속도 | 600L/S | |
정격 속도 | 24000rpm | ||
궁극적인 진공 | 5*10-5아빠 | ||
진동 값 | ≤0.1um | ||
시작 Time | 도안 4.5분 | ||
중단 시간 | <7분 | ||
냉각 방법 | 수냉식 + 공냉식 | ||
워터 쿨러 | 냉각 수온 | 37℃ 이하 | |
냉각 물 흐름율 | 10L/분 | ||
전원 전압 | AC220V 50Hz | ||
