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합금박막용 수평형 고진공 3타겟 마그네트론 스퍼터링 코터

다양한 산업 분야의 고급 박막 증착 응용 분야를 위해 설계된 3타겟 마그네트론 스퍼터링 코터입니다. 이 최첨단 장비는 고품질 합금 박막, 복합 광학 코팅, 자성 합금 필름, 박막 태양전지, 경질 합금 코팅, 내식성 층 등을 생산하는 데 이상적인 다양한 기능을 갖추고 있습니다.

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모델：
TN-MSH325-III-DCDCRF-SS
제품 브랜드：
TN

제품 설명

다양한 산업 분야의 고급 박막 증착 응용 분야를 위해 설계된 최첨단 3타겟 마그네트론 스퍼터링 코터를 소개합니다. 이 최첨단 장비는 고품질 합금 박막, 복합 광학 코팅, 자성 합금 필름, 박막 태양전지, 경질 합금 코팅, 내식성 층 등을 생산하는 데 이상적인 다양한 기능을 갖추고 있습니다. .

당사의 3타겟 마그네트론 스퍼터링 코터는 재료 과학 및 나노기술 연구는 물론 프로토타입 제작 및 실험 목적에 필수적인 다용도 도구입니다. 필름 두께, 구성, 균일성을 포함한 증착 매개변수를 정밀하게 제어하는 이 코터를 사용하면 특정 요구 사항에 맞는 맞춤형 코팅을 생성할 수 있습니다.

신소재 개발, 기존 제품 개선 또는 박막 기술 분야 연구 수행 시 당사의 3타겟 마그네트론 스퍼터링 코터는 목표 달성에 필요한 신뢰성, 유연성 및 성능을 제공합니다. 지금 이 첨단 장비에 투자하여 박막 증착 능력을 한 단계 끌어올리십시오.

마그네트론 스퍼터링 코팅 기계 기술적인 매개변수:

제품 이름		수평의 고진공 3타겟 마그네트론 스퍼터링 코터
제품 모델		TN-MSH325-III-DCDCRF-SS
힘 공급 전압		AC220V,50Hz
완벽한 힘		6KW
체계 진공		DF 5×10-4Pa
견본 단계	Dimensions	Φ150mm
	난방 온도	≤850℃
	온도 제어 정확도	±1℃
	Adjustable 속도	20rpm 이하
마그네트론 스퍼터링 타겟	목표 크기	지름 Φ50.8mm, 두께 ≤3mm
	냉각 방법	순환 수냉
	물 흐름 크기	Not 10L/분 미만
	수량	3
진공 방	공동 크기	지름 Φ325mm
	공동 재료	SUU304 스테인레스 스틸
	관찰 창문	지름 Φ100mm
	열기 방법	맨 위 열기
가스 제어		1 질량 유량계는 다음과 같은 용도로 사용됩니다. 200SCCM 범위의 Ar 흐름 제어
진공 체계		갖추게 하는 분자 펌프 1개 포함 시스템, 가스 펌핑 속도 600L/S
영화 두께 측정		선택 과목 석영 크리스탈 필름 두께계, 분해능 0.10 Å
스퍼터링 전원 공급 장치		갖추게 하는 DC 전원 공급 장치로, 전력 500W*2 RF 전원 공급 장치 300W
제어 체계		싸이키 스스로 개발한 전문가 제어 시스템
장비 치수		570mm×1040mm×1700mm
장비 무게		250kg

합금 박막용 3타겟 마그네트론 스퍼터링 코터는 3개의 서로 다른 타겟 재료를 사용하여 복잡한 합금 구성과 다층 코팅을 증착하도록 설계된 특수 장비입니다. 이 구성은 특히 박막의 구성과 특성을 정밀하게 제어하는 것이 중요한 분야에서 광범위한 응용 분야를 허용합니다. 3타겟 마그네트론 스퍼터링 코터가 일반적으로 사용되는 주요 영역은 다음과 같습니다.

첨단 마이크로 전자공학 및 반도체 제조:

합금박막: 첨단 반도체 소자에 필수적인 합금박막 증착에 적합한 장비입니다. 세 가지 다른 타겟에서 동시에 스퍼터링함으로써 차세대 마이크로 전자공학에 필수적인 복잡한 합금 구성을 만드는 것이 가능합니다.
다층 및 그라데이션 필름: 다양한 재질의 다층막을 형성하여 전기적, 광학적, 기계적 특성이 향상된 소자 제작이 가능한 장비입니다.

광전자공학 및 포토닉스:

복합 광학 코팅: 광전자공학 분야에서 3타겟 시스템은 필터, 거울, 반사 방지 코팅과 같은 복잡한 광학 코팅을 맞춤형 굴절률 및 광학 특성으로 증착하는 데 사용됩니다.
투명 전도성 산화물(TCO): 디스플레이, 터치스크린, 태양광발전소자 등에 사용되는 특정 합금 조성의 TCO를 증착할 수 있는 장비입니다.

자기 저장 장치 및 스핀트로닉스:

자성 합금 필름: 코터는 하드디스크 드라이브나 MRAM(Magnetic Random Access Memory) 등에 사용되는 자성 합금막을 증착하는 데 사용됩니다. 자성 합금의 구성을 제어하는 능력은 이러한 장치의 성능을 최적화하는 데 중요합니다.
스핀트로닉 장치: 스핀트로닉스에서는 특정한 자기적 특성을 지닌 합금박막이 필수적이다. 3타겟 시스템을 사용하면 용착된 합금의 구성을 조정하여 이러한 특성을 정밀하게 조정할 수 있습니다.

에너지 저장 및 변환:

배터리 및 연료전지 부품: 배터리, 연료전지 등 에너지 저장장치용 박막을 증착하는데 사용되는 장비입니다. 합금 박막은 전극 재료, 보호 코팅 또는 촉매 층으로 사용하도록 맞춤화될 수 있습니다.
박막 태양전지: 박막형 태양전지 제조 시 3타겟 코터를 사용하여 흡수재나 완충층 역할을 하는 복합 합금층을 증착하여 태양전지의 효율성과 안정성을 향상시킵니다.

내마모성 및 보호 코팅:

경질 합금 코팅: 코터는 티타늄, 알루미늄, 크롬 등의 원소를 결합한 경질 합금 코팅을 증착하는 데 사용됩니다. 이러한 코팅은 도구, 금형 및 기계 부품에 적용되어 내마모성을 향상시키고 수명을 연장시킵니다.
부식 방지 레이어: 내식성을 부여하는 합금박막은 항공우주, 자동차, 해양 등 다양한 산업분야에 사용됩니다.

장식 및 기능성 코팅:

미적 코팅: 가전제품, 보석류, 자동차 트림 등의 시각적 매력과 긁힘 방지, 전도성 등의 기능적 특성을 모두 제공하는 합금 구성으로 장식 코팅을 만드는 데 사용할 수 있습니다.
아키텍처의 기능적 계층: 건축용 유리에 합금 코팅을 하면 에너지 효율성, 자외선 차단 등의 기능적 이점을 제공하는 동시에 건물의 미관에도 기여합니다.

연구 및 개발:

재료과학과 나노기술: 3타겟 시스템은 R&D에서 신소재를 탐색하고 특정 용도에 맞는 특성을 지닌 새로운 합금 구성을 개발하기 위해 광범위하게 사용됩니다. 이는 박막의 구성, 구조 및 성능 간의 관계를 연구하는 데 특히 유용합니다.
프로토타입 제작 및 실험: 연구원들은 이 기계를 사용하여 새로운 장치와 재료의 프로토타입을 만들고, 원하는 결과를 얻기 위해 다양한 합금 조합과 증착 조건을 실험합니다.