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PTFE 필름용 고진공 스테인레스 스틸 챔버가 있는 DC 3개 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터

이 장비는 단일 또는 다층 강유전체 필름, 전도성 필름, 합금 필름, 반도체 필름, 세라믹 필름, 유전체 필름, 광학 필름, 산화 필름, 경질 필름, PTFE 필름 등을 제조하는 데 사용할 수 있습니다.유사한 장비와 비교하여 3개 타겟 마그네트론 코터는 널리 사용될 뿐만 아니라 부피가 작고 조작이 쉽다는 장점도 있습니다.실험실에서 재료 필름을 준비하는 데 이상적인 장비입니다.
가용성 상태:
수량:
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  • TN-MSP300S-2DC1RF

  • TN

정밀 필름 준비를 위한 최고의 솔루션인 고진공 스테인레스 스틸 챔버를 갖춘 DC 3 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터를 소개합니다.현장 전문가를 위해 설계된 이 최첨단 코터는 비교할 수 없는 성능과 신뢰성을 제공합니다.


이 첨단 시스템은 단일 또는 다층 강유전체 필름, 전도성 필름, 합금 필름, 반도체 필름, 세라믹 필름, 유전체 필름, 광학 필름, 산화 필름, 경질 필름 및 PTFE 필름을 포함한 다양한 필름의 증착을 위해 특별히 설계되었습니다.다양한 기능을 갖춘 이 제품은 다양한 응용 분야에 적합하므로 연구원과 업계 전문가 모두에게 없어서는 안 될 도구입니다.


고진공 스테인리스 스틸 챔버를 갖춘 이 코터는 필름 증착을 위한 깨끗한 환경을 보장하고 오염을 최소화하며 필름 품질을 최대화합니다.챔버의 견고한 구조는 탁월한 내구성을 보장하므로 장기간 중단 없이 작동할 수 있습니다.


마그네트론 스퍼터링 기술을 갖춘 이 코터는 정확하고 균일한 필름 증착을 제공하여 탁월한 필름 두께 제어 및 균일성을 보장합니다.이를 통해 연구자들은 정확한 분석과 실험에 중요한 일관되고 재현 가능한 결과를 얻을 수 있습니다.


DC Three Target 마그네트론 스퍼터링 코팅기는 사용자 친화성을 염두에 두고 설계되었습니다.직관적인 인터페이스와 사용하기 쉬운 컨트롤 덕분에 기술을 처음 접하는 사람이라도 쉽게 조작할 수 있습니다.또한 컴팩트한 크기와 효율적인 디자인으로 공간 활용을 최적화하므로 모든 실험실이나 생산 시설에서 귀중한 자산이 됩니다.


지금 고진공 스테인레스 스틸 챔버를 갖춘 DC 3 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터에 투자하고 필름 준비의 가능성을 열어보세요.비교할 수 없는 정밀도, 신뢰성 및 다양성을 경험하고 연구 또는 생산을 새로운 차원으로 끌어올리십시오.언제나 탁월한 결과를 제공하는 당사의 전문가급 장비를 믿으십시오.

3개의 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터 기술 매개변수:


상품명

DC 3타겟 마그네트론 스퍼터링 코터

제품 모델

TN-MSP300S-2DC1RF

스퍼터링 전원 공급 장치

DC 전원 공급 장치 2개 설치

DC 전력: 500W  

진공 챔버

진공 챔버: 직경 450mm x 높이 450mm, 스테인레스 스틸 관찰 창: 직경 100mm

마그네트론 스퍼터링 헤드

장비에는 다음이 장착되어 있습니다.   3인치 타겟 마그네트론 스퍼터링 타겟 건 3개(그 중 하나는 강력한   자기 타겟과 두 개의 영구 자석 타겟), 모두 수냉식입니다.   냉각수로 대상 물질을 냉각할 수 있는 중간층

샘플 테이블

샘플 테이블 크기 : 직경 150mm (샘플 테이블은 속도 조절이 가능하며 회전 가능)   범위:1-20rpm)

샘플 테이블의 최대 가열 온도는 750℃이고 온도 제어 정확도는 +/- 1.0 °C입니다.

가스 유량 컨트롤러

질량 유량계가 기기 내부에 설치되어 있습니다.

범위 : 0-200sccm (아르곤)

15.6인치 스크린 지능형 제어 시스템에서 가스 유량 설정 가능

진공펌프

분자 세트가 장착되어 있습니다.   원클릭 작동600L/S를 사용하는 펌프 시스템

진공게이지

EF Kompirani 진공 게이지 MPG400  

측정 범위: 5 x 10-9mbar - 대기압

필름 두께 측정기

석영 진동막 두께 측정기가 장비에 장착됩니다.   0.1A의 해상도로 막두께를 실시간으로 모니터링 할 수 있습니다.

전압

220V 50HZ

노트

1. 3인치 스퍼터링 타겟 3개(강한 자기 타겟 1개와 영구 타겟 2개)   자기 표적)

2.유량계 1개

3. 스테인레스 스틸 진공 챔버

4. 분자 펌프 그룹

5. 필름 두께 측정기

6.DC 전원 공급 장치 2개와 RF 전원 공급 장치 1개

7.물 냉각 장치

8. 회전식 가열 샘플 테이블 포함

9.15.6인치 스크린 지능형 제어 시스템

10. 공기 압축기

11. 전기 제어 공압 게이트 밸브

12. 전기 제어식 차단 밸브

13. 전기 제어 공압 측면 펌핑 밸브

14. EF강 진공게이지 MPG 400 측정범위


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