TN-MSP500S-DC-RF
TN
이 장비는 데스크탑 단일 스퍼터 헤드 마그네트론 스퍼터링 코팅 기계입니다.장비의 소형화 설계는 장비의 외관을 데스크톱 수준으로 제한하여 설치 장소 요구 사항을 크게 줄입니다.장비에는 금속 재료 스퍼터링에 사용할 수 있는 DC 전원 공급 장치가 장착되어 있으며 빠른 속도와 낮은 온도 상승 특성을 가지고 있습니다.
단일 스퍼터 헤드 마그네트론 스퍼터링 코팅기(스테인레스 스틸 챔버 포함)는 단층 또는 다층 강유전성 박막, 전도성 필름, 합금 필름 등을 제조하는 데 사용할 수 있습니다.유사한 장비와 비교하여 이중 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터는 널리 사용될 뿐만 아니라 크기가 작고 작동이 쉽다는 장점이 있으며 실험실에서 재료 필름을 준비하는 데 이상적인 장비입니다.
기술적인 매개변수:
전원 전압 | AC 220, 60Hz |
진공 챔버 | 차원: Dia.300mm * 높이 300mm 재질: 304 스테인레스 스틸 뷰포트(창): 셔터 포함 ~4''(100mm) |
탑 챔버 | 중앙 상단 샘플 홀더 샘플 크기: 최대.4'' 직경 회전 속도: 0-20rpm 조절 가능 가열 온도: 최대 300oC |
하단 챔버 | 2 × 2'' 마그네트론 스퍼터 건, 각 건마다 자동 셔터 포함, 모두 CON-FOCAL, 스퍼터링 방향 위쪽 1 열 증발 저항성, 저전압, 500W 전력 |
DC 발전기 | 수량: 1 세트 출력 전력: 0~500W 출력 전압: 0~600V 타이밍 길이: 65000S 소프트 시작 시간: 1~10S 최대.출력 전류: 1A 부하 조절: >99.86% 단락 응답 시간: <5mS 제어 정확도: 1%±1 |
필름 두께 모니터 | 석영 모니터 크리스탈: 6MHz |
진공펌프 체계 | 제한된 진공: 10-5Pa |
물 냉각기 | 냉각수 온도: 37℃ 유량: 10L/분 힘: 0.1KW 냉각력: 50W/℃ 탱크 용량: 9L |
질량 유량계 | 1 × MFC 질량 흐름 제어 가스 흐름을 차단하는 전기 진공 밸브 포함 |
이 장비는 데스크탑 단일 스퍼터 헤드 마그네트론 스퍼터링 코팅 기계입니다.장비의 소형화 설계는 장비의 외관을 데스크톱 수준으로 제한하여 설치 장소 요구 사항을 크게 줄입니다.장비에는 금속 재료 스퍼터링에 사용할 수 있는 DC 전원 공급 장치가 장착되어 있으며 빠른 속도와 낮은 온도 상승 특성을 가지고 있습니다.
단일 스퍼터 헤드 마그네트론 스퍼터링 코팅기(스테인레스 스틸 챔버 포함)는 단층 또는 다층 강유전성 박막, 전도성 필름, 합금 필름 등을 제조하는 데 사용할 수 있습니다.유사한 장비와 비교하여 이중 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터는 널리 사용될 뿐만 아니라 크기가 작고 작동이 쉽다는 장점이 있으며 실험실에서 재료 필름을 준비하는 데 이상적인 장비입니다.
기술적인 매개변수:
전원 전압 | AC 220, 60Hz |
진공 챔버 | 차원: Dia.300mm * 높이 300mm 재질: 304 스테인레스 스틸 뷰포트(창): 셔터 포함 ~4''(100mm) |
탑 챔버 | 중앙 상단 샘플 홀더 샘플 크기: 최대.4'' 직경 회전 속도: 0-20rpm 조절 가능 가열 온도: 최대 300oC |
하단 챔버 | 2 × 2'' 마그네트론 스퍼터 건, 각 건마다 자동 셔터 포함, 모두 CON-FOCAL, 스퍼터링 방향 위쪽 1 열 증발 저항성, 저전압, 500W 전력 |
DC 발전기 | 수량: 1 세트 출력 전력: 0~500W 출력 전압: 0~600V 타이밍 길이: 65000S 소프트 시작 시간: 1~10S 최대.출력 전류: 1A 부하 조절: >99.86% 단락 응답 시간: <5mS 제어 정확도: 1%±1 |
필름 두께 모니터 | 석영 모니터 크리스탈: 6MHz |
진공펌프 체계 | 제한된 진공: 10-5Pa |
물 냉각기 | 냉각수 온도: 37℃ 유량: 10L/분 힘: 0.1KW 냉각력: 50W/℃ 탱크 용량: 9L |
질량 유량계 | 1 × MFC 질량 흐름 제어 가스 흐름을 차단하는 전기 진공 밸브 포함 |
