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유전체 필름용 하단 타겟 유형을 갖춘 이중 타겟 DC RF 마그네트론 스퍼터링 코터 기계

듀얼 타겟 DC RF 마그네트론 스퍼터링 코터 기계는 당사에서 개발한 두 개의 타겟을 갖춘 특수 실험실 코팅 기계입니다.DC 전원 공급 장치와 RF 전원 공급 장치가 장착되어 있습니다.단층 또는 다층 강유전성 박막, 전도성 필름, 합금 필름, 반도체 필름, 세라믹 필름, 유전체 필름, 광학 필름 등을 제조하는 데 사용할 수 있습니다.

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모델：
TN-MSP500S-DCRF-B
제품 브랜드：
TN

제품 설명

듀얼 타겟 DC RF 마그네트론 스퍼터링 코터 기계는 당사에서 개발한 두 개의 타겟을 갖춘 특수 실험실 코팅 기계입니다.DC 전원 공급 장치와 RF 전원 공급 장치가 장착되어 있습니다.단층 또는 다층 강유전성 박막, 전도성 필름, 합금 필름, 반도체 필름, 세라믹 필름, 유전체 필름, 광학 필름 등을 제조하는 데 사용할 수 있습니다.

특징

ㅏ.기존 플라즈마 스퍼터링과 비교하여 마그네트론 스퍼터링은 높은 에너지, 고속, 높은 증착 속도 및 낮은 샘플 온도 상승이라는 장점을 가지고 있습니다.

비.마그네트론 타겟에는 수냉식 중간층이 장착되어 있습니다.워터 쿨러는 열을 효과적으로 제거하고 대상 표면에 열이 축적되는 것을 방지하여 마그네트론 코팅이 오랫동안 안정적으로 작동할 수 있도록 합니다.

씨.이 모델은 타겟 아래의 레이아웃을 채택하고 샘플 테이블이 상단에 있으며 타겟 표면과의 높이가 프로그램에 의해 정밀하게 조정될 수 있고 회전 및 가열이 가능하며 뛰어난 성능을 발휘합니다.

기술적인 매개변수:

모델		TN-MSP500S-DCRF-B
입력		AC220V,50Hz
총 전력		6KW
궁극적인 진공도		5x10-4Pa
샘플 테이블 매개변수	크기	직경 150
	키	70mm 조절 가능
	난방	≤500℃
	회전 속도	1-20rpm
마그네트론 스퍼터링 헤드 매개변수	수량	2세트, 2인치
	냉각 모드	수냉식, 필수 유량10L/min
	물 냉각기	10L/min 순환수 냉각
진공 챔버	크기	500mm다이아.× 높이 490mm
	재료	스테인레스 스틸
	감시 창	100mm 직경
	오픈 모드	전면 여는 문
가스 유량 컨트롤러		1채널 200sccm Ar;
진공펌프		분자 펌프 시스템 펌핑, 600L/S
필름 두께 측정기		석영 진동 필름 두께 게이지 , 하나 설정, 해상도 0.10Å
스퍼터 전원 공급 장치		DC 전원 공급 장치: 하나 세트, 500W, 금속 필름용 RF 전원 공급 장치: 하나 비금속 필름용 세트, 500W
작동 모드		올인원 컴퓨터 작동
전체 치수		1090mm X 900mm X 1250mm
총 무게		350kg