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TiN 필름용 스테인레스 스틸 캐비티가 있는 데스크탑 단일 타겟 DC 마그네트론 스퍼터링 코터

DC 마그네트론 스퍼터링 코터는 높은 증착 속도, 우수한 필름 접착력, 넓은 영역을 균일하게 코팅하는 능력과 같은 장점을 제공하는 얇은 필름 증착의 다용도 도구입니다. 마이크로일렉트로닉스부터 광학까지 다양한 산업 분야는 물론 학술 연구 분야의 핵심 기술입니다.

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모델：
TN-MSZ194-I-DC-SS
제품 브랜드：
TN

제품 설명

당사의 데스크탑 단일 타겟 DC 마그네트론 스퍼터링 코터는 다양한 응용 분야에서 박막 증착을 위해 설계된 최첨단 장비입니다. 이 코터는 마이크로 전자공학 제조, 광학 코팅, 단단하고 내마모성 코팅, 자기 필름, 태양 전지 및 에너지 장치에 이상적입니다.

첨단 기술과 정밀 엔지니어링을 갖춘 이 스퍼터링 코터는 증착 공정에 대한 탁월한 제어 기능을 제공하여 탁월한 균일성과 접착력을 갖춘 고품질 박막을 생성합니다. 단일 타겟 설계를 통해 효율적이고 비용 효율적인 기판 코팅이 가능하므로 연구 개발 연구소, 대학, 소규모 생산 시설에 이상적인 선택입니다.

차세대 마이크로 전자공학 연구, 고급 광학 코팅 개발, 에너지 장치용 신소재 탐색 등 어떤 작업을 하든 당사의 데스크탑 단일 타겟 DC 마그네트론 스퍼터링 코터는 귀하의 목표 달성에 도움이 되는 완벽한 도구입니다. 귀하의 모든 박막 증착 요구 사항에 맞는 안정적이고 효율적인 솔루션을 제공하는 당사의 전문 지식과 경험을 믿으십시오.

마그네트론 스퍼터링 코터 기술 매개변수:

제품명	데스크탑 스테인레스 스틸 캐비티 단일 타겟 DC 마그네트론 스퍼터링 코터 장치
제품번호	TN-MSZ194-I-DC-SS
샘플 단계	Dimensions	Φ100mm
	가열 온도	DF 500℃
	조정 가능한 속도	20rpm 이하
자기 표적 총	2인치 자기 제어 타겟 장착, 타겟 크기: 직경 50.8mm, 두께 ≤3mm
진공 챔버	캐비티 크기	Φ194mm X 263mm
	관찰 창	전방향 투명
	캐비티 재료	304 스테인레스 스틸
	개폐방식	탈착식 상단 커버
진공 시스템	배압 펌프	저소음 바이폴라 로터리 베인 펌프
	분자펌프	저소음 및 고속 펌핑 속도의 터보분자 펌프
	진공 측정	복합 진공 게이지, 범위: 1*10-4Pa
	공기 추출 인터페이스	KF16
	공기 추출 인터페이스	KF40
	배기 인터페이스	KF16
	시스템 진공	1.0×10^-4아빠
	전원 공급 장치	AC 220V 50/60Hz
	펌핑 속도	분자 펌프의 펌핑 속도는 60L/s이며, 펌핑 속도는 배압 펌프의 속도는 1.1L/s입니다.
전원 구성	전원 공급 장치 수	DC 전원 공급 장치 세트
전원 구성	출력 전력	DC 전원 공급 장치 500W
기타 매개변수	공급 전압	AC220V,50Hz
	총 전력	2kW
	무게	80kg
	전체 사이즈	550mm X 450mm X750mm