TN-MSP300S-2DC1RF
TN
모든 필름 준비 요구 사항을 충족하는 완벽한 솔루션인 Three Target Magnetron Sputtering Coater를 소개합니다.이 전문가급 코터는 탁월한 성능과 정밀도를 제공하도록 설계되어 연구자, 과학자, 엔지니어에게 없어서는 안 될 도구입니다.
첨단 기술을 갖춘 Three Target Magnetron Sputtering Coater를 사용하면 단일 또는 다층 필름을 쉽게 준비할 수 있습니다.강유전성 필름, 전도성 필름, 합금 필름, 반도체 필름, 세라믹 필름, 유전체 필름, 광학 필름, 산화 필름, 경질 필름, PTFE 필름 등 어떤 작업을 하든 이 코터를 사용하면 됩니다.
세 가지 타겟을 갖춘 이 코터는 여러 재료를 동시에 증착할 수 있어 시간과 노력을 절약할 수 있습니다.마그네트론 스퍼터링 공정은 균일하고 제어된 필름 증착을 보장하여 고품질의 재현 가능한 결과를 제공합니다.
당사의 3개 타겟 마그네트론 스퍼터링 코팅기는 생산성과 효율성을 향상시키는 최첨단 기능을 갖추고 있습니다.사용자 친화적인 인터페이스와 직관적인 제어 기능 덕분에 스퍼터링 기술을 처음 접하는 사용자라도 쉽게 작업할 수 있습니다.또한, 코터는 견고한 구조와 안정적인 성능을 자랑하여 오래 지속되는 내구성과 일관된 출력을 보장합니다.
오늘 3개 타겟 마그네트론 스퍼터링 코팅기에 투자하여 필름 준비에 있어 무한한 가능성을 열어보세요.전문가 수준의 장비를 제공하려는 당사의 노력이 뒷받침하는 첨단 기술과 정밀도의 힘을 경험해 보세요.당사의 안정적이고 다재다능한 코터를 사용하여 연구 개발을 새로운 차원으로 끌어올리십시오.
3개의 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터 기술 매개변수:
상품명 | 3개 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터---타겟의 낮은 위치 총(영어 조작 인터페이스) |
제품 모델 | TN-MSP300S-2DC1RF |
스퍼터링 전원 공급 장치 | DC 전원 공급 장치 2개와 RF 전원 공급 장치 1개 설치 DC 전력: 500W RF 전력: 300W |
진공 챔버 | 진공 챔버: 직경 450mm x 높이 450mm, 스테인레스 스틸 관찰 창: 직경 100mm |
마그네트론 스퍼터링 헤드 | 장비에는 다음이 장착되어 있습니다. 3인치 타겟 마그네트론 스퍼터링 타겟 건 3개(그 중 하나는 강력한 자기 타겟과 두 개의 영구 자석 타겟), 모두 수냉식입니다. 냉각수로 대상 물질을 냉각할 수 있는 중간층 |
샘플 테이블 | 샘플 테이블 크기 : 직경 150mm (샘플 테이블은 속도 조절이 가능하며 회전 가능) 범위:1-20rpm) 샘플 테이블의 최대 가열 온도는 750℃이고 온도 제어 정확도는 +/- 1.0 °C입니다. |
가스 유량 컨트롤러 | 질량 유량계가 기기 내부에 설치되어 있습니다. 범위 : 0-200sccm (아르곤) 15.6인치 스크린 지능형 제어 시스템에서 가스 유량 설정 가능 |
진공펌프 | 분자 세트가 장착되어 있습니다. 원클릭 작동600L/S를 사용하는 펌프 시스템 |
진공게이지 | EF Kompirani 진공 게이지 MPG400 측정 범위: 5 x 10-9mbar - 대기압 |
필름 두께 측정기 | 석영 진동막 두께 측정기가 장비에 장착됩니다. 0.1A의 해상도로 막두께를 실시간으로 모니터링 할 수 있습니다. |
전압 | 220V 50HZ |
노트 | 1. 3인치 스퍼터링 타겟 3개(강한 자기 타겟 1개와 영구 타겟 2개) 자기 표적) 2.유량계 1개 3. 스테인레스 스틸 진공 챔버 4. 분자 펌프 그룹 5. 필름 두께 측정기 6.DC 전원 공급 장치 2개와 RF 전원 공급 장치 1개 7.물 냉각 장치 8. 회전식 가열 샘플 테이블 포함 9.15.6인치 스크린 지능형 제어 시스템 10. 공기 압축기 11. 전기 제어 공압 게이트 밸브 12. 전기 제어식 차단 밸브 13. 전기 제어 공압 측면 펌핑 밸브 14. EF강 진공게이지 MPG 400 측정범위 |
모든 필름 준비 요구 사항을 충족하는 완벽한 솔루션인 Three Target Magnetron Sputtering Coater를 소개합니다.이 전문가급 코터는 탁월한 성능과 정밀도를 제공하도록 설계되어 연구자, 과학자, 엔지니어에게 없어서는 안 될 도구입니다.
첨단 기술을 갖춘 Three Target Magnetron Sputtering Coater를 사용하면 단일 또는 다층 필름을 쉽게 준비할 수 있습니다.강유전성 필름, 전도성 필름, 합금 필름, 반도체 필름, 세라믹 필름, 유전체 필름, 광학 필름, 산화 필름, 경질 필름, PTFE 필름 등 어떤 작업을 하든 이 코터를 사용하면 됩니다.
세 가지 타겟을 갖춘 이 코터는 여러 재료를 동시에 증착할 수 있어 시간과 노력을 절약할 수 있습니다.마그네트론 스퍼터링 공정은 균일하고 제어된 필름 증착을 보장하여 고품질의 재현 가능한 결과를 제공합니다.
당사의 3개 타겟 마그네트론 스퍼터링 코팅기는 생산성과 효율성을 향상시키는 최첨단 기능을 갖추고 있습니다.사용자 친화적인 인터페이스와 직관적인 제어 기능 덕분에 스퍼터링 기술을 처음 접하는 사용자라도 쉽게 작업할 수 있습니다.또한, 코터는 견고한 구조와 안정적인 성능을 자랑하여 오래 지속되는 내구성과 일관된 출력을 보장합니다.
오늘 3개 타겟 마그네트론 스퍼터링 코팅기에 투자하여 필름 준비에 있어 무한한 가능성을 열어보세요.전문가 수준의 장비를 제공하려는 당사의 노력이 뒷받침하는 첨단 기술과 정밀도의 힘을 경험해 보세요.당사의 안정적이고 다재다능한 코터를 사용하여 연구 개발을 새로운 차원으로 끌어올리십시오.
3개의 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터 기술 매개변수:
상품명 | 3개 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터---타겟의 낮은 위치 총(영어 조작 인터페이스) |
제품 모델 | TN-MSP300S-2DC1RF |
스퍼터링 전원 공급 장치 | DC 전원 공급 장치 2개와 RF 전원 공급 장치 1개 설치 DC 전력: 500W RF 전력: 300W |
진공 챔버 | 진공 챔버: 직경 450mm x 높이 450mm, 스테인레스 스틸 관찰 창: 직경 100mm |
마그네트론 스퍼터링 헤드 | 장비에는 다음이 장착되어 있습니다. 3인치 타겟 마그네트론 스퍼터링 타겟 건 3개(그 중 하나는 강력한 자기 타겟과 두 개의 영구 자석 타겟), 모두 수냉식입니다. 냉각수로 대상 물질을 냉각할 수 있는 중간층 |
샘플 테이블 | 샘플 테이블 크기 : 직경 150mm (샘플 테이블은 속도 조절이 가능하며 회전 가능) 범위:1-20rpm) 샘플 테이블의 최대 가열 온도는 750℃이고 온도 제어 정확도는 +/- 1.0 °C입니다. |
가스 유량 컨트롤러 | 질량 유량계가 기기 내부에 설치되어 있습니다. 범위 : 0-200sccm (아르곤) 15.6인치 스크린 지능형 제어 시스템에서 가스 유량 설정 가능 |
진공펌프 | 분자 세트가 장착되어 있습니다. 원클릭 작동600L/S를 사용하는 펌프 시스템 |
진공게이지 | EF Kompirani 진공 게이지 MPG400 측정 범위: 5 x 10-9mbar - 대기압 |
필름 두께 측정기 | 석영 진동막 두께 측정기가 장비에 장착됩니다. 0.1A의 해상도로 막두께를 실시간으로 모니터링 할 수 있습니다. |
전압 | 220V 50HZ |
노트 | 1. 3인치 스퍼터링 타겟 3개(강한 자기 타겟 1개와 영구 타겟 2개) 자기 표적) 2.유량계 1개 3. 스테인레스 스틸 진공 챔버 4. 분자 펌프 그룹 5. 필름 두께 측정기 6.DC 전원 공급 장치 2개와 RF 전원 공급 장치 1개 7.물 냉각 장치 8. 회전식 가열 샘플 테이블 포함 9.15.6인치 스크린 지능형 제어 시스템 10. 공기 압축기 11. 전기 제어 공압 게이트 밸브 12. 전기 제어식 차단 밸브 13. 전기 제어 공압 측면 펌핑 밸브 14. EF강 진공게이지 MPG 400 측정범위 |
