TN-VTC-DC
TN
이 스퍼터링 코터는 DC 마그네트론 스퍼터링 기술을 활용하여 효율적이고 균일한 필름 증착이 가능합니다.유리, 실리콘, 금속 등 다양한 기판에 우수한 접착력과 균일성으로 필름을 증착할 수 있습니다.
이 코터의 단일 타겟 디자인은 단일 레이어 필름의 증착뿐만 아니라 복잡한 필름 구조를 위한 다중 레이어의 순차적 증착을 가능하게 합니다.조정 가능한 스퍼터링 전력과 증착 시간을 통해 원하는 필름 두께와 특성을 달성하는 데 유연성을 제공합니다.
신뢰할 수 있는 진공 시스템을 갖춘 이 코터는 높은 진공 수준을 달성하여 코팅 공정에 오염 없는 환경을 보장합니다.스테인레스 스틸 챔버는 탁월한 부식 저항성을 제공하고 오래 지속되는 성능을 보장합니다.
사용자 친화적인 인터페이스와 직관적인 제어판으로 작업이 간단하고 편리해졌습니다.코터에는 과전류 보호, 자동 전원 차단 등 첨단 안전 기능이 탑재되어 사용자와 장비 모두의 안전을 보장합니다.
연구 실험실이든 산업 환경이든, 고진공 스테인레스 스틸 챔버를 갖춘 이 단일 타겟 DC 마그네트론 스퍼터링 코터는 정확하고 안정적인 박막 증착을 위한 이상적인 선택입니다.다용성과 견고한 구조로 인해 재료 과학, 전자, 광학 등을 포함한 광범위한 응용 분야에 적합합니다.
단일 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터의 기술 매개변수:
단일 타겟 DC 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비 | ||
샘플 스테이지 | Dimensions | Φ185mm |
가열 범위 | 실온~500℃ | |
조정 가능한 속도 | 1-20rpm 조절 가능 | |
magnetic 제어 표적 총 | 대상 평면 | 원형 평면 타겟 |
스퍼터링 진공 | 10Pa~0.2Pa | |
표적 직경 | 50~50.8mm | |
목표두께 | 2~5mm | |
절연전압 | >2000V | |
케이블 사양 | SL-16 | |
목표 헤드 온도 | ≤65℃ | |
진짜 없는 공동 몸 | 내벽 처리 | 전해연마 |
캐비티 크기 | Φ300mm × 300mm | |
캐비티 재료 | 304 스테인레스 스틸 | |
관찰 창 | 석영 창, 직경 Φ100mm | |
개방형 방식 | 상단 개구부, 실린더 보조 지지대 | |
가스 몸 제어 체계 | 흐름 제어 | 질량 유량계, 범위 0~200SCCM 아르곤 가스 |
제어 밸브 유형 | 솔레노이드 벨브 | |
제어 밸브 정적 상태 | 평상시 닫힘 | |
선형성 측정 | ±1.5%FS | |
측정 반복성 | ±0.2%FS | |
응답 시간 측정 | 8초 이하(T95) | |
작동 압력 범위 | 0.3MPa | |
밸브 본체 압력 | 3MPa | |
작동 온도 | (5~45)℃ | |
본체 재질 | 스테인레스 스틸 316L | |
밸브 본체 누출률 | 1×10-8Pa.m3/s | |
파이프 조인트 | 1/4″압축 피팅 | |
입력 및 출력 신호 | 0~5V | |
전원공급장치 | ±15V(±5%)(+15V) 50mA, -15V 200mA) | |
전체 치수 mm | 130(너비) × 102(높이) × 28(두께) | |
통신 인터페이스 | RS485 MODBUS 프로토콜 | |
DC 전원 공급 장치 | 힘 | 500W |
출력 전압 | 0~600V | |
타이밍 길이 | 65000초 | |
시작 시간 | 1~10초 | |
필름 두께 측정 | 전력 요구 사항 | DC:5V(±10%) 최대 전류 400mA |
해결 | ±0.03Hz(5-6MHz),0.0136Å / 측정(알루미늄) | |
측정 정확도 | ±0.5% 두께 + 1카운트 | |
측정기간 | 100mS~1S/시간(설정 가능) | |
측정 범위 | 500,000Å(알루미늄) | |
수정 주파수 | 6MHz | |
통신 인터페이스 | RS-232/485 직렬 인터페이스 | |
숫자 표시 | 8자리 LED 디스플레이 | |
분자펌프 | 분자 펌프 펌핑 속도 | 80리터/초 |
정격 속도 | 65000rpm | |
진동값 | ≤0.1um | |
시작 시간 | 도안 4.5분 | |
중단 시간 | <7분 | |
냉각방식 | 공냉식 | |
냉각수 온도 | 37℃ 이하 | |
냉각수 유량 | 1L/분 | |
설치 방향 | 수직 ±5° | |
흡입 포트 | 150CF | |
배기 연결 | KF40 | |
포어 펌프 | 펌핑 속도 | 1.1L/S(VRD-4) |
궁극의 진공 | 5×10-2Pa | |
전원공급장치 | 교류:220V/50Hz | |
힘 | 400W | |
소음 | DF 56dB | |
흡입구 | KF40 | |
배기 연결 | KF25 | |
릴리스 밸브 | 공압 및 전자 제어식 공기 배출 밸브가 진공 챔버에 설치됩니다. | |
전체 기계의 궁극적인 진공 | DF 5×10-4Pa | |
진공 챔버 부스트 속도 | 2.5Pa/h 이하 | |
소프트웨어 시스템 | 모니터링 및 관리 소프트웨어 1세트 | |
테스트 대상 | 직경 2인치, 두께 3mm의 구리 타겟 2개 | |
이 스퍼터링 코터는 DC 마그네트론 스퍼터링 기술을 활용하여 효율적이고 균일한 필름 증착이 가능합니다.유리, 실리콘, 금속 등 다양한 기판에 우수한 접착력과 균일성으로 필름을 증착할 수 있습니다.
이 코터의 단일 타겟 디자인은 단일 레이어 필름의 증착뿐만 아니라 복잡한 필름 구조를 위한 다중 레이어의 순차적 증착을 가능하게 합니다.조정 가능한 스퍼터링 전력과 증착 시간을 통해 원하는 필름 두께와 특성을 달성하는 데 유연성을 제공합니다.
신뢰할 수 있는 진공 시스템을 갖춘 이 코터는 높은 진공 수준을 달성하여 코팅 공정에 오염 없는 환경을 보장합니다.스테인레스 스틸 챔버는 탁월한 부식 저항성을 제공하고 오래 지속되는 성능을 보장합니다.
사용자 친화적인 인터페이스와 직관적인 제어판으로 작업이 간단하고 편리해졌습니다.코터에는 과전류 보호, 자동 전원 차단 등 첨단 안전 기능이 탑재되어 사용자와 장비 모두의 안전을 보장합니다.
연구 실험실이든 산업 환경이든, 고진공 스테인레스 스틸 챔버를 갖춘 이 단일 타겟 DC 마그네트론 스퍼터링 코터는 정확하고 안정적인 박막 증착을 위한 이상적인 선택입니다.다용성과 견고한 구조로 인해 재료 과학, 전자, 광학 등을 포함한 광범위한 응용 분야에 적합합니다.
단일 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터의 기술 매개변수:
단일 타겟 DC 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비 | ||
샘플 스테이지 | Dimensions | Φ185mm |
가열 범위 | 실온~500℃ | |
조정 가능한 속도 | 1-20rpm 조절 가능 | |
magnetic 제어 표적 총 | 대상 평면 | 원형 평면 타겟 |
스퍼터링 진공 | 10Pa~0.2Pa | |
표적 직경 | 50~50.8mm | |
목표두께 | 2~5mm | |
절연전압 | >2000V | |
케이블 사양 | SL-16 | |
목표 헤드 온도 | ≤65℃ | |
진짜 없는 공동 몸 | 내벽 처리 | 전해연마 |
캐비티 크기 | Φ300mm × 300mm | |
캐비티 재료 | 304 스테인레스 스틸 | |
관찰 창 | 석영 창, 직경 Φ100mm | |
개방형 방식 | 상단 개구부, 실린더 보조 지지대 | |
가스 몸 제어 체계 | 흐름 제어 | 질량 유량계, 범위 0~200SCCM 아르곤 가스 |
제어 밸브 유형 | 솔레노이드 벨브 | |
제어 밸브 정적 상태 | 평상시 닫힘 | |
선형성 측정 | ±1.5%FS | |
측정 반복성 | ±0.2%FS | |
응답 시간 측정 | 8초 이하(T95) | |
작동 압력 범위 | 0.3MPa | |
밸브 본체 압력 | 3MPa | |
작동 온도 | (5~45)℃ | |
본체 재질 | 스테인레스 스틸 316L | |
밸브 본체 누출률 | 1×10-8Pa.m3/s | |
파이프 조인트 | 1/4″압축 피팅 | |
입력 및 출력 신호 | 0~5V | |
전원공급장치 | ±15V(±5%)(+15V) 50mA, -15V 200mA) | |
전체 치수 mm | 130(너비) × 102(높이) × 28(두께) | |
통신 인터페이스 | RS485 MODBUS 프로토콜 | |
DC 전원 공급 장치 | 힘 | 500W |
출력 전압 | 0~600V | |
타이밍 길이 | 65000초 | |
시작 시간 | 1~10초 | |
필름 두께 측정 | 전력 요구 사항 | DC:5V(±10%) 최대 전류 400mA |
해결 | ±0.03Hz(5-6MHz),0.0136Å / 측정(알루미늄) | |
측정 정확도 | ±0.5% 두께 + 1카운트 | |
측정기간 | 100mS~1S/시간(설정 가능) | |
측정 범위 | 500,000Å(알루미늄) | |
수정 주파수 | 6MHz | |
통신 인터페이스 | RS-232/485 직렬 인터페이스 | |
숫자 표시 | 8자리 LED 디스플레이 | |
분자펌프 | 분자 펌프 펌핑 속도 | 80리터/초 |
정격 속도 | 65000rpm | |
진동값 | ≤0.1um | |
시작 시간 | 도안 4.5분 | |
중단 시간 | <7분 | |
냉각방식 | 공냉식 | |
냉각수 온도 | 37℃ 이하 | |
냉각수 유량 | 1L/분 | |
설치 방향 | 수직 ±5° | |
흡입 포트 | 150CF | |
배기 연결 | KF40 | |
포어 펌프 | 펌핑 속도 | 1.1L/S(VRD-4) |
궁극의 진공 | 5×10-2Pa | |
전원공급장치 | 교류:220V/50Hz | |
힘 | 400W | |
소음 | DF 56dB | |
흡입구 | KF40 | |
배기 연결 | KF25 | |
릴리스 밸브 | 공압 및 전자 제어식 공기 배출 밸브가 진공 챔버에 설치됩니다. | |
전체 기계의 궁극적인 진공 | DF 5×10-4Pa | |
진공 챔버 부스트 속도 | 2.5Pa/h 이하 | |
소프트웨어 시스템 | 모니터링 및 관리 소프트웨어 1세트 | |
테스트 대상 | 직경 2인치, 두께 3mm의 구리 타겟 2개 | |
