TN-MSP180G-1T-A
TN
이 장비는 스캐닝 현미경과 함께 사용하도록 특별히 설계된 데스크탑 단일 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터입니다.
이 마그네트론 스퍼터링 코터에는 석영 캐비티가 장착되어 있어 코팅 공정 중 높은 균일성과 안정성을 보장합니다.또한 석영 캐비티는 뛰어난 가시성을 제공하여 사용자가 증착 프로세스를 면밀히 모니터링할 수 있습니다.
데스크탑 크기의 이 코터는 공간이 제한된 실험실 및 연구 시설에 적합합니다.컴팩트한 디자인으로 성능을 저하시키지 않으며, 필름 두께와 구성을 정밀하게 제어하여 고품질의 박막을 얻을 수 있습니다.
단일 타겟 구성을 통해 타겟 교체가 용이하고 복잡한 설정 절차 없이 다양한 재료를 증착할 수 있습니다.이로 인해 코터는 매우 다재다능하고 광범위한 응용 분야에 적합합니다.
이 코터에 사용된 마그네트론 스퍼터링 기술은 효율적이고 균일한 증착을 보장하여 접착력이 뛰어나고 밀도가 높은 필름을 생성합니다.조정 가능한 전원 공급 장치를 통해 스퍼터링 공정을 정밀하게 제어할 수 있어 최적의 필름 특성을 보장합니다.
또한, 과전류 보호, 인터록 시스템 등 첨단 안전 기능을 탑재해 사용자와 장비 모두의 안전을 보장합니다.
전반적으로, 주사 현미경용 석영 캐비티가 있는 데스크탑 단일 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터는 박막 증착 분야의 연구원과 과학자에게 신뢰할 수 있고 효율적인 도구입니다.컴팩트한 크기, 다양한 기능 및 고급 기능을 갖춘 이 제품은 재료 과학, 나노기술 및 표면 공학의 다양한 응용 분야에 이상적인 선택입니다.
상품명 | 데스크탑 단일 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터 |
제품 모델 | TN-MSP180G-1T-A |
설치 조건 | 1、작업환경 온도: 25℃±15℃, 습도: 55%Rh±10%Rh; 2, 장비 전원 공급 장치: AC220V,50Hz, 접지가 잘 되어 있어야 합니다. 3, 정격 출력: 1000w; 4, 가스 장비: 장비 챔버 청소를 위해 아르곤 가스를 채워야 합니다.고객이 준비해야 합니다. 순도 ≥99.99%의 아르곤 가스. 5、테이블 크기 요구 사항: 600mm×600mm×700mm, 베어링 용량 ≥ 50kg; 6、위치가 좋아야 한다 환기 및 냉각. |
기술 지표 | 1, 스퍼터링 전원 공급 장치: DC 전원 공급 장치 300W, 최대 출력 전압 600V, 제한 전류 출력 500mA 2, 마그네트론 타겟: 2인치 밸런스 타겟, 자기 커플링 배플; 3, 적합한 타겟 재료: Φ50mm x 3mm 두께 4, 캐비티 크기 : Φ180mm x 200mm 5, 캐비티 재질 : 높음 순도 석영 6, 회전 가열 샘플 테이블 : 회전 속도 1~20rpm 지속적으로 조정 가능, 최대 가열 온도 500℃, 최저 권장 가열 속도 10℃/min, 최고 권장 가열속도 20℃/min. 7, 냉각 모드: 자기 타겟 및 분자 펌프에는 순환수 냉각기가 필요합니다. 8, 수냉식 기계: 탱크 용량 9L, 유량 10L/min 9, 가스 공급 시스템: 질량 유량계, 유형 가스 아르곤, 흐름 1~30sccm(맞춤형) 10, 유량계 정확도: ±1.5% 측정 범위 11, 공기 펌핑 인터페이스 진공 챔버의 KF25입니다 12, 공기 흡입구 인터페이스는 다음과 같습니다. 1/4인치 이중 페럴 조인트 13. 터치스크린은 7인치입니다. 컬러 터치 스크린 14, 조정 가능한 스퍼터링 전류, 스퍼터링 안전 전류 값과 안전 진공 값을 설정할 수 있습니다. 15、 안전 보호: 과전류, 진공이 너무 낮으면 자동으로 차단됩니다. 스퍼터링 전류 16, 궁극적인 진공: 5E-4Pa(일치하는 분자 펌프); 17, 진공 측정은 파라나 진공 게이지이며 범위는 1~105Pa입니다. |
알아채다 | 1. 마그네트론 스퍼터링 일반적으로 2Pa 이내의 높은 작동 진공을 가지며 함께 사용해야 합니다. 분자 펌프. 2、목표를 달성하기 위해 산소가 없는 환경에서는 진공 챔버를 최소 3회 이상 청소해야 합니다. 고순도 불활성 가스로 시간을 절약합니다. 3, 마그네트론 스퍼터링은 공기 흡입구에 민감하므로 공기를 제어하려면 질량 유량계가 필요합니다. 섭취 |
선택 과목 부속물 | |
영화 두께 감시 장치 | 1, 필름 두께 분해능: 0.0136Å(알루미늄) 2、필름의 정확성 두께 : ±0.5%, 공정에 따라 다름 조건, 특히 센서 위치, 재료 응력, 온도 및 밀도 3, 측정 속도: 100ms-1s/회, 측정 범위는 다음과 같습니다. 세트 : 500000Å(알루미늄) 4, 표준 센서 크리스탈: 6MHz 5, 웨이퍼 주파수에 적합: 6MHz 웨이퍼 크기에 적합: Φ14mm 장착 플랜지: CF35 |
또 다른 액세서리 | · 1、CY-CZK103 시리즈 고성능 분자 펌프 세트(복합 진공 게이지 포함, 측정 범위 10-5Pa~105Pa) CY-GZK60 시리즈 소분자 펌프 세트(복합 진공 게이지, 측정 범위 포함) 10-5Pa~102Pa) VRD-4 바이폴라 로터리 베인 진공 펌프 2, KF25 진공 벨로우즈;그만큼 길이는 0.5m, 1m 또는 1.5m일 수 있습니다.KF25 클램프 브래킷 3, 필름 두께 측정기 수정 발진기; 4, 스테인레스 스틸 미세 조정 밸브(낮은 코팅 요구 사항에만 적합) |
이 장비는 스캐닝 현미경과 함께 사용하도록 특별히 설계된 데스크탑 단일 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터입니다.
이 마그네트론 스퍼터링 코터에는 석영 캐비티가 장착되어 있어 코팅 공정 중 높은 균일성과 안정성을 보장합니다.또한 석영 캐비티는 뛰어난 가시성을 제공하여 사용자가 증착 프로세스를 면밀히 모니터링할 수 있습니다.
데스크탑 크기의 이 코터는 공간이 제한된 실험실 및 연구 시설에 적합합니다.컴팩트한 디자인으로 성능을 저하시키지 않으며, 필름 두께와 구성을 정밀하게 제어하여 고품질의 박막을 얻을 수 있습니다.
단일 타겟 구성을 통해 타겟 교체가 용이하고 복잡한 설정 절차 없이 다양한 재료를 증착할 수 있습니다.이로 인해 코터는 매우 다재다능하고 광범위한 응용 분야에 적합합니다.
이 코터에 사용된 마그네트론 스퍼터링 기술은 효율적이고 균일한 증착을 보장하여 접착력이 뛰어나고 밀도가 높은 필름을 생성합니다.조정 가능한 전원 공급 장치를 통해 스퍼터링 공정을 정밀하게 제어할 수 있어 최적의 필름 특성을 보장합니다.
또한, 과전류 보호, 인터록 시스템 등 첨단 안전 기능을 탑재해 사용자와 장비 모두의 안전을 보장합니다.
전반적으로, 주사 현미경용 석영 캐비티가 있는 데스크탑 단일 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터는 박막 증착 분야의 연구원과 과학자에게 신뢰할 수 있고 효율적인 도구입니다.컴팩트한 크기, 다양한 기능 및 고급 기능을 갖춘 이 제품은 재료 과학, 나노기술 및 표면 공학의 다양한 응용 분야에 이상적인 선택입니다.
상품명 | 데스크탑 단일 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터 |
제품 모델 | TN-MSP180G-1T-A |
설치 조건 | 1、작업환경 온도: 25℃±15℃, 습도: 55%Rh±10%Rh; 2, 장비 전원 공급 장치: AC220V,50Hz, 접지가 잘 되어 있어야 합니다. 3, 정격 출력: 1000w; 4, 가스 장비: 장비 챔버 청소를 위해 아르곤 가스를 채워야 합니다.고객이 준비해야 합니다. 순도 ≥99.99%의 아르곤 가스. 5、테이블 크기 요구 사항: 600mm×600mm×700mm, 베어링 용량 ≥ 50kg; 6、위치가 좋아야 한다 환기 및 냉각. |
기술 지표 | 1, 스퍼터링 전원 공급 장치: DC 전원 공급 장치 300W, 최대 출력 전압 600V, 제한 전류 출력 500mA 2, 마그네트론 타겟: 2인치 밸런스 타겟, 자기 커플링 배플; 3, 적합한 타겟 재료: Φ50mm x 3mm 두께 4, 캐비티 크기 : Φ180mm x 200mm 5, 캐비티 재질 : 높음 순도 석영 6, 회전 가열 샘플 테이블 : 회전 속도 1~20rpm 지속적으로 조정 가능, 최대 가열 온도 500℃, 최저 권장 가열 속도 10℃/min, 최고 권장 가열속도 20℃/min. 7, 냉각 모드: 자기 타겟 및 분자 펌프에는 순환수 냉각기가 필요합니다. 8, 수냉식 기계: 탱크 용량 9L, 유량 10L/min 9, 가스 공급 시스템: 질량 유량계, 유형 가스 아르곤, 흐름 1~30sccm(맞춤형) 10, 유량계 정확도: ±1.5% 측정 범위 11, 공기 펌핑 인터페이스 진공 챔버의 KF25입니다 12, 공기 흡입구 인터페이스는 다음과 같습니다. 1/4인치 이중 페럴 조인트 13. 터치스크린은 7인치입니다. 컬러 터치 스크린 14, 조정 가능한 스퍼터링 전류, 스퍼터링 안전 전류 값과 안전 진공 값을 설정할 수 있습니다. 15、 안전 보호: 과전류, 진공이 너무 낮으면 자동으로 차단됩니다. 스퍼터링 전류 16, 궁극적인 진공: 5E-4Pa(일치하는 분자 펌프); 17, 진공 측정은 파라나 진공 게이지이며 범위는 1~105Pa입니다. |
알아채다 | 1. 마그네트론 스퍼터링 일반적으로 2Pa 이내의 높은 작동 진공을 가지며 함께 사용해야 합니다. 분자 펌프. 2、목표를 달성하기 위해 산소가 없는 환경에서는 진공 챔버를 최소 3회 이상 청소해야 합니다. 고순도 불활성 가스로 시간을 절약합니다. 3, 마그네트론 스퍼터링은 공기 흡입구에 민감하므로 공기를 제어하려면 질량 유량계가 필요합니다. 섭취 |
선택 과목 부속물 | |
영화 두께 감시 장치 | 1, 필름 두께 분해능: 0.0136Å(알루미늄) 2、필름의 정확성 두께 : ±0.5%, 공정에 따라 다름 조건, 특히 센서 위치, 재료 응력, 온도 및 밀도 3, 측정 속도: 100ms-1s/회, 측정 범위는 다음과 같습니다. 세트 : 500000Å(알루미늄) 4, 표준 센서 크리스탈: 6MHz 5, 웨이퍼 주파수에 적합: 6MHz 웨이퍼 크기에 적합: Φ14mm 장착 플랜지: CF35 |
또 다른 액세서리 | · 1、CY-CZK103 시리즈 고성능 분자 펌프 세트(복합 진공 게이지 포함, 측정 범위 10-5Pa~105Pa) CY-GZK60 시리즈 소분자 펌프 세트(복합 진공 게이지, 측정 범위 포함) 10-5Pa~102Pa) VRD-4 바이폴라 로터리 베인 진공 펌프 2, KF25 진공 벨로우즈;그만큼 길이는 0.5m, 1m 또는 1.5m일 수 있습니다.KF25 클램프 브래킷 3, 필름 두께 측정기 수정 발진기; 4, 스테인레스 스틸 미세 조정 밸브(낮은 코팅 요구 사항에만 적합) |
