TN-MSP325G-3T-DVC-2DC-1RF
TN
이 코터는 높은 정밀도와 효율성을 위해 설계되었으며, 사용자 친화적인 인터페이스로 쉽게 작동할 수 있습니다.전력, 압력, 증착 시간 등 조정 가능한 스퍼터링 매개변수를 제공하여 필름 두께와 품질을 정밀하게 제어할 수 있습니다.DC 마그네트론 스퍼터링 기술은 균일한 필름 증착과 기판에 대한 우수한 접착력을 보장합니다.
컴팩트하고 견고한 디자인을 갖춘 이 코터는 연구 및 산업 응용 분야 모두에 적합합니다.과전류 보호, 수냉 시스템 등의 안전 기능을 갖추고 있어 안정적이고 안전한 작동을 보장합니다.고진공 시스템은 깨끗하고 오염 없는 증착 환경을 보장합니다.
재료 과학, 전자 또는 광학 분야에서 작업하든 전이 챔버가 있는 이 3타겟 마그네트론 스퍼터링 코터는 박막 증착 요구 사항에 이상적인 선택입니다.다용성, 정밀도 및 신뢰성을 제공하므로 모든 실험실이나 생산 시설에 유용한 도구입니다.
세 개의 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터 기술 매개변수:
상품명 | 세 개의 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터 |
제품 모델 | TN-MSP325G-3T-DVC-2DC-1RF |
설치 조건 | 1. 작동 환경 온도 25℃±15℃, 습도 55%Rh±10%Rh; 2. 장비 전원 공급 장치: AC220V, 50Hz, 접지가 잘 되어 있어야 합니다. 3. 정격 출력: 5000w; 4. 장비 가스: 장비 챔버는 청소를 위해 아르곤으로 채워야 하며 고객은 순도 ≥99.99%의 아르곤을 준비해야 합니다. 5. 행사장의 크기는 1200mm×1200mm×2000mm입니다. 6. 배치 위치는 통풍이 잘되고 열 방출이 잘 되어야 합니다. |
기술적인 매개변수 | 1. 스퍼터링 전원 공급 장치: DC 전원 공급 장치 500W x2;최대 출력 전압 600V, 제한 출력 전류 1000mA 2. 마그네트론 타겟: 자기 결합 배플을 갖춘 2인치 균형 타겟; 3. 마그네트론 타겟에 적용 가능한 타겟 재료: Φ50mm x 3mm 두께의 전도성 금속 타겟 재료 4. 공동 크기: 주 공동 Φ325mm x 410mm;전환 캐비티 150x150x150mm 5. 챔버 기능: 메인 챔버에는 밀봉 링으로 밀봉된 측면 도어, 배플이 있는 석영 관찰 창, 샘플 이송을 위한 수동 작동 막대가 장착되어 있습니다.전환 챔버에는 밀봉 링으로 밀봉된 석영 창이 있는 상부 커버, 샘플을 메인 챔버로 운반하기 위한 자기 커플링 푸시 로드 및 독립적인 진공 시스템이 장착되어 있습니다. 6. 캐비티 재질 : 스테인레스 스틸 304 7. 회전식 가열 샘플 테이블: 속도는 1~20rpm 범위에서 지속적으로 조정 가능합니다.가열 온도는 최대 500°C이며 가열 속도는 10°C/min, 최대 온도는 20°C/min을 권장합니다. 8. 냉각 방법: 마그네트론 타겟과 분자 펌프에는 순환수 냉각기가 필요합니다. 9. 워터 쿨러: 물 탱크 용량 9L, 유량 10L/min 10. 가스 공급 시스템: 질량 유량계, 가스 유형 AR 가스, 유량 1~200sccm(맞춤형); 11. 유량계 정확도: ±1.5% 범위 12. 진공 챔버의 펌핑 인터페이스는 CF160입니다. 13. 공기 흡입구 인터페이스는 1/4인치 이중 페룰 조인트입니다. 14. 디스플레이는 14대의 산업용 컴퓨터 일체형 컴퓨터입니다. 15. 스퍼터링 전류를 조정할 수 있으며 스퍼터링 안전 전류 값과 안전 진공 값을 설정할 수 있습니다. 16. 안전 보호: 과전류 및 진공이 너무 낮으면 스퍼터링 전류가 자동으로 차단됩니다. 17. 진공 시스템: 메인 챔버에는 펌핑 속도가 600L/s인 TN-GZK103 고진공 분자 펌프가 장착되어 있습니다.전이 챔버에는 펌핑 속도가 60L/s인 소분자 펌프 세트가 장착되어 있습니다.두 세트의 진공 시스템은 독립적으로 작동하고 제어할 수 있으며, 챔버 사이와 진공 시스템의 공압 밸브는 모두 프로그램에 의해 제어되므로 편리하고 빠른 원키 동작을 실현할 수 있습니다. 18. 궁극적인 진공: 5E-4Pa (분자 펌프 포함); 19. 진공 측정은 복합 진공 게이지이며 범위는 10-5Pa~105Pa입니다. |
지침 | 1. 더 높은 무산소 환경을 달성하려면 진공 챔버를 고순도 불활성 가스로 최소 3회 청소해야 합니다. 2. 마그네트론 스퍼터링은 흡입 공기량에 더 민감하며 흡입 공기량을 제어하려면 질량 유량계를 사용해야 합니다. 3. 장비를 사용하지 않을 때는 캐비티를 진공 상태로 유지하십시오. 4. 오랫동안 진공청소하지 않은 경우, 다시 사용할 때 진공 성능을 향상시키기 위해 가스를 제거해야 합니다. |
옵션 액세서리 | |
필름 두께 모니터 | 1. 필름 두께 분해능: 0.0136Å(알루미늄) 2. 필름 두께 정확도: ±0.5%, 프로세스 조건, 특히 센서 위치, 재료 응력, 온도 및 밀도에 따라 다름 3. 측정 속도: 100ms-1s/시간, 측정 범위 설정 가능: 500000Å(알루미늄) 4. 표준 센서 크리스탈: 6MHz 5. 적용 가능한 칩 주파수: 6MHz 적용 가능한 칩 크기: Φ14mm 장착 플랜지: CF35 |
기타 액세서리 | 1. TN-CZK103 시리즈 고성능 분자 펌프 세트(복합 진공 게이지 포함, 측정 범위 10-5Pa~105Pa) TN-GZK60 시리즈 소분자 펌프 세트(복합 진공 게이지 포함, 측정 범위 10-5Pa~102Pa) VRD-4 양극 회전 날개 진공 펌프; 2. KF25/40 진공 벨로우즈;길이는 0.5m, 1m, 1.5m일 수 있습니다.KF25 클램프 브래킷 3. 필름 두께 측정기의 수정 발진기; |
이 코터는 높은 정밀도와 효율성을 위해 설계되었으며, 사용자 친화적인 인터페이스로 쉽게 작동할 수 있습니다.전력, 압력, 증착 시간 등 조정 가능한 스퍼터링 매개변수를 제공하여 필름 두께와 품질을 정밀하게 제어할 수 있습니다.DC 마그네트론 스퍼터링 기술은 균일한 필름 증착과 기판에 대한 우수한 접착력을 보장합니다.
컴팩트하고 견고한 디자인을 갖춘 이 코터는 연구 및 산업 응용 분야 모두에 적합합니다.과전류 보호, 수냉 시스템 등의 안전 기능을 갖추고 있어 안정적이고 안전한 작동을 보장합니다.고진공 시스템은 깨끗하고 오염 없는 증착 환경을 보장합니다.
재료 과학, 전자 또는 광학 분야에서 작업하든 전이 챔버가 있는 이 3타겟 마그네트론 스퍼터링 코터는 박막 증착 요구 사항에 이상적인 선택입니다.다용성, 정밀도 및 신뢰성을 제공하므로 모든 실험실이나 생산 시설에 유용한 도구입니다.
세 개의 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터 기술 매개변수:
상품명 | 세 개의 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터 |
제품 모델 | TN-MSP325G-3T-DVC-2DC-1RF |
설치 조건 | 1. 작동 환경 온도 25℃±15℃, 습도 55%Rh±10%Rh; 2. 장비 전원 공급 장치: AC220V, 50Hz, 접지가 잘 되어 있어야 합니다. 3. 정격 출력: 5000w; 4. 장비 가스: 장비 챔버는 청소를 위해 아르곤으로 채워야 하며 고객은 순도 ≥99.99%의 아르곤을 준비해야 합니다. 5. 행사장의 크기는 1200mm×1200mm×2000mm입니다. 6. 배치 위치는 통풍이 잘되고 열 방출이 잘 되어야 합니다. |
기술적인 매개변수 | 1. 스퍼터링 전원 공급 장치: DC 전원 공급 장치 500W x2;최대 출력 전압 600V, 제한 출력 전류 1000mA 2. 마그네트론 타겟: 자기 결합 배플을 갖춘 2인치 균형 타겟; 3. 마그네트론 타겟에 적용 가능한 타겟 재료: Φ50mm x 3mm 두께의 전도성 금속 타겟 재료 4. 공동 크기: 주 공동 Φ325mm x 410mm;전환 캐비티 150x150x150mm 5. 챔버 기능: 메인 챔버에는 밀봉 링으로 밀봉된 측면 도어, 배플이 있는 석영 관찰 창, 샘플 이송을 위한 수동 작동 막대가 장착되어 있습니다.전환 챔버에는 밀봉 링으로 밀봉된 석영 창이 있는 상부 커버, 샘플을 메인 챔버로 운반하기 위한 자기 커플링 푸시 로드 및 독립적인 진공 시스템이 장착되어 있습니다. 6. 캐비티 재질 : 스테인레스 스틸 304 7. 회전식 가열 샘플 테이블: 속도는 1~20rpm 범위에서 지속적으로 조정 가능합니다.가열 온도는 최대 500°C이며 가열 속도는 10°C/min, 최대 온도는 20°C/min을 권장합니다. 8. 냉각 방법: 마그네트론 타겟과 분자 펌프에는 순환수 냉각기가 필요합니다. 9. 워터 쿨러: 물 탱크 용량 9L, 유량 10L/min 10. 가스 공급 시스템: 질량 유량계, 가스 유형 AR 가스, 유량 1~200sccm(맞춤형); 11. 유량계 정확도: ±1.5% 범위 12. 진공 챔버의 펌핑 인터페이스는 CF160입니다. 13. 공기 흡입구 인터페이스는 1/4인치 이중 페룰 조인트입니다. 14. 디스플레이는 14대의 산업용 컴퓨터 일체형 컴퓨터입니다. 15. 스퍼터링 전류를 조정할 수 있으며 스퍼터링 안전 전류 값과 안전 진공 값을 설정할 수 있습니다. 16. 안전 보호: 과전류 및 진공이 너무 낮으면 스퍼터링 전류가 자동으로 차단됩니다. 17. 진공 시스템: 메인 챔버에는 펌핑 속도가 600L/s인 TN-GZK103 고진공 분자 펌프가 장착되어 있습니다.전이 챔버에는 펌핑 속도가 60L/s인 소분자 펌프 세트가 장착되어 있습니다.두 세트의 진공 시스템은 독립적으로 작동하고 제어할 수 있으며, 챔버 사이와 진공 시스템의 공압 밸브는 모두 프로그램에 의해 제어되므로 편리하고 빠른 원키 동작을 실현할 수 있습니다. 18. 궁극적인 진공: 5E-4Pa (분자 펌프 포함); 19. 진공 측정은 복합 진공 게이지이며 범위는 10-5Pa~105Pa입니다. |
지침 | 1. 더 높은 무산소 환경을 달성하려면 진공 챔버를 고순도 불활성 가스로 최소 3회 청소해야 합니다. 2. 마그네트론 스퍼터링은 흡입 공기량에 더 민감하며 흡입 공기량을 제어하려면 질량 유량계를 사용해야 합니다. 3. 장비를 사용하지 않을 때는 캐비티를 진공 상태로 유지하십시오. 4. 오랫동안 진공청소하지 않은 경우, 다시 사용할 때 진공 성능을 향상시키기 위해 가스를 제거해야 합니다. |
옵션 액세서리 | |
필름 두께 모니터 | 1. 필름 두께 분해능: 0.0136Å(알루미늄) 2. 필름 두께 정확도: ±0.5%, 프로세스 조건, 특히 센서 위치, 재료 응력, 온도 및 밀도에 따라 다름 3. 측정 속도: 100ms-1s/시간, 측정 범위 설정 가능: 500000Å(알루미늄) 4. 표준 센서 크리스탈: 6MHz 5. 적용 가능한 칩 주파수: 6MHz 적용 가능한 칩 크기: Φ14mm 장착 플랜지: CF35 |
기타 액세서리 | 1. TN-CZK103 시리즈 고성능 분자 펌프 세트(복합 진공 게이지 포함, 측정 범위 10-5Pa~105Pa) TN-GZK60 시리즈 소분자 펌프 세트(복합 진공 게이지 포함, 측정 범위 10-5Pa~102Pa) VRD-4 양극 회전 날개 진공 펌프; 2. KF25/40 진공 벨로우즈;길이는 0.5m, 1m, 1.5m일 수 있습니다.KF25 클램프 브래킷 3. 필름 두께 측정기의 수정 발진기; |
