TN-MSP180S-DC-GU
TN
산화물 필름용 기울일 수 있는 샘플 스테이지가 있는 데스크탑 단일 대상 마그네트론 스퍼터링 코터는 정밀 필름 준비를 위해 설계된 전문가급 제품입니다.첨단 기술과 다양한 기능을 갖춘 이 코터는 단층 또는 다층 강유전성 박막, 전도성 필름 및 합금 필름을 만드는 데 적합합니다.
컴팩트한 데스크탑 디자인이 특징인 이 코터는 실험실 및 연구 분야에 적합합니다.단일 타겟 마그네트론 스퍼터링 시스템은 균일하고 제어된 필름 증착을 보장하여 정확하고 재현 가능한 결과를 제공합니다.기울일 수 있는 샘플 스테이지는 필름 두께와 구성에 유연성을 제공하여 코팅 프로세스를 더욱 향상시킵니다.
이 코터를 사용하면 접착력과 균일성이 뛰어난 고품질 산화막을 얻을 수 있습니다.실험을 수행하든, 새로운 재료를 개발하든, 전자 장치를 제조하든 이 코터는 전문 표준을 충족하는 안정적이고 효율적인 도구입니다.
마그네트론 스퍼터링 코터 기술 매개변수:
TN-MSP180S-DC-GU | ||||
샘플 스테이지 | 크기 | Φ60mm | 회전 속도 | 0-20 조정 가능 |
마그네트론 스퍼터링 타겟 | 수량 | 2' x1 | ||
진공 챔버 | 챔버 크기 | Φ180mm x 150mm | 관찰 창 | 전방향 가시성 |
챔버 재료 | 고순도 석영 | 열리는 방법 | 상단 커버 분리 가능 | |
하부 플랜지 | 샘플 테이블 틸트 메커니즘 포함 및 회전 메커니즘 | |||
진공 시스템 | 기계식 펌프 | 2단 로터리 베인 펌프 | 펌핑 인터페이스 | KF16 |
분자펌프 | 터보분자 펌프 | 펌핑 인터페이스 | KF40 | |
진공 측정 | 저항 게이지 + 이온화 게이지 | 배기 인터페이스 | KF40 | |
궁극의 진공 | 1.0E-3Pa | 전원공급장치 | AC 220V 50/60Hz | |
펌핑 속도 | 백킹 펌프: 1.1L/s 분자 펌프: 60리터/초 | |||
전원 구성 | 수량 | DC 전원 공급 장치 x1 | 최대 출력 전력 | DC 전원 공급 장치 300W |
다른 | 공급 전압 | AC220V, 50Hz | Dimensions | 500mm x320mm x620mm |
총 전력 | 2kW |
산화물 필름용 기울일 수 있는 샘플 스테이지가 있는 데스크탑 단일 대상 마그네트론 스퍼터링 코터는 정밀 필름 준비를 위해 설계된 전문가급 제품입니다.첨단 기술과 다양한 기능을 갖춘 이 코터는 단층 또는 다층 강유전성 박막, 전도성 필름 및 합금 필름을 만드는 데 적합합니다.
컴팩트한 데스크탑 디자인이 특징인 이 코터는 실험실 및 연구 분야에 적합합니다.단일 타겟 마그네트론 스퍼터링 시스템은 균일하고 제어된 필름 증착을 보장하여 정확하고 재현 가능한 결과를 제공합니다.기울일 수 있는 샘플 스테이지는 필름 두께와 구성에 유연성을 제공하여 코팅 프로세스를 더욱 향상시킵니다.
이 코터를 사용하면 접착력과 균일성이 뛰어난 고품질 산화막을 얻을 수 있습니다.실험을 수행하든, 새로운 재료를 개발하든, 전자 장치를 제조하든 이 코터는 전문 표준을 충족하는 안정적이고 효율적인 도구입니다.
마그네트론 스퍼터링 코터 기술 매개변수:
TN-MSP180S-DC-GU | ||||
샘플 스테이지 | 크기 | Φ60mm | 회전 속도 | 0-20 조정 가능 |
마그네트론 스퍼터링 타겟 | 수량 | 2' x1 | ||
진공 챔버 | 챔버 크기 | Φ180mm x 150mm | 관찰 창 | 전방향 가시성 |
챔버 재료 | 고순도 석영 | 열리는 방법 | 상단 커버 분리 가능 | |
하부 플랜지 | 샘플 테이블 틸트 메커니즘 포함 및 회전 메커니즘 | |||
진공 시스템 | 기계식 펌프 | 2단 로터리 베인 펌프 | 펌핑 인터페이스 | KF16 |
분자펌프 | 터보분자 펌프 | 펌핑 인터페이스 | KF40 | |
진공 측정 | 저항 게이지 + 이온화 게이지 | 배기 인터페이스 | KF40 | |
궁극의 진공 | 1.0E-3Pa | 전원공급장치 | AC 220V 50/60Hz | |
펌핑 속도 | 백킹 펌프: 1.1L/s 분자 펌프: 60리터/초 | |||
전원 구성 | 수량 | DC 전원 공급 장치 x1 | 최대 출력 전력 | DC 전원 공급 장치 300W |
다른 | 공급 전압 | AC220V, 50Hz | Dimensions | 500mm x320mm x620mm |
총 전력 | 2kW |