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산화막용 기울일 수 있는 샘플 스테이지가 있는 데스크탑 단일 타겟 마그네트론 스퍼터링 코팅기

이 장비는 기울일 수 있는 샘플 스테이지를 갖춘 단일 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터입니다.샘플 스테이지와 대상 표면 사이의 각도는 조정 가능하며 마그네트론 스퍼터링 코터를 사용하여 특정 성장 각도를 가진 필름을 만들 수 있습니다.
가용성 상태:
수량:
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  • TN-MSP180S-DC-GU

  • TN

산화물 필름용 기울일 수 있는 샘플 스테이지가 있는 데스크탑 단일 대상 마그네트론 스퍼터링 코터는 정밀 필름 준비를 위해 설계된 전문가급 제품입니다.첨단 기술과 다양한 기능을 갖춘 이 코터는 단층 또는 다층 강유전성 박막, 전도성 필름 및 합금 필름을 만드는 데 적합합니다.


컴팩트한 데스크탑 디자인이 특징인 이 코터는 실험실 및 연구 분야에 적합합니다.단일 타겟 마그네트론 스퍼터링 시스템은 균일하고 제어된 필름 증착을 보장하여 정확하고 재현 가능한 결과를 제공합니다.기울일 수 있는 샘플 스테이지는 필름 두께와 구성에 유연성을 제공하여 코팅 프로세스를 더욱 향상시킵니다.


이 코터를 사용하면 접착력과 균일성이 뛰어난 고품질 산화막을 얻을 수 있습니다.실험을 수행하든, 새로운 재료를 개발하든, 전자 장치를 제조하든 이 코터는 전문 표준을 충족하는 안정적이고 효율적인 도구입니다.

마그네트론 스퍼터링 코터 기술 매개변수:

TN-MSP180S-DC-GU

샘플 스테이지

크기

Φ60mm

회전 속도

0-20 조정 가능

마그네트론 스퍼터링 타겟

수량

2' x1



진공 챔버

챔버 크기

Φ180mm x 150mm

관찰 창

전방향 가시성

챔버 재료

고순도 석영

열리는   방법

상단 커버 분리 가능

하부 플랜지

샘플 테이블 틸트 메커니즘 포함   및 회전 메커니즘

진공 시스템

기계식 펌프

2단 로터리 베인 펌프

펌핑 인터페이스

KF16

분자펌프

터보분자 펌프

펌핑 인터페이스

KF40

진공 측정

저항 게이지 + 이온화 게이지

배기 인터페이스

KF40

궁극의 진공

1.0E-3Pa

전원공급장치

AC 220V 50/60Hz

펌핑 속도

백킹 펌프: 1.1L/s 분자 펌프:   60리터/초

전원 구성

수량

DC 전원 공급 장치 x1

최대 출력 전력

DC 전원 공급 장치 300W

다른

공급  전압

AC220V, 50Hz

Dimensions

500mm  x320mm x620mm

총 전력

2kW






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