TN-MSP500S-2DC-1RF
TN
3타겟 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비는 당사에서 자체 개발한 비용 효율적인 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비로 표준화, 모듈화 및 맞춤화라는 특징을 가지고 있습니다.이 장비는 단층 또는 다층 강유전체 필름, 전도성 필름, 합금 필름, 반도체 필름, 세라믹 필름, 유전체 필름, 광학 필름, 산화 필름, 하드 필름, 폴리테트라플루오로에틸렌 필름 등을 준비하는 데 사용할 수 있습니다. DC 전원 공급 장치는 금속 필름 준비에 사용할 수 있으며, RF 전원 공급 장치는 비금속 필름 준비에 사용할 수 있으며 세 가지 타겟은 다층 또는 다중 코팅 요구를 충족할 수 있습니다.유사한 장비와 비교하여 3타겟 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비는 널리 사용될 뿐만 아니라 부피가 작고 조작이 쉽다는 장점도 있습니다.실험실에서 재료 필름을 준비하는 데 이상적인 장비입니다.
마그네트론 스퍼터링 코터 기술 매개변수:
세 개의 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터 기계 (DC 전원 공급 장치 + RF 전원 공급 장치) | ||
샘플 테이블 | 스퍼터링 모드 | 스퍼터링 방향은 위쪽으로, 샘플 스테이지는 스퍼터링 타겟; 중앙 상단 설정 샘플 홀더 포함 셔터 1개 |
샘플 홀더 | Φ150mm | |
제어 정확도 | ±1℃ | |
가열 범위 | 방 온도~500℃ | |
조정 가능한 속도 | 1-20rpm 조절할 수 있는 | |
대상 기본 거리 조정 가능 | 거리 목표 사이 기판은 전기적으로 조정될 수 있습니다 | |
마그네트론 표적 총 | 대상 평면 | 원형 평면 표적 |
스퍼터링 진공 | 10Pa~0.2Pa | |
표적 지름 | 50~50.8mm | |
표적 두께 | 2~5mm 참고: 대상이 자기인 경우 재료(Fe, Co, Ni 등), 두께는 다음보다 클 수 없습니다. 1.5mm, 강력한 자기 스퍼터링 건이 필요하며, 추가로 필요합니다 요금. | |
절연전압 | >2000V | |
수량 | 2인치*3, 셔터 포함 총마다 | |
케이블 사양 | SL-16 | |
타겟 헤드 온도 | ≤65℃ | |
진공 챔버 | 내벽 치료 | 전해연마 |
챔버 크기 | Φ300mm × 350mm | |
방 재료 | 304 스테인레스 강철 | |
관찰 창문 | 석영 창, 셔터 포함 직경 Φ100mm | |
밀봉방식 | 바이톤 씰 | |
개방형 방식 | 상단 개구부, 실린더 보조 지지대 | |
가스 제어 시스템 | 흐름 제어 | 3방향 질량 유량계: 산소: 범위 0~100SCCM 아르곤 가스: 범위 0~200SCCM 질소: 범위 0~500SCCM (참고: 더 높은 무산소 수준을 달성하려면 환경, 진공 챔버는 고순도 불활성 가스로 청소해야 합니다. 최소 3번.) |
가스 종류 | 아르곤, 질소, 산소 및 기타 불활성 가스 | |
컨트롤 밸브 유형 | 솔레노이드 벨브 | |
컨트롤 밸브 정적 상태 | 보통 닫은 | |
자질 선형성 | ±1.5%FS | |
측정 반복성 | ±0.2%FS | |
자질 응답 시간 | 8초 이하(T95) | |
일하고 있는 압력 범위 | 0.3MPa | |
밸브 본체 압력 | 3MPa | |
일하고 있는 온도 | (5~45)℃ | |
본체 재질 | 스테인레스 스틸 316L | |
밸브 본체 누출율 | 1×10-8Pa.m3/s | |
파이프 조인트 | 1/4″압축 피팅 | |
입력 및 출력 신호 | 0~5V | |
전원공급장치 | ±15V(±5%)(+15V) 50mA, -15V 200mA) | |
전반적인 치수(mm) | 130(폭)× 102(높이)×28 (두께) | |
의사소통 상호 작용 | RS485 MODBUS 프로토콜 | |
직류 전원 공급 | 전원 공급 장치 | 500W |
출력 전압 | 0~600V | |
최대 출력 현재의 | 1A | |
타이밍 길이 | 65000S | |
시작 시간 | 1~10S | |
수량 | 2세트 | |
RF 전원 공급 장치 | 전원 공급 장치 | 500W |
전원 출력 범위 | 0W-500W, 자동 일치 기능 포함 | |
최고 반사력 | 100W | |
RF 주파수 | 13.56MHz+/-0.005% 안정 | |
힘 안정 | 5W 이하 | |
고조파 요소 | 미만 -50dbc | |
수량 | 1 세트 | |
3타겟 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비는 당사에서 자체 개발한 비용 효율적인 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비로 표준화, 모듈화 및 맞춤화라는 특징을 가지고 있습니다.이 장비는 단층 또는 다층 강유전체 필름, 전도성 필름, 합금 필름, 반도체 필름, 세라믹 필름, 유전체 필름, 광학 필름, 산화 필름, 하드 필름, 폴리테트라플루오로에틸렌 필름 등을 준비하는 데 사용할 수 있습니다. DC 전원 공급 장치는 금속 필름 준비에 사용할 수 있으며, RF 전원 공급 장치는 비금속 필름 준비에 사용할 수 있으며 세 가지 타겟은 다층 또는 다중 코팅 요구를 충족할 수 있습니다.유사한 장비와 비교하여 3타겟 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비는 널리 사용될 뿐만 아니라 부피가 작고 조작이 쉽다는 장점도 있습니다.실험실에서 재료 필름을 준비하는 데 이상적인 장비입니다.
마그네트론 스퍼터링 코터 기술 매개변수:
세 개의 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터 기계 (DC 전원 공급 장치 + RF 전원 공급 장치) | ||
샘플 테이블 | 스퍼터링 모드 | 스퍼터링 방향은 위쪽으로, 샘플 스테이지는 스퍼터링 타겟; 중앙 상단 설정 샘플 홀더 포함 셔터 1개 |
샘플 홀더 | Φ150mm | |
제어 정확도 | ±1℃ | |
가열 범위 | 방 온도~500℃ | |
조정 가능한 속도 | 1-20rpm 조절할 수 있는 | |
대상 기본 거리 조정 가능 | 거리 목표 사이 기판은 전기적으로 조정될 수 있습니다 | |
마그네트론 표적 총 | 대상 평면 | 원형 평면 표적 |
스퍼터링 진공 | 10Pa~0.2Pa | |
표적 지름 | 50~50.8mm | |
표적 두께 | 2~5mm 참고: 대상이 자기인 경우 재료(Fe, Co, Ni 등), 두께는 다음보다 클 수 없습니다. 1.5mm, 강력한 자기 스퍼터링 건이 필요하며, 추가로 필요합니다 요금. | |
절연전압 | >2000V | |
수량 | 2인치*3, 셔터 포함 총마다 | |
케이블 사양 | SL-16 | |
타겟 헤드 온도 | ≤65℃ | |
진공 챔버 | 내벽 치료 | 전해연마 |
챔버 크기 | Φ300mm × 350mm | |
방 재료 | 304 스테인레스 강철 | |
관찰 창문 | 석영 창, 셔터 포함 직경 Φ100mm | |
밀봉방식 | 바이톤 씰 | |
개방형 방식 | 상단 개구부, 실린더 보조 지지대 | |
가스 제어 시스템 | 흐름 제어 | 3방향 질량 유량계: 산소: 범위 0~100SCCM 아르곤 가스: 범위 0~200SCCM 질소: 범위 0~500SCCM (참고: 더 높은 무산소 수준을 달성하려면 환경, 진공 챔버는 고순도 불활성 가스로 청소해야 합니다. 최소 3번.) |
가스 종류 | 아르곤, 질소, 산소 및 기타 불활성 가스 | |
컨트롤 밸브 유형 | 솔레노이드 벨브 | |
컨트롤 밸브 정적 상태 | 보통 닫은 | |
자질 선형성 | ±1.5%FS | |
측정 반복성 | ±0.2%FS | |
자질 응답 시간 | 8초 이하(T95) | |
일하고 있는 압력 범위 | 0.3MPa | |
밸브 본체 압력 | 3MPa | |
일하고 있는 온도 | (5~45)℃ | |
본체 재질 | 스테인레스 스틸 316L | |
밸브 본체 누출율 | 1×10-8Pa.m3/s | |
파이프 조인트 | 1/4″압축 피팅 | |
입력 및 출력 신호 | 0~5V | |
전원공급장치 | ±15V(±5%)(+15V) 50mA, -15V 200mA) | |
전반적인 치수(mm) | 130(폭)× 102(높이)×28 (두께) | |
의사소통 상호 작용 | RS485 MODBUS 프로토콜 | |
직류 전원 공급 | 전원 공급 장치 | 500W |
출력 전압 | 0~600V | |
최대 출력 현재의 | 1A | |
타이밍 길이 | 65000S | |
시작 시간 | 1~10S | |
수량 | 2세트 | |
RF 전원 공급 장치 | 전원 공급 장치 | 500W |
전원 출력 범위 | 0W-500W, 자동 일치 기능 포함 | |
최고 반사력 | 100W | |
RF 주파수 | 13.56MHz+/-0.005% 안정 | |
힘 안정 | 5W 이하 | |
고조파 요소 | 미만 -50dbc | |
수량 | 1 세트 | |
