TN-MSP500S-2DC
TN
듀얼 타겟 DC 마그네트론 스퍼터링 코터에는 반도체 응용 분야용으로 특별히 설계된 필름 두께 측정 테이블이 장착되어 있습니다.이 데스크탑 코터는 정확하고 효율적인 스퍼터링 기능을 제공하므로 반도체 산업의 연구 개발 실험실에 이상적인 선택입니다.
이중 타겟 DC 마그네트론 스퍼터링 코터는 반도체 필름 증착의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다.균일성과 접착력이 우수한 고품질의 단층 또는 다층 필름 제조가 가능합니다.이 코터는 강유전성 박막, 전도성 필름, 합금 필름 및 복합 필름을 증착할 수 있어 연구자들에게 재료 합성 및 특성화 요구에 맞는 다양한 도구를 제공합니다.
필름 두께 측정 테이블을 갖춘 이 코터를 사용하면 증착 공정 중 필름 두께를 정확하게 모니터링하고 제어할 수 있습니다.이는 장치 성능을 위해 정확한 필름 두께가 필수적인 반도체 응용 분야에서 특히 중요합니다.게이지 테이블을 사용하면 연구원은 높은 정밀도와 반복성으로 원하는 필름 두께를 달성하여 일관된 결과를 보장하고 필름 특성의 최적화를 촉진할 수 있습니다.
이 코터의 데스크탑 디자인은 컴팩트하고 공간 절약형이므로 공간이 제한된 실험실에 적합합니다.작은 설치 공간에도 불구하고 이중 타겟 DC 마그네트론 구성 덕분에 강력한 스퍼터링 기능을 제공합니다.이를 통해 필름을 효율적이고 균일하게 증착할 수 있어 전기적, 광학적 특성이 뛰어난 고품질 코팅이 가능합니다.
전문적이고 신뢰할 수 있는 성능을 갖춘 데스크탑 듀얼 타겟 DC 마그네트론 스퍼터링 코터(필름 두께 측정 테이블 포함)는 반도체 연구 및 개발에 없어서는 안 될 도구입니다.이를 통해 연구자들은 새로운 재료를 탐구하고 필름 특성을 최적화하며 최첨단 반도체 장치 개발을 진전시킬 수 있습니다.
이중 타겟 DC 마그네트론 스퍼터링 코터 기술 매개변수:
상품명 | 이중 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터 |
스퍼터링 전원 공급 장치 | 전원×2 전원：500W |
진공 챔버 | 챔버 크기: Φ300mm×300mm, 챔버 재질: 스테인레스 스틸 시계 창: Φ100mm 그만큼 캐비티 오프닝 방법은 상단 오프닝을 채택하여 변경이 더 쉽습니다. 표적 |
마그네트론 스퍼터링 타겟 헤드 | 2개의 마그네트론 스퍼터링 헤드가 설치되어 있습니다. 기기에는 모두 수냉식 중간층이 장착되어 있습니다. 이는 냉각수를 통과하여 표적 물질을 냉각시킬 수 있습니다.둘 스퍼터링 헤드는 DC 전원 공급 장치와 연결되며 주요 스퍼터링 전도성 |
샘플 스테이지 | 견본 캐리어 크기: 직경 140mm(최대 4' 기판 배치 가능) 샘플 캐리어는 다음 속도로 회전할 수 있습니다: 1-20 rpm(조정 가능) 시료 운반체의 가열 온도는 500℃이며, 온도는 제어 정확도는 +/- 1.0°C입니다. |
가스 유량 컨트롤러 | 거기 기기 내부에 2개의 질량 유량계가 설치되어 있으며 범위는 다음과 같습니다. 0-200sccm |
진공펌프 | 갖추게 하는 원버튼 작동 80L/S를 사용하는 분자 펌프 시스템 세트 |
냉각 시스템 | 16L/분 |
전압 | 220V 50HZ |
듀얼 타겟 DC 마그네트론 스퍼터링 코터에는 반도체 응용 분야용으로 특별히 설계된 필름 두께 측정 테이블이 장착되어 있습니다.이 데스크탑 코터는 정확하고 효율적인 스퍼터링 기능을 제공하므로 반도체 산업의 연구 개발 실험실에 이상적인 선택입니다.
이중 타겟 DC 마그네트론 스퍼터링 코터는 반도체 필름 증착의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다.균일성과 접착력이 우수한 고품질의 단층 또는 다층 필름 제조가 가능합니다.이 코터는 강유전성 박막, 전도성 필름, 합금 필름 및 복합 필름을 증착할 수 있어 연구자들에게 재료 합성 및 특성화 요구에 맞는 다양한 도구를 제공합니다.
필름 두께 측정 테이블을 갖춘 이 코터를 사용하면 증착 공정 중 필름 두께를 정확하게 모니터링하고 제어할 수 있습니다.이는 장치 성능을 위해 정확한 필름 두께가 필수적인 반도체 응용 분야에서 특히 중요합니다.게이지 테이블을 사용하면 연구원은 높은 정밀도와 반복성으로 원하는 필름 두께를 달성하여 일관된 결과를 보장하고 필름 특성의 최적화를 촉진할 수 있습니다.
이 코터의 데스크탑 디자인은 컴팩트하고 공간 절약형이므로 공간이 제한된 실험실에 적합합니다.작은 설치 공간에도 불구하고 이중 타겟 DC 마그네트론 구성 덕분에 강력한 스퍼터링 기능을 제공합니다.이를 통해 필름을 효율적이고 균일하게 증착할 수 있어 전기적, 광학적 특성이 뛰어난 고품질 코팅이 가능합니다.
전문적이고 신뢰할 수 있는 성능을 갖춘 데스크탑 듀얼 타겟 DC 마그네트론 스퍼터링 코터(필름 두께 측정 테이블 포함)는 반도체 연구 및 개발에 없어서는 안 될 도구입니다.이를 통해 연구자들은 새로운 재료를 탐구하고 필름 특성을 최적화하며 최첨단 반도체 장치 개발을 진전시킬 수 있습니다.
이중 타겟 DC 마그네트론 스퍼터링 코터 기술 매개변수:
상품명 | 이중 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터 |
스퍼터링 전원 공급 장치 | 전원×2 전원：500W |
진공 챔버 | 챔버 크기: Φ300mm×300mm, 챔버 재질: 스테인레스 스틸 시계 창: Φ100mm 그만큼 캐비티 오프닝 방법은 상단 오프닝을 채택하여 변경이 더 쉽습니다. 표적 |
마그네트론 스퍼터링 타겟 헤드 | 2개의 마그네트론 스퍼터링 헤드가 설치되어 있습니다. 기기에는 모두 수냉식 중간층이 장착되어 있습니다. 이는 냉각수를 통과하여 표적 물질을 냉각시킬 수 있습니다.둘 스퍼터링 헤드는 DC 전원 공급 장치와 연결되며 주요 스퍼터링 전도성 |
샘플 스테이지 | 견본 캐리어 크기: 직경 140mm(최대 4' 기판 배치 가능) 샘플 캐리어는 다음 속도로 회전할 수 있습니다: 1-20 rpm(조정 가능) 시료 운반체의 가열 온도는 500℃이며, 온도는 제어 정확도는 +/- 1.0°C입니다. |
가스 유량 컨트롤러 | 거기 기기 내부에 2개의 질량 유량계가 설치되어 있으며 범위는 다음과 같습니다. 0-200sccm |
진공펌프 | 갖추게 하는 원버튼 작동 80L/S를 사용하는 분자 펌프 시스템 세트 |
냉각 시스템 | 16L/분 |
전압 | 220V 50HZ |
