박막 증착을 위한 바이어스 전압을 갖춘 데스크탑 단일 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터

제품 모델

TN-MSP180G-1T-B(바이어스 전압)

설치 조건

1, 작업 환경 온도: 25℃±15℃, 습도: 55%Rh±10%Rh;

2, 장비 전원 공급 장치: AC220V,50Hz, 접지가 잘 되어 있어야 합니다.

3, 정격 출력: 1000w;

4, 가스 장비: 청소를 위해 장비 챔버에 아르곤 가스를 채워야 합니다.   고객은 순도 ≥99.99%의 아르곤 가스를 준비해야 합니다.

5, 테이블 크기 요구 사항: 600mm×600mm×850mm, 베어링 용량 ≥ 50kg;

6, 위치는 통풍이 잘되고 냉각되어야 합니다.

기술 지표

1, 스퍼터링 전원 공급 장치: DC 전원 공급 장치 300W, 최대 출력 전압   600V, 제한   전류 출력 500mA

2, 마그네트론 타겟: 2인치 밸런스 타겟, 자기 커플링 배플;

3, 바이어스 전원 공급 장치: 출력   전압 <1000V, 유형: 고주파 펄스 DC 전원 공급 장치  

4, 적합한 타겟 재료: Φ50mm x 3mm 두께

5, 캐비티 크기: 외부   직경194, 내경186mm x 높이 230mm

6, 캐비티 재질: 304 스테인레스 스틸

7, 회전 가열 샘플   테이블 : 회전   속도 1~20rpm  지속적으로 조정 가능, 최대 가열   온도 500℃, 최저 권장   가열 속도 10℃/min, 최고 권장   가열속도 20℃/min.

8, 냉각 모드: 자기 타겟 및   분자 펌프에는 순환수 냉각기가 필요합니다.

9, 수냉식 기계: 탱크 용량 9L, 유량 10L/min

10, 가스 공급 시스템: 질량 유량계, 가스 아르곤 유형, 유량 1~30sccm(맞춤형)

11, 유량계 정확도: ±1.5% 측정 범위

12, 공기 펌핑 인터페이스   진공 챔버의 KF25입니다

13, 공기 흡입구 인터페이스는 다음과 같습니다.   1/4인치 이중 페럴 조인트

14、 터치스크린은 7인치입니다.   컬러 터치 스크린

15, 조정 가능한 스퍼터링   전류, 스퍼터링   안전 전류 값과 안전 진공 값을 설정할 수 있습니다.

16、 안전 보호: 과전류, 진공도가 너무 낮습니다.   스퍼터링 전류를 자동으로 차단합니다.

17, 궁극적인 진공: 5E-4Pa(일치하는 분자   펌프);

18、 진공   측정은 파라나 진공 게이지이며 범위는 1~105Pa입니다.

알아채다

1, 마그네트론 스퍼터링   일반적으로 2Pa 이내의 높은 작동 진공을 가지며 함께 사용해야 합니다.   분자 펌프.

2, 달성하기 위해   산소가 없는 환경에서는 진공 챔버를 최소 3회 이상 청소해야 합니다.   고순도 불활성 가스로 시간을 절약합니다.

3, 마그네트론 스퍼터링은   공기 흡입구에 민감하므로 공기를 제어하려면 질량 유량계가 필요합니다.   섭취

선택 과목   부속물

필름 두께 모니터

1, 필름 두께   분해능: 0.0136Å(알루미늄)

2, 필름의 정확성   두께 : ±0.5%, 공정에 따라 다름   조건, 특히 센서 위치, 재료 응력, 온도 및   밀도  

3, 측정 속도: 100ms-1s/times, 측정 범위는 다음과 같습니다.   세트 : 500000Å(알루미늄)

4, 표준 센서 크리스탈: 6MHz

5, 웨이퍼에 적합   주파수 : 6MHz  

웨이퍼 크기에 적합: Φ14mm

장착 플랜지: CF35

또 다른 액세서리

·            1,CY-CZK103 시리즈 고성능   분자 펌프 세트(복합 진공 게이지, 측정 범위 포함)   10-5Pa~105Pa)

CY-GZK60 시리즈 소분자 펌프 세트(복합 진공 게이지, 측정 범위 포함)   10-5Pa~102Pa)

VRD-4 바이폴라 로터리 베인   진공 펌프

2,KF25 진공 벨로우즈;   길이는 0.5m, 1m 또는 1.5m일 수 있습니다.KF40 클램프 브라켓

3, 필름 두께 측정기   수정 발진기;