TN-MSP500S-2DC-1RF
TN
다층 강유전성 박막용 UPS를 갖춘 3개 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터
Three Target 마그네트론 스퍼터링 코팅기는 당사에서 자체 개발한 비용 효율적인 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비입니다.표준화되고 모듈식이며 사용자 정의가 가능합니다.
세 가지 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터의 적용 분야:
이 장치는 단층 또는 다층의 강유전성 박막, 전도성 필름, 합금 필름, 반도체 필름, 세라믹 필름, 유전체 필름, 광학 필름, 산화 필름, 하드 필름, PTFE 필름 등을 제조하는 데 사용할 수 있습니다.유사한 장비와 비교할 때, 이 3타겟 마그네트론 스퍼터링 코터는 널리 사용될 뿐만 아니라 크기가 작고 작동이 쉽다는 장점이 있으며 실험실에서 재료 필름을 준비하는 데 이상적인 장비입니다.
세 개의 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터 기술 매개변수:
전원 전압 | lVAC 220, 60Hz |
UPS | l 20KVA 16KW, 1시간 지연 l 38AH 용량의 배터리 16개 |
진공 챔버 | l 차원: Dia.325mm * 높이 385mm 엘 재질 : 304 스테인레스 스틸 l 뷰포트(창): 셔터 포함 ~4''(100mm) |
샘플 스테이지 | l 상단 샘플 홀더 엘 샘플 테이블: Dia.150mm l 샘플 크기: 최대.4'' 직경 엘 회전 속도 : 0-40rpm 조절할 수 있는 l 가열 온도: 최대 700oC l |
물 냉각기 | 엘 물 흐름 속도: 2.3m3/시간 l 힘: 3P l 냉각 용량: 8250Kcal/h l 압축기 출력 전력: 2.25KW |
마그네트론 스퍼터링 건 | l 3× 2'' 마그네트론 스퍼터 건, 자동 셔터 포함 l 스퍼터링 방향 위쪽으로 l 표적 직경: 2'' l 자석: 희토류 자석 |
RF 발생기 | l 자동 일치 기능이 있는 3 × RF 300W 전원 공급 장치 l 전원 출력 범위: 5W~300W l 최대 반사 전력: 100W l 전력 안정성: ±0.1% l 고조파 성분: ≤-50dbc 엘 전원 공급 장치: 단상 187-253 VAC, 50/60HZ 엘 효율성: ≥70% 엘 역률: ≥90% l 반사 전력(최대 전력에서): <3W 엘 최대 부하 전류: 30ARMS 엘 최대 부하 전압: 7500VRMS l RF 출력 커넥터: 50Ω, L29 또는 맞춤형 l 경기 시간: 1~3s l 정합 임피던스의 실수부 범위: 0~80Ω l 정합 임피던스의 허수부 범위:﹣200j~ ﹢200j 엘 냉각 방식 : 강제 냉각 |
질량 유량계 | l 3 × MFC 질량 유량 제어(Ar, O2 및 N2) l 측정 범위: 최대 20sccm l 공압식 차단 밸브 및 필터 포함. |
PC 또는 PLC를 통한 완전 자동 제어, 제어 | l 최소 100개의 레시피를 저장하세요. l 19'' 플랫 컨트롤러 |
다층 강유전성 박막용 UPS를 갖춘 3개 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터
Three Target 마그네트론 스퍼터링 코팅기는 당사에서 자체 개발한 비용 효율적인 마그네트론 스퍼터링 코팅 장비입니다.표준화되고 모듈식이며 사용자 정의가 가능합니다.
세 가지 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터의 적용 분야:
이 장치는 단층 또는 다층의 강유전성 박막, 전도성 필름, 합금 필름, 반도체 필름, 세라믹 필름, 유전체 필름, 광학 필름, 산화 필름, 하드 필름, PTFE 필름 등을 제조하는 데 사용할 수 있습니다.유사한 장비와 비교할 때, 이 3타겟 마그네트론 스퍼터링 코터는 널리 사용될 뿐만 아니라 크기가 작고 작동이 쉽다는 장점이 있으며 실험실에서 재료 필름을 준비하는 데 이상적인 장비입니다.
세 개의 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터 기술 매개변수:
전원 전압 | lVAC 220, 60Hz |
UPS | l 20KVA 16KW, 1시간 지연 l 38AH 용량의 배터리 16개 |
진공 챔버 | l 차원: Dia.325mm * 높이 385mm 엘 재질 : 304 스테인레스 스틸 l 뷰포트(창): 셔터 포함 ~4''(100mm) |
샘플 스테이지 | l 상단 샘플 홀더 엘 샘플 테이블: Dia.150mm l 샘플 크기: 최대.4'' 직경 엘 회전 속도 : 0-40rpm 조절할 수 있는 l 가열 온도: 최대 700oC l |
물 냉각기 | 엘 물 흐름 속도: 2.3m3/시간 l 힘: 3P l 냉각 용량: 8250Kcal/h l 압축기 출력 전력: 2.25KW |
마그네트론 스퍼터링 건 | l 3× 2'' 마그네트론 스퍼터 건, 자동 셔터 포함 l 스퍼터링 방향 위쪽으로 l 표적 직경: 2'' l 자석: 희토류 자석 |
RF 발생기 | l 자동 일치 기능이 있는 3 × RF 300W 전원 공급 장치 l 전원 출력 범위: 5W~300W l 최대 반사 전력: 100W l 전력 안정성: ±0.1% l 고조파 성분: ≤-50dbc 엘 전원 공급 장치: 단상 187-253 VAC, 50/60HZ 엘 효율성: ≥70% 엘 역률: ≥90% l 반사 전력(최대 전력에서): <3W 엘 최대 부하 전류: 30ARMS 엘 최대 부하 전압: 7500VRMS l RF 출력 커넥터: 50Ω, L29 또는 맞춤형 l 경기 시간: 1~3s l 정합 임피던스의 실수부 범위: 0~80Ω l 정합 임피던스의 허수부 범위:﹣200j~ ﹢200j 엘 냉각 방식 : 강제 냉각 |
질량 유량계 | l 3 × MFC 질량 유량 제어(Ar, O2 및 N2) l 측정 범위: 최대 20sccm l 공압식 차단 밸브 및 필터 포함. |
PC 또는 PLC를 통한 완전 자동 제어, 제어 | l 최소 100개의 레시피를 저장하세요. l 19'' 플랫 컨트롤러 |
