TN-MSP300S-2DC
TN
다층 강유전성 박막용 이중 타겟 DC 마그네트론 스퍼터링 코팅기는 단층 또는 다층 강유전성 박막, 전도성 필름 및 합금 필름을 준비하기 위한 매우 진보되고 효율적인 솔루션입니다.이 최첨단 코터는 듀얼 타겟 DC 마그네트론 스퍼터링 기술을 활용하여 필름의 정확하고 균일한 증착을 보장합니다.
다양한 기능을 갖춘 이 코터는 전자, 재료 과학 및 연구 분야의 다양한 응용 분야에 이상적입니다.복잡한 다층 구조를 만들어야 하든, 단층 필름을 만들어야 하든 이 코터는 뛰어난 성능과 신뢰성으로 뛰어난 결과를 보장합니다.
이중 타겟 기능을 사용하면 다양한 재료를 동시에 증착할 수 있어 복잡한 다층 구조를 쉽게 만들 수 있습니다.이러한 유연성은 연구원과 과학자에게 다양한 재료 조합과 구성을 탐구하고 실험할 수 있는 가능성의 세계를 열어줍니다.
최첨단 기술을 탑재한 이 코터는 탁월한 필름 품질, 균일성 및 두께 제어를 보장합니다.고급 제어 시스템을 통해 증착 매개변수를 정밀하게 조정할 수 있어 모든 실험 또는 생산 실행에서 재현성과 정확성이 보장됩니다.
탁월한 성능 외에도 이 코터는 사용자 친화적인 인터페이스를 자랑하므로 작동 및 제어가 쉽습니다.직관적인 디자인과 포괄적인 안전 기능은 번거롭지 않고 안전한 작업 환경을 보장합니다.
다층 강유전성 박막을 위한 이중 타겟 DC 마그네트론 스퍼터링 코팅기에 투자하는 것은 박막 증착 요구 사항에 맞는 안정적이고 효율적인 솔루션을 찾는 전문가에게 현명한 선택입니다.고급 기능, 우수한 성능 및 전문가급 구조를 갖춘 이 코터는 모든 실험실 또는 연구 시설에 귀중한 자산입니다.
이중 타겟 DC 마그네트론 스퍼터링 코터 기술 매개변수:
상품명 | 이중 타겟 DC 마그네트론 스퍼터링 코터 |
스퍼터링 전원 공급 장치 | DC 전원×2 DC 전원 공급량 : 500W |
진공 챔버 | 챔버 크기: Φ300mm×300mm, 챔버 재질: 스테인레스 스틸 시계 창: Φ100mm 그만큼 캐비티 오프닝 방법은 상단 오프닝을 채택하여 변경이 더 쉽습니다. 표적 |
마그네트론 스퍼터링 타겟 헤드 | 2개의 마그네트론 스퍼터링 헤드가 설치되어 있습니다. 기기에는 모두 수냉식 중간층이 장착되어 있습니다. 이는 냉각수를 통과하여 표적 물질을 냉각시킬 수 있습니다.둘 스퍼터링 헤드는 DC 전원 공급 장치와 연결되며 주요 스퍼터링 전도성 |
샘플 스테이지 | 견본 캐리어 크기: 직경 140mm(최대 4' 기판 배치 가능) 샘플 캐리어는 다음 속도로 회전할 수 있습니다: 1-20 rpm(조정 가능) 시료 운반체의 가열 온도는 500℃이며, 온도는 제어 정확도는 +/- 1.0°C입니다. |
가스 유량 컨트롤러 | 거기 기기 내부에 2개의 질량 유량계가 설치되어 있으며 범위는 다음과 같습니다. 0-200sccm |
진공펌프 | 갖추게 하는 원버튼 작동 80L/S를 사용하는 분자 펌프 시스템 세트 |
냉각 시스템 | 16L/분 |
전압 | 220V 50HZ |
다층 강유전성 박막용 이중 타겟 DC 마그네트론 스퍼터링 코팅기는 단층 또는 다층 강유전성 박막, 전도성 필름 및 합금 필름을 준비하기 위한 매우 진보되고 효율적인 솔루션입니다.이 최첨단 코터는 듀얼 타겟 DC 마그네트론 스퍼터링 기술을 활용하여 필름의 정확하고 균일한 증착을 보장합니다.
다양한 기능을 갖춘 이 코터는 전자, 재료 과학 및 연구 분야의 다양한 응용 분야에 이상적입니다.복잡한 다층 구조를 만들어야 하든, 단층 필름을 만들어야 하든 이 코터는 뛰어난 성능과 신뢰성으로 뛰어난 결과를 보장합니다.
이중 타겟 기능을 사용하면 다양한 재료를 동시에 증착할 수 있어 복잡한 다층 구조를 쉽게 만들 수 있습니다.이러한 유연성은 연구원과 과학자에게 다양한 재료 조합과 구성을 탐구하고 실험할 수 있는 가능성의 세계를 열어줍니다.
최첨단 기술을 탑재한 이 코터는 탁월한 필름 품질, 균일성 및 두께 제어를 보장합니다.고급 제어 시스템을 통해 증착 매개변수를 정밀하게 조정할 수 있어 모든 실험 또는 생산 실행에서 재현성과 정확성이 보장됩니다.
탁월한 성능 외에도 이 코터는 사용자 친화적인 인터페이스를 자랑하므로 작동 및 제어가 쉽습니다.직관적인 디자인과 포괄적인 안전 기능은 번거롭지 않고 안전한 작업 환경을 보장합니다.
다층 강유전성 박막을 위한 이중 타겟 DC 마그네트론 스퍼터링 코팅기에 투자하는 것은 박막 증착 요구 사항에 맞는 안정적이고 효율적인 솔루션을 찾는 전문가에게 현명한 선택입니다.고급 기능, 우수한 성능 및 전문가급 구조를 갖춘 이 코터는 모든 실험실 또는 연구 시설에 귀중한 자산입니다.
이중 타겟 DC 마그네트론 스퍼터링 코터 기술 매개변수:
상품명 | 이중 타겟 DC 마그네트론 스퍼터링 코터 |
스퍼터링 전원 공급 장치 | DC 전원×2 DC 전원 공급량 : 500W |
진공 챔버 | 챔버 크기: Φ300mm×300mm, 챔버 재질: 스테인레스 스틸 시계 창: Φ100mm 그만큼 캐비티 오프닝 방법은 상단 오프닝을 채택하여 변경이 더 쉽습니다. 표적 |
마그네트론 스퍼터링 타겟 헤드 | 2개의 마그네트론 스퍼터링 헤드가 설치되어 있습니다. 기기에는 모두 수냉식 중간층이 장착되어 있습니다. 이는 냉각수를 통과하여 표적 물질을 냉각시킬 수 있습니다.둘 스퍼터링 헤드는 DC 전원 공급 장치와 연결되며 주요 스퍼터링 전도성 |
샘플 스테이지 | 견본 캐리어 크기: 직경 140mm(최대 4' 기판 배치 가능) 샘플 캐리어는 다음 속도로 회전할 수 있습니다: 1-20 rpm(조정 가능) 시료 운반체의 가열 온도는 500℃이며, 온도는 제어 정확도는 +/- 1.0°C입니다. |
가스 유량 컨트롤러 | 거기 기기 내부에 2개의 질량 유량계가 설치되어 있으며 범위는 다음과 같습니다. 0-200sccm |
진공펌프 | 갖추게 하는 원버튼 작동 80L/S를 사용하는 분자 펌프 시스템 세트 |
냉각 시스템 | 16L/분 |
전압 | 220V 50HZ |
