TN-MSP500S-DCRF-B
TN
귀금속 코팅용 하단 타겟 유형의 듀얼 타겟 DC RF 마그네트론 스퍼터링 코터
듀얼 타겟 DC RF 마그네트론 스퍼터링 코터에는 듀얼 타겟 DC RF 마그네트론 스퍼터링 시스템이 장착되어 있어 귀금속을 효율적이고 정밀하게 코팅할 수 있습니다.하단 타겟 유형은 기판 전체에 균일한 코팅을 보장하여 고품질의 일관된 필름 증착을 보장합니다.
첨단 기술을 갖춘 이 코터는 탁월한 필름 접착력, 높은 증착 속도 및 낮은 필름 응력을 제공합니다.또한 광범위한 공정 매개변수를 제공하여 코팅 조건을 맞춤화하고 최적화할 수 있습니다.사용자 친화적인 인터페이스와 직관적인 제어 기능을 통해 코팅 공정을 쉽게 작동하고 모니터링할 수 있습니다.
이 스퍼터링 코터는 연구 개발 실험실, 대학 및 산업 응용 분야에 적합합니다.광학 코팅, 전자 장치, 태양 전지, 센서 등과 같은 다양한 응용 분야에 이상적입니다.견고한 구조와 안정적인 성능으로 오래 지속되고 효율적인 작동이 보장됩니다.
전반적으로 귀금속 코팅을 위한 하단 타겟 유형의 듀얼 타겟 DC RF 마그네트론 스퍼터링 코터는 정확하고 고품질의 필름 증착을 위한 다재다능하고 신뢰할 수 있는 솔루션입니다.고급 기능과 사용자 친화적인 디자인으로 인해 해당 분야의 전문가에게 탁월한 선택이 됩니다.
마그네트론 스퍼터링 코터 기술적인 매개변수:
모델 | TN-MSP500S-DCRF-B | |
입력 | AC220V,50Hz | |
총 전력 | 6KW | |
궁극적인 진공도 | 5x10-4Pa | |
샘플 테이블 매개변수 | 크기 | 직경 150 |
키 | 70mm 조절 가능 | |
난방 | ≤500℃ | |
회전 속도 | 1-20rpm | |
마그네트론 스퍼터링 헤드 매개변수 | 수량 | 2세트, 2인치 |
냉각 모드 | 수냉식, 필요 유량 10L/min | |
물 냉각기 | 10L/min 순환수 냉각 | |
진공 챔버 | 크기 | |
재료 | 스테인레스 스틸 | |
감시 창 | 100mm 직경 | |
오픈 모드 | 전면 여는 문 | |
가스 유량 컨트롤러 | 1채널 200sccm Ar; | |
진공펌프 | 분자 펌프 시스템 펌핑, 600L/S | |
필름 두께 측정기 | 석영 진동 필름 두께 측정기, 한 세트, 해상도 0.10 Å | |
스퍼터 전원 공급 장치 | DC 전원 공급 장치: 한 세트, 500W, 금속 필름용 RF 전원 공급 장치: 비금속 필름용 1세트, 500W | |
작동 모드 | 올인원 컴퓨터 작동 | |
전체 치수 | 1090mm X 900mm X 1250mm | |
총 무게 | 350kg |
귀금속 코팅용 하단 타겟 유형의 듀얼 타겟 DC RF 마그네트론 스퍼터링 코터
듀얼 타겟 DC RF 마그네트론 스퍼터링 코터에는 듀얼 타겟 DC RF 마그네트론 스퍼터링 시스템이 장착되어 있어 귀금속을 효율적이고 정밀하게 코팅할 수 있습니다.하단 타겟 유형은 기판 전체에 균일한 코팅을 보장하여 고품질의 일관된 필름 증착을 보장합니다.
첨단 기술을 갖춘 이 코터는 탁월한 필름 접착력, 높은 증착 속도 및 낮은 필름 응력을 제공합니다.또한 광범위한 공정 매개변수를 제공하여 코팅 조건을 맞춤화하고 최적화할 수 있습니다.사용자 친화적인 인터페이스와 직관적인 제어 기능을 통해 코팅 공정을 쉽게 작동하고 모니터링할 수 있습니다.
이 스퍼터링 코터는 연구 개발 실험실, 대학 및 산업 응용 분야에 적합합니다.광학 코팅, 전자 장치, 태양 전지, 센서 등과 같은 다양한 응용 분야에 이상적입니다.견고한 구조와 안정적인 성능으로 오래 지속되고 효율적인 작동이 보장됩니다.
전반적으로 귀금속 코팅을 위한 하단 타겟 유형의 듀얼 타겟 DC RF 마그네트론 스퍼터링 코터는 정확하고 고품질의 필름 증착을 위한 다재다능하고 신뢰할 수 있는 솔루션입니다.고급 기능과 사용자 친화적인 디자인으로 인해 해당 분야의 전문가에게 탁월한 선택이 됩니다.
마그네트론 스퍼터링 코터 기술적인 매개변수:
모델 | TN-MSP500S-DCRF-B | |
입력 | AC220V,50Hz | |
총 전력 | 6KW | |
궁극적인 진공도 | 5x10-4Pa | |
샘플 테이블 매개변수 | 크기 | 직경 150 |
키 | 70mm 조절 가능 | |
난방 | ≤500℃ | |
회전 속도 | 1-20rpm | |
마그네트론 스퍼터링 헤드 매개변수 | 수량 | 2세트, 2인치 |
냉각 모드 | 수냉식, 필요 유량 10L/min | |
물 냉각기 | 10L/min 순환수 냉각 | |
진공 챔버 | 크기 | |
재료 | 스테인레스 스틸 | |
감시 창 | 100mm 직경 | |
오픈 모드 | 전면 여는 문 | |
가스 유량 컨트롤러 | 1채널 200sccm Ar; | |
진공펌프 | 분자 펌프 시스템 펌핑, 600L/S | |
필름 두께 측정기 | 석영 진동 필름 두께 측정기, 한 세트, 해상도 0.10 Å | |
스퍼터 전원 공급 장치 | DC 전원 공급 장치: 한 세트, 500W, 금속 필름용 RF 전원 공급 장치: 비금속 필름용 1세트, 500W | |
작동 모드 | 올인원 컴퓨터 작동 | |
전체 치수 | 1090mm X 900mm X 1250mm | |
총 무게 | 350kg |