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귀금속 코팅을 위한 하단 타겟 유형이 있는 듀얼 타겟 DC RF 마그네트론 스퍼터링 코터

단층 또는 다층의 강유전성 박막, 전도성 필름, 합금 필름, 반도체 필름, 세라믹 필름, 유전체 필름, 광학 필름, 산화 필름, 하드 필름, PTFE 필름 등을 제조하는데 사용할 수 있습니다.
가용성 상태:
수량:
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  • TN-MSP500S-DCRF-B

  • TN

귀금속 코팅용 하단 타겟 유형의 듀얼 타겟 DC RF 마그네트론 스퍼터링 코터

듀얼 타겟 DC RF 마그네트론 스퍼터링 코터에는 듀얼 타겟 DC RF 마그네트론 스퍼터링 시스템이 장착되어 있어 귀금속을 효율적이고 정밀하게 코팅할 수 있습니다.하단 타겟 유형은 기판 전체에 균일한 코팅을 보장하여 고품질의 일관된 필름 증착을 보장합니다.


첨단 기술을 갖춘 이 코터는 탁월한 필름 접착력, 높은 증착 속도 및 낮은 필름 응력을 제공합니다.또한 광범위한 공정 매개변수를 제공하여 코팅 조건을 맞춤화하고 최적화할 수 있습니다.사용자 친화적인 인터페이스와 직관적인 제어 기능을 통해 코팅 공정을 쉽게 작동하고 모니터링할 수 있습니다.


이 스퍼터링 코터는 연구 개발 실험실, 대학 및 산업 응용 분야에 적합합니다.광학 코팅, 전자 장치, 태양 전지, 센서 등과 같은 다양한 응용 분야에 이상적입니다.견고한 구조와 안정적인 성능으로 오래 지속되고 효율적인 작동이 보장됩니다.


전반적으로 귀금속 코팅을 위한 하단 타겟 유형의 듀얼 타겟 DC RF 마그네트론 스퍼터링 코터는 정확하고 고품질의 필름 증착을 위한 다재다능하고 신뢰할 수 있는 솔루션입니다.고급 기능과 사용자 친화적인 디자인으로 인해 해당 분야의 전문가에게 탁월한 선택이 됩니다.


마그네트론 스퍼터링 코터 기술적인 매개변수:


모델

TN-MSP500S-DCRF-B

입력

AC220V,50Hz

총 전력

6KW

궁극적인 진공도

5x10-4Pa

샘플 테이블 매개변수

크기

직경 150

70mm 조절 가능

난방

≤500℃

회전 속도

1-20rpm

마그네트론 스퍼터링 헤드 매개변수

수량

2세트, 2인치

냉각 모드

수냉식, 필요 유량 10L/min

물 냉각기

10L/min 순환수 냉각

진공 챔버

크기

500mm다이아.× 높이 490mm

재료

스테인레스 스틸

감시 창

100mm 직경

오픈 모드

전면 여는 문

가스 유량 컨트롤러

1채널 200sccm Ar;

진공펌프

분자 펌프 시스템 펌핑, 600L/S

필름 두께 측정기

석영 진동 필름 두께 측정기,

한 세트, 해상도 0.10 Å

스퍼터 전원 공급 장치

DC 전원 공급 장치: 한 세트, 500W, 금속 필름용

RF 전원 공급 장치: 비금속 필름용 1세트, 500W

작동 모드

올인원 컴퓨터 작동

전체 치수

1090mm X 900mm X 1250mm

총 무게

350kg


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