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귀금속 코팅용 석영 캐비티가 있는 오프셋 타겟 단일 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터

이 장비는 기울일 수 있는 샘플 스테이지를 갖춘 단일 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터입니다.샘플 스테이지와 대상 표면 사이의 각도는 조정 가능하며 마그네트론 스퍼터링 코터를 사용하여 특정 성장 각도를 가진 필름을 만들 수 있습니다.

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가용성 상태:





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모델：
TN-MSP180S-DC-AR
제품 브랜드：
TN

제품 설명

이 장비는 석영 캐비티가 장착된 단일 타겟 마그네트론 스퍼터링 코터로, 증착된 필름의 고순도와 균일성을 보장합니다.이 코터는 마그네트론 스퍼터링 기술을 활용하여 막 두께와 구성을 정밀하게 제어할 수 있습니다.특히 귀금속 코팅 용도에 적합하며 우수한 접착력과 내구성을 제공합니다.오프셋 타겟 디자인을 갖춘 이 코터는 향상된 증착 효율성과 감소된 재료 낭비를 제공합니다.사용자 친화적인 인터페이스와 고급 제어 시스템을 통해 쉬운 작동과 정확한 매개변수 조정이 가능합니다.오프셋 타겟 단일 타겟 마그네트론 스퍼터링 코팅기(쿼츠 캐비티 포함)는 연구 및 산업 환경에서 다양한 박막 코팅 요구 사항을 충족하는 안정적이고 효율적인 솔루션입니다.

마그네트론 스퍼터링 코터 기술 매개변수:

TN-MSP180S-DC-GU
샘플 스테이지	크기	Φ60mm	회전 속도	0-20 조정 가능
마그네트론 스퍼터링 타겟	수량	2' x1
진공 챔버	챔버 크기	Φ180mm x 150mm	관찰 창	전방향 가시성
	챔버 재료	고순도 석영	열리는 방법	상단 커버 분리 가능
	하부 플랜지	샘플 테이블 틸트 메커니즘 포함 및 회전 메커니즘
진공 시스템	기계식 펌프	2단 로터리 베인 펌프	펌핑 인터페이스	KF16
	분자펌프	터보분자 펌프	펌핑 인터페이스	KF40
	진공 측정	저항 게이지 + 이온화 게이지	배기 인터페이스	KF40
	궁극의 진공	1.0E-3Pa	전원공급장치	AC 220V 50/60Hz
	펌핑 속도	백킹 펌프: 1.1L/s 분자 펌프: 60리터/초
전원 구성	수량	DC 전원 공급 장치 x1	최대 출력 전력	DC 전원 공급 장치 300W
다른	공급 전압	AC220V, 50Hz	Dimensions	500mm x320mm x620mm
다른	총 전력	2kW