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구리 호일 및 알루미늄 호일의 흑연을 위한 왕복 샘플 스테이지가 있는 이중 타겟 마그네트론 스퍼터링 카오터

당사가 개발한 두 가지 목표 위치를 갖춘 실험실 전용 마그네트론 스퍼터링 코터입니다.장비에는 DC 전원 공급 장치와 고주파 전원 공급 장치가 장착되어 있으며 단층 또는 다층 철 전기 필름, 전도성 필름, 합금 필름, 반도체 필름, 세라믹 필름, 유전체 필름, 광학 필름 등을 준비하는 데 사용할 수 있습니다.

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제품 설명

TN-MSP500S-DCRF-RE 당사가 개발한 2개의 목표 위치를 갖춘 실험실 전용 마그네트론 스퍼터링 코터입니다.장비에는 DC 전원 공급 장치와 고주파 전원 공급 장치가 장착되어 있으며 단층 또는 다층 철 전기 필름, 전도성 필름, 합금 필름, 반도체 필름, 세라믹 필름, 유전체 필름, 광학 필름 등을 준비하는 데 사용할 수 있습니다.

특징:

ㅏ. 일반 플라즈마 스퍼터링과 비교하여 마그네트론 스퍼터링은 높은 에너지 및 속도, 높은 코팅 속도, 낮은 샘플 온도 상승 등의 장점을 가지며 전형적인 고속 저온 스퍼터링입니다.

비. 마그네트론 스퍼터 타겟에는 수냉식 중간층이 장착되어 있습니다.수냉식 기계는 열을 효과적으로 제거하고 대상 표면에 열이 축적되는 것을 방지하여 마그네트론 스퍼터가 오랫동안 안정적으로 작동할 수 있습니다.

씨. 샘플 스테이지는 왕복 설계를 채택하고 왼쪽에는 샘플 스테이지를 좌우로 밀 수 있는 자기 커플링 푸시 로드가 장착되어 있습니다.

디. 전체 기계는 터치 스크린 제어, 원버튼 코팅 프로그램 내장, 작동하기 쉽고 실험실 필름 준비에 이상적인 장비를 채택합니다.

기술적인 매개변수:

모델		TN-MSP500S-DCRF-RE
입력		AC220V,50Hz
총 전력		6KW
궁극적인 진공도		5x10-4Pa
샘플 테이블 매개변수	크기	100mm x 100mm
	왕복 스트로크	200mm
마그네트론 스퍼터링 헤드 매개변수	수량	2세트, 2인치
	냉각 모드	수냉식, 필수 유량10L/min
	물 냉각기	10L/min 순환수 냉각
진공 챔버	크기	Φ500mm X 490mm H
	재료	스테인레스 스틸
	감시 창	Φ100mm
	오픈 모드	전면 여는 문
가스 유량 컨트롤러		1채널 200sccm Ar;
진공펌프		분자 펌프 시스템 펌핑600L/S
필름 두께 측정기		석영 진동 필름 두께 게이지, 한 세트, 해상도 0.10Å
스퍼터 전원 공급 장치		DC 전원 공급 장치: 하나 세트, 500W, 금속 준비용 영화 RF 전원 공급 장치: 하나 비금속용 세트, 500W 코팅
작동 모드		올인원 컴퓨터 작동
전체 치수		1090mm X 900mm X 1250mm
총 무게		350kg