CdTe, 황화물 및 페로브스카이트 태양전지용 5인치 근접 증발 코터로

진공 플랜지

KFD-25 진공 포트 1개와 가스 배출구(1/4') 1개가 있는 상단 플랜지   파이프 필요) 인쇄물을 넣고 빼기 위해 수동으로 위아래로 미끄러질 수 있습니다.   쉽게 증발된 물질

하단 플랜지에는 가스 흡입구(1/4')가 1개 있는 KFD-25 진공 포트 1개가 있습니다.   파이프 필요) 니들 밸브 포함

플랜지는 이중 실리콘 O-링으로 밀봉되어 있으며 최대 성능을 달성할 수 있습니다.   고품질 기계식 펌프에 의한 10E-2 Torr의 진공 압력과 10E-5 Torr의 진공 압력   분자 펌프 (진공 펌프는 포함되어 있지 않습니다. 별도로 주문하십시오)

하나의 디지털 진공 게이지가 상단 플랜지에 설치됩니다.  

정밀 부식 방지 디지털 진공 게이지는 추가 옵션입니다.   비용

가스 유량계

2개로 통합된 가스 혼합기   측정 범위를 조정할 수 있는 플로트 미터:

16~160mL/m

500 - 5000 mL/m (퍼징용)

히터 및 샘플 홀더

2개는 독립적으로   2 - 30 mm의 간격을 수동으로 조절할 수 있는 제어식 히터

20개 할로겐   램프는 급속 열처리를 위한 발열체로 사용됩니다.

히터는   열 방출을 줄이기 위해 수냉식 재킷을 갖춘 스테인레스 스틸로 제작되었습니다.   빠른 냉각을 허용합니다.

5' 직경   원형 웨이퍼 홀더는 기판을 고정하기 위해 상단 히터에 내장되어 있습니다.

높은 한 세트   열 전도성 AlN 플레이트(5' 직경 x 0.5mm 두께)가 포함되어 있습니다.   (기재 뒷면에 놓아 균일하게 가열되도록 합니다.)

16L/분   수자원 절약을 위해 재순환 물 냉각기가 포함되어 있습니다.

온도 조절기

두 가지 정밀 디지털 온도   30개의 세그먼트를 프로그래밍할 수 있는 컨트롤러는 독립적인 제어를 제공합니다.   상단 및 하단 히터

각 컨트롤러에는 PID 자동 조정 기능이 있습니다.   히터의 오버슈팅을 방지하는 기능과 이를 방지하기 위한 알람 기능   과열 및 열전대 파손

작동 온도

최대.온도   각 히터의 경우: <= 800°C

최대.온도   두 히터 사이의 차이: <= 300°C는 두 히터 사이의 간격에 따라 달라집니다.   히터:

간격 30mm  최대.온도차:  315°C @ 가열 바닥만

가열 및 냉각 속도

난방: >   8°C/s(단일 히터만 가열)

냉각: >   최대 10°C/s(600 - 100°C)

열전쌍

K형 열전대 2개는 다음과 같습니다.   상하 히터를 별도로 설치

작동 전압

208 - 240VAC, 단상, 20A 공기   파쇄기

전력 요구 사항

총 2200W(개당 1100W)   히터)

보증

수명은 1년으로 제한됩니다.   지원하다

Dimensions

길이 1085mm x 너비 680mm x 높이 1710mm