TN-EVP325S-4S-T
TN
본 장비는 4원 고진공 증발코터입니다.장비는 전면 개방 도어 진공 챔버 설계를 채택합니다.또한 챔버가 500mm로 늘어났습니다.샘플 스테이지와 증발 소스 사이의 거리에는 더 넓은 조정 범위가 있어 다양한 증발 요구 사항에 적응할 수 있습니다.증발원의 고온으로 인해 샘플이 손상되는 것을 방지합니다.
챔버는 상단 샘플 스테이지를 채택하고 샘플 스테이지는 회전, 가열 및 들어 올릴 수 있으며 모든 작업은 터치 스크린을 통해 통합 및 제어될 수 있습니다.장비 진공 시스템은 2단 로터리 베인 펌프와 터보 분자 펌프로 구성된 2단 진공 시스템으로, 깨끗하고 오일이 없는 고진공 환경을 제공할 수 있습니다.장비에는 공압 밸브 시스템이 장착되어 있습니다.운영 체제의 자동 제어를 통해 사용자는 원버튼 진공 펌핑, 논스톱 샘플 꺼내기 및 배치, 완전한 종료 등의 작업을 터치 스크린에서 수행할 수 있습니다.
장비에는 텅스텐 보트 증발원 4세트와 수냉식 구리 전극이 장착되어 있습니다.각 증발원은 100A의 대전류와 1800℃의 가열 온도를 지원합니다.다층 코팅 또는 여러 재료의 혼합 코팅을 실현할 수 있습니다.
기술적인 매개변수:
4개 소스 고진공 증발 코팅 장비 | ||||
견본 단계 | 크기 | 최고 Φ150mm 샘플 지원 | 키 | Adjustable 상하 140mm |
증발 원천 | 수량 | 텅스텐 보트 x4 | ||
진공 방 | 방 크기 | Φ325mm x 510mm | 관찰 창문 | 앞쪽 차광판 포함 ø100mm |
방 재료 | 304 스테인레스 스틸 | 열려 있는 방법 | 앞쪽 문 열림 | |
영화 두께 조절 | 결정 발진기형 막두께 측정기, 멀티채널 옵션 막두께 조절기 | |||
진공 체계 | 역행 펌프 | 둘 스테이지 로터리 베인 펌프 | 펌핑 포트 | KF16 |
중고등 학년 펌프 | 터보분자 펌프 | 펌핑 포트 | CF160 | |
진공 측정 | 저항 + 이온화 화합물 진공 게이지 | 배기가스 비율 | 기계 펌프 1.1L/s | |
궁극적인 진공 | 1.0E-5Pa | 힘 공급 | 분자 펌프 600L/s | |
제어 체계 | PLC 자동 제어 작업 인터페이스: 터치스크린 + 조작 패널 | |||
기타 | 공급 전압 | AC220V,50Hz | 전반적인 크기 | 1000mm x 800mm x 1500mm |
총 힘 | 10kW | 총 무게 | 350kg | |
본 장비는 4원 고진공 증발코터입니다.장비는 전면 개방 도어 진공 챔버 설계를 채택합니다.또한 챔버가 500mm로 늘어났습니다.샘플 스테이지와 증발 소스 사이의 거리에는 더 넓은 조정 범위가 있어 다양한 증발 요구 사항에 적응할 수 있습니다.증발원의 고온으로 인해 샘플이 손상되는 것을 방지합니다.
챔버는 상단 샘플 스테이지를 채택하고 샘플 스테이지는 회전, 가열 및 들어 올릴 수 있으며 모든 작업은 터치 스크린을 통해 통합 및 제어될 수 있습니다.장비 진공 시스템은 2단 로터리 베인 펌프와 터보 분자 펌프로 구성된 2단 진공 시스템으로, 깨끗하고 오일이 없는 고진공 환경을 제공할 수 있습니다.장비에는 공압 밸브 시스템이 장착되어 있습니다.운영 체제의 자동 제어를 통해 사용자는 원버튼 진공 펌핑, 논스톱 샘플 꺼내기 및 배치, 완전한 종료 등의 작업을 터치 스크린에서 수행할 수 있습니다.
장비에는 텅스텐 보트 증발원 4세트와 수냉식 구리 전극이 장착되어 있습니다.각 증발원은 100A의 대전류와 1800℃의 가열 온도를 지원합니다.다층 코팅 또는 여러 재료의 혼합 코팅을 실현할 수 있습니다.
기술적인 매개변수:
4개 소스 고진공 증발 코팅 장비 | ||||
견본 단계 | 크기 | 최고 Φ150mm 샘플 지원 | 키 | Adjustable 상하 140mm |
증발 원천 | 수량 | 텅스텐 보트 x4 | ||
진공 방 | 방 크기 | Φ325mm x 510mm | 관찰 창문 | 앞쪽 차광판 포함 ø100mm |
방 재료 | 304 스테인레스 스틸 | 열려 있는 방법 | 앞쪽 문 열림 | |
영화 두께 조절 | 결정 발진기형 막두께 측정기, 멀티채널 옵션 막두께 조절기 | |||
진공 체계 | 역행 펌프 | 둘 스테이지 로터리 베인 펌프 | 펌핑 포트 | KF16 |
중고등 학년 펌프 | 터보분자 펌프 | 펌핑 포트 | CF160 | |
진공 측정 | 저항 + 이온화 화합물 진공 게이지 | 배기가스 비율 | 기계 펌프 1.1L/s | |
궁극적인 진공 | 1.0E-5Pa | 힘 공급 | 분자 펌프 600L/s | |
제어 체계 | PLC 자동 제어 작업 인터페이스: 터치스크린 + 조작 패널 | |||
기타 | 공급 전압 | AC220V,50Hz | 전반적인 크기 | 1000mm x 800mm x 1500mm |
총 힘 | 10kW | 총 무게 | 350kg | |
