전기 리프팅 샘플 플랫폼 금속 필름 증착을 갖춘 데스크탑 열 증발 코팅기

제품 모델

TN-EVP195S-1S-LT(T는 높은 탱크를 의미하고 L은   승강기)

설치 조건

1、일하다   환경 온도: 25℃±15℃, 습도: 55%Rh±10%Rh;

2, 장비 전력   공급: AC220V, 50Hz, 접지가 잘 되어 있어야 합니다.

3, 정격 출력: 2500w;

4、장비   가스 : 장비   챔버는 청소를 위해 아르곤 가스로 채워져야 합니다.고객은   순도 ≥99.99%의 아르곤 가스를 준비합니다.

5, 테이블 크기   요구 사항: 600mm×600mm×700mm, 베어링 용량 ≥ 70kg;

6、위치는 다음과 같습니다.   통풍이 잘되고 냉각되어야 합니다.

기술 지표

1,  증발원 수: 각 2개   증발 소스에는 배플이 장착되어 있습니다.

2, 증발 소스 전압: 10V

3, 증발 전류는 지속적으로 조정 가능합니다.   0에서 100A까지

4, 1개의 텅스텐 보트, 1개의 텅스텐 바구니;

5, 스테인레스 스틸 전기 리프팅 샘플 플랫폼,   직경은 100mm, 회전 속도는 1~20rpm으로 지속적으로 조정 가능합니다.

6, 샘플과 증발 사이의 거리   소스는 190mm에서 300mm까지 지속적으로 조정 가능하며 조정도 가능합니다.   진공 상태에서 위아래로;

7, 진공 캐비티는 스테인레스 스틸 캐비티입니다.   외경 195mm,  안   내경 185mm, 높이 350mm;

8、 상부   커버는 분해와 검사가 용이하도록 ISO 플랜지로 밀봉되어 있습니다.

9, 캐비티에는 전면 도어와   배플이 있는 석영 관찰 창; 크기   60mm의

10, 진공 챔버의 공기 펌핑 인터페이스는 다음과 같습니다.   KF40;

11, 공기 흡입구 인터페이스는 1/4인치 이중 페룰입니다.   조인트, 스테인레스 스틸 미세 조정 밸브가 기본적으로 제공됩니다.   공기 흡입구를 조정하십시오;

12, 터치 스크린은 7인치 컬러 터치 스크린입니다.

13, 조정 가능한 스퍼터링 전류, 스퍼터링 안전 전류 값 및 안전 진공   값을 설정할 수 있습니다.

14、  안전 보호: 과전류, 진공도   낮은 스퍼터링 전류를 자동으로 차단합니다.

15, 최종 진공: 1Pa(2단 로터리 베인 펌프와 일치);

알아채다

1. 캐비티의 진공 성능을 최대한 발휘하기 위해   분자 펌프 그룹과 함께 사용하는 것이 좋습니다.

옵션 액세서리

영화

두께 모니터

1, 필름 두께   분해능: 0.0136Å(알루미늄)

2、필름의 정확성   두께 : ±0.5%, 공정 조건, 특히 센서에 따라 다릅니다.   위치, 재료 응력, 온도 및 밀도  

3, 측정 속도: 회당 100ms ~ 1s, 측정 범위 설정 가능: 500000Å(알루미늄)

4, 표준 센서   크리스탈: 6MHz

5, 적합   웨이퍼 주파수: 6MHz

웨이퍼 크기에 적합: Φ14mm

장착 플랜지: CF35

또 다른 액세서리

1, 텅스텐 보트, 텅스텐 바구니;

2, 유기 증발원(석영 보트 포함)   및 텅스텐 와이어 가열 소스)

3, 증발 소스의 수를 선택할 수 있습니다   1~2개 그룹;

4, CY-CZK103 시리즈 고성능 분자 펌프   세트(복합 진공 게이지 포함, 측정 범위 10-5Pa~105Pa);

CY-GZK60 시리즈 소형   분자 펌프 세트(복합 진공 게이지, 측정 범위 포함)   10-5Pa~102Pa)

VRD-4 양극 회전 날개 진공 펌프;

5, CW3000 순환 워터 쿨러(공냉식, 흐름   분당 10L 속도)

6, KF40 진공 벨로우즈;길이는 0.5m, 1m 또는   1.5m.KF40 클램프 브래킷;

7, 필름 두께 측정기 수정 발진기;