TN-EVH300-III-HHH-SS
TN
고진공 열 증발 코팅기는 정밀하고 효율적으로 기판에 박막을 증착하도록 설계된 정교한 장비입니다. 이 코터는 고진공 환경 내에서 열 증발 공정을 활용하여 균일하고 고품질의 필름 증착을 보장합니다.
첨단 기술을 갖춘 이 코터는 다양한 재료를 다양한 기판에 증착할 수 있어 전자, 광학, 연구 등 산업의 다양한 응용 분야에 적합합니다. 고진공 환경은 증착된 필름에 불순물과 결함이 없도록 보장하여 우수한 필름 품질을 제공합니다.
사용자 친화적인 제어 기능과 견고한 디자인을 갖춘 고진공 열 증발 코팅기는 작동 및 유지 관리가 용이하여 연구 및 생산 환경 모두에 이상적인 선택입니다. 높은 정밀도와 신뢰성으로 인해 박막 증착 공정에서 일관되고 재현 가능한 결과를 얻기 위한 귀중한 도구입니다.
전반적으로 고진공 열 증발 코팅기는 고진공 환경에서 박막을 증착하기 위한 다용도의 효율적인 솔루션으로, 기판에 고품질 필름 코팅을 달성하려는 연구원 및 제조업체에게 필수적인 도구입니다.
Three Source 고진공 증발 코팅기 응용 분야: 금속 및 유전체 필름, 박막 센서 제조, 광학 소자, 나노 및 마이크로 전자 공학, 태양 전지
제품명 | 3원 고진공 증발 코터 | |
제품번호 | CY-EVH300-III-HHH-SS | |
샘플 스테이지 | 크기 | 최대 지원 Φ150mm 샘플 |
기능 | 회전 가능, 최대 500°C까지 가열 | |
증발원 | 수량 | 텅스텐 보트 x3 |
힘 | 각 증발 소스에는 다음이 장착되어 있습니다. 독립 전원 공급 장치; 세 가지 증발 소스에는 총 삼 독립 전원 공급 장치 | |
진공챔버 | 캐비티 크기 | Φ300x400mm |
관찰 창 | 전면 Φ100mm | |
캐비티 재료 | 304 스테인레스 스틸 | |
개방형 방식 | 현관문 | |
필름 두께 조절(옵션) | 결정형 막두께 측정 장비, 옵션 다중 채널 필름 두께 컨트롤러 | |
진공 시스템 | 포어라인 펌프 | 바이폴라 로터리 베인 펌프 |
배기구 | KF16 | |
2차 펌프 | 터보분자 펌프 | |
배기구 | ISO160 | |
진공 측정 | 저항 + 이온화 복합 진공 게이지 | |
배기율 | 기계식 펌프 1.1L/s 분자펌프 600L/s | |
궁극의 진공 | 1.0E-5Pa | |
전원 공급 장치 | AC 220V 50/60Hz | |
펌핑 속도 | 로터리 베인 펌프: 1.1L/S | |
제어 시스템 | PLC 자동 제어 작동 인터페이스: 터치스크린 + 조작 패널 (터치스크린으로 증착공정 제어 빠른 데이터 입력; 사용자 친화적인 PLC 소프트웨어 시스템, 업데이트 가능 ~을 통해 회로망) | |
다른 | 공급 전압 | AC220V,50Hz |
전체 사이즈 | 1200mm X 900mm X 1650mm | |
총 전력 | 5kW | |
총 중량 | 500kg | |
고진공 열 증발 코터는 고진공 환경에서 열 증발 공정을 통해 기판에 박막을 증착하는 데 사용되는 장비입니다. 고진공 열 증발 코터의 주요 목적과 용도는 다음과 같습니다.
박막 증착: 고진공 열증착코터의 주요 목적은 금속, 반도체, 유전체 등 다양한 소재의 박막을 기판에 증착하는 것입니다. 이 공정에는 재료가 증발할 때까지 고진공에서 가열한 다음 기판에 응축되어 얇은 필름을 형성하는 과정이 포함됩니다.
마이크로 전자공학 및 반도체 제조: 열 증발은 반도체 산업에서 반도체 웨이퍼에 금속 접점, 접착층 및 기타 전도성 필름을 증착하는 데 사용됩니다. 이는 트랜지스터, 다이오드, 집적 회로와 같은 마이크로 전자 장치를 제조하는 데 핵심 기술입니다.
광학 코팅: 코터는 반사 방지 코팅, 빔 스플리터, 미러 등의 광학 코팅을 렌즈, 유리 및 기타 광학 부품에 적용하는 데 널리 사용됩니다. 고진공 환경은 코팅이 균일하고 순수하며 원하는 광학 특성을 갖도록 보장합니다.
금속 및 유전체 코팅: 고진공 열 증발은 반사 코팅, 커패시터 및 절연층을 포함한 다양한 응용 분야에 사용되는 금속 필름(예: 금, 은, 알루미늄)과 유전체 필름(예: 이산화규소, 이산화티타늄)을 증착하는 데 사용됩니다.
장식 코팅: 시계, 주얼리, 전자제품 케이스 등의 소비재에 금속박막을 증착하여 금속성 마감이나 심미성을 부여하는 장식용으로도 사용됩니다.
연구 및 개발: 연구실에서 열증착은 재료과학, 물리학, 나노기술 연구를 위한 박막을 준비하는 일반적인 방법입니다. 필름의 두께와 균일성을 제어할 수 있는 능력은 실험 연구 및 프로토타입 제작에 유용한 도구입니다.
유기 및 무기소자의 제조: 열증발은 유기발광다이오드(OLED), 박막트랜지스터(TFT) 및 기타 유기 전자제품의 제조에 사용됩니다. 이 기술은 태양전지나 센서 같은 무기박막 소자 생산에도 활용된다.
나노기술 응용: 나노 기술에서는 열 증발을 사용하여 나노 구조 및 나노 규모 장치 제작을 위한 박막을 증착합니다. 고진공 환경은 증착이 깨끗하고 정밀하다는 것을 보장하며 이는 나노 규모 응용 분야에 매우 중요합니다.
배리어 및 보호 코팅: 코터는 다양한 기판에 보호 및 차단 코팅을 적용하여 내구성, 내식성 및 기타 표면 특성을 향상시키는 데 사용할 수 있습니다. 이러한 코팅은 포장부터 항공우주까지 다양한 산업에서 사용됩니다.
전반적으로 고진공 열 증발 코터는 다양한 산업 및 연구 분야에서 중요한 역할을 하는 다목적 도구입니다. 두께를 정밀하게 제어하여 고순도의 균일한 박막을 증착하는 능력이 높이 평가되어 마이크로 전자공학, 광학, 재료 과학 등의 응용 분야에 필수적입니다.
고진공 열 증발 코팅기는 정밀하고 효율적으로 기판에 박막을 증착하도록 설계된 정교한 장비입니다. 이 코터는 고진공 환경 내에서 열 증발 공정을 활용하여 균일하고 고품질의 필름 증착을 보장합니다.
첨단 기술을 갖춘 이 코터는 다양한 재료를 다양한 기판에 증착할 수 있어 전자, 광학, 연구 등 산업의 다양한 응용 분야에 적합합니다. 고진공 환경은 증착된 필름에 불순물과 결함이 없도록 보장하여 우수한 필름 품질을 제공합니다.
사용자 친화적인 제어 기능과 견고한 디자인을 갖춘 고진공 열 증발 코팅기는 작동 및 유지 관리가 용이하여 연구 및 생산 환경 모두에 이상적인 선택입니다. 높은 정밀도와 신뢰성으로 인해 박막 증착 공정에서 일관되고 재현 가능한 결과를 얻기 위한 귀중한 도구입니다.
전반적으로 고진공 열 증발 코팅기는 고진공 환경에서 박막을 증착하기 위한 다용도의 효율적인 솔루션으로, 기판에 고품질 필름 코팅을 달성하려는 연구원 및 제조업체에게 필수적인 도구입니다.
Three Source 고진공 증발 코팅기 응용 분야: 금속 및 유전체 필름, 박막 센서 제조, 광학 소자, 나노 및 마이크로 전자 공학, 태양 전지
제품명 | 3원 고진공 증발 코터 | |
제품번호 | CY-EVH300-III-HHH-SS | |
샘플 스테이지 | 크기 | 최대 지원 Φ150mm 샘플 |
기능 | 회전 가능, 최대 500°C까지 가열 | |
증발원 | 수량 | 텅스텐 보트 x3 |
힘 | 각 증발 소스에는 다음이 장착되어 있습니다. 독립 전원 공급 장치; 세 가지 증발 소스에는 총 삼 독립 전원 공급 장치 | |
진공챔버 | 캐비티 크기 | Φ300x400mm |
관찰 창 | 전면 Φ100mm | |
캐비티 재료 | 304 스테인레스 스틸 | |
개방형 방식 | 현관문 | |
필름 두께 조절(옵션) | 결정형 막두께 측정 장비, 옵션 다중 채널 필름 두께 컨트롤러 | |
진공 시스템 | 포어라인 펌프 | 바이폴라 로터리 베인 펌프 |
배기구 | KF16 | |
2차 펌프 | 터보분자 펌프 | |
배기구 | ISO160 | |
진공 측정 | 저항 + 이온화 복합 진공 게이지 | |
배기율 | 기계식 펌프 1.1L/s 분자펌프 600L/s | |
궁극의 진공 | 1.0E-5Pa | |
전원 공급 장치 | AC 220V 50/60Hz | |
펌핑 속도 | 로터리 베인 펌프: 1.1L/S | |
제어 시스템 | PLC 자동 제어 작동 인터페이스: 터치스크린 + 조작 패널 (터치스크린으로 증착공정 제어 빠른 데이터 입력; 사용자 친화적인 PLC 소프트웨어 시스템, 업데이트 가능 ~을 통해 회로망) | |
다른 | 공급 전압 | AC220V,50Hz |
전체 사이즈 | 1200mm X 900mm X 1650mm | |
총 전력 | 5kW | |
총 중량 | 500kg | |
고진공 열 증발 코터는 고진공 환경에서 열 증발 공정을 통해 기판에 박막을 증착하는 데 사용되는 장비입니다. 고진공 열 증발 코터의 주요 목적과 용도는 다음과 같습니다.
박막 증착: 고진공 열증착코터의 주요 목적은 금속, 반도체, 유전체 등 다양한 소재의 박막을 기판에 증착하는 것입니다. 이 공정에는 재료가 증발할 때까지 고진공에서 가열한 다음 기판에 응축되어 얇은 필름을 형성하는 과정이 포함됩니다.
마이크로 전자공학 및 반도체 제조: 열 증발은 반도체 산업에서 반도체 웨이퍼에 금속 접점, 접착층 및 기타 전도성 필름을 증착하는 데 사용됩니다. 이는 트랜지스터, 다이오드, 집적 회로와 같은 마이크로 전자 장치를 제조하는 데 핵심 기술입니다.
광학 코팅: 코터는 반사 방지 코팅, 빔 스플리터, 미러 등의 광학 코팅을 렌즈, 유리 및 기타 광학 부품에 적용하는 데 널리 사용됩니다. 고진공 환경은 코팅이 균일하고 순수하며 원하는 광학 특성을 갖도록 보장합니다.
금속 및 유전체 코팅: 고진공 열 증발은 반사 코팅, 커패시터 및 절연층을 포함한 다양한 응용 분야에 사용되는 금속 필름(예: 금, 은, 알루미늄)과 유전체 필름(예: 이산화규소, 이산화티타늄)을 증착하는 데 사용됩니다.
장식 코팅: 시계, 주얼리, 전자제품 케이스 등의 소비재에 금속박막을 증착하여 금속성 마감이나 심미성을 부여하는 장식용으로도 사용됩니다.
연구 및 개발: 연구실에서 열증착은 재료과학, 물리학, 나노기술 연구를 위한 박막을 준비하는 일반적인 방법입니다. 필름의 두께와 균일성을 제어할 수 있는 능력은 실험 연구 및 프로토타입 제작에 유용한 도구입니다.
유기 및 무기소자의 제조: 열증발은 유기발광다이오드(OLED), 박막트랜지스터(TFT) 및 기타 유기 전자제품의 제조에 사용됩니다. 이 기술은 태양전지나 센서 같은 무기박막 소자 생산에도 활용된다.
나노기술 응용: 나노 기술에서는 열 증발을 사용하여 나노 구조 및 나노 규모 장치 제작을 위한 박막을 증착합니다. 고진공 환경은 증착이 깨끗하고 정밀하다는 것을 보장하며 이는 나노 규모 응용 분야에 매우 중요합니다.
배리어 및 보호 코팅: 코터는 다양한 기판에 보호 및 차단 코팅을 적용하여 내구성, 내식성 및 기타 표면 특성을 향상시키는 데 사용할 수 있습니다. 이러한 코팅은 포장부터 항공우주까지 다양한 산업에서 사용됩니다.
전반적으로 고진공 열 증발 코터는 다양한 산업 및 연구 분야에서 중요한 역할을 하는 다목적 도구입니다. 두께를 정밀하게 제어하여 고순도의 균일한 박막을 증착하는 능력이 높이 평가되어 마이크로 전자공학, 광학, 재료 과학 등의 응용 분야에 필수적입니다.
