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반도체 다이오드에 금속 접점을 만들기 위한 레벨 샘플 스테이지가 있는 고진공 열 증발 코팅기 장비

고진공 열 증발 코팅기 장비는 다양한 전도성 필름, 반도체 필름, 강유전성 필름, 광학 필름, 마이크로 나노 장치 미세 가공, 전자 현미경 샘플 전처리 등을 준비하는 데 사용할 수 있습니다.
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이 장비는 텅스텐 바구니 증발 소스가 설치된 소형 데스크탑 증발 코터로 최대 100A 코팅 전류, 최대 증발 온도 1800℃를 제공할 수 있으며 다양한 일반 금속 및 부품의 증발을 충족할 수 있습니다. 비금속의.진공 챔버는 스테인리스 스틸로 제작되었으며 배송 전에 가스가 제거되었습니다.대부분의 재료 증발에 필요한 진공 환경을 충족할 수 있는 분자 펌프 그룹을 사용하여 5x10-5Pa의 한계 진공에 도달할 수 있습니다.동시에 장비는 높은 탱크 및 전기 리프팅 샘플 플랫폼의 설계를 채택하여 증발을 충족할 수 있습니다.  다양한 샘플 및 필름 재료 요구 사항;리프팅 메커니즘은 밀봉을 보장하는 조건에서 샘플 플랫폼의 리프팅 동작을 실현할 수 있는 용접 벨로우즈를 채택합니다.샘플 플랫폼의 리프팅 및 회전은 화면으로 제어할 수 있으며 작동이 간단하고 직관적이어서 실험실 사용에 매우 적합합니다.

고진공 열 증발 코팅기 장비는 다양한 전도성 필름, 반도체 필름, 강유전성 필름, 광학 필름, 마이크로 나노 장치 미세 가공, 전자 현미경 샘플 전처리 등을 준비하는 데 사용할 수 있습니다.

           안건

세부 사항

공급   전압

AC220V,60Hz

최고   힘

800W

견본   단계

지름   Ø50mm;

회전 가능,   5rpm;

그만큼   샘플 스테이지와 증발 소스 사이의 거리를 조정할 수 있습니다.   조정 범위 60mm-100mm

석영   방

외경Ø180mm   x I.D 166mm x 235mm

최고   온도

1700℃

열전대

S   유형 열전대, 작동 온도 200℃ ~ 1500℃

진공   계량기

전자   진공 게이지

진공   상호 작용

KF16

섭취   상호 작용

1/4NPS

진공   펌프

더블   스테이지 로터리 베인 진공 펌프


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