TN-1800X-TE3-SS
TN
본 장비는 3개의 증발원을 갖춘 고진공 코터입니다.장비는 넓은 챔버 공간과 강력한 확장성을 갖춘 전면 도어형 진공 챔버 설계를 채택하여 다중 스타일 및 대형 샘플의 증발 코팅을 충족할 수 있습니다.챔버에는 상부 시료 스테이지가 장착되어 있으며, 사용자의 시료 스타일에 따라 클램핑 또는 클램핑 시료 장착 부품을 선택할 수 있습니다.샘플 스테이지는 회전 가능하고 가열되며 모든 작업은 터치스크린을 통해 통합됩니다.장비의 진공 펌프 그룹은 양극 회전 날개 진공 펌프와 터보 분자 펌프로 구성된 2단계 진공 시스템으로, 진공 코팅 실험에 깨끗하고 오일이 없는 고진공 환경을 제공할 수 있습니다.진공 시스템에는 완전한 공압 밸브 시스템이 포함되어 있어 사용자는 터치 스크린을 통한 원버튼 작동으로 진공 추출, 논스톱 샘플링 및 완전한 종료와 같은 작업을 실현할 수 있습니다.
세부사항 소개:
이 장비에는 텅스텐 보트 증발원과 수냉식 구리 전극의 세 그룹의 증발원이 있으며 최대 전류 260A를 지원할 수 있고 가열 온도는 최대 1800℃에 도달할 수 있습니다.다양한 내화 금속의 증발을 실현할 수 있습니다.세 그룹은 독립적인 열 증발원이므로 도금 재료의 상호 오염을 일으키지 않습니다.장비는 통합 설계를 채택하고 캐비티와 전기 제어 부분이 왼쪽과 오른쪽으로 분리되어 물과 전기의 분리를 실현하고 사용자의 안전을 효과적으로 보장합니다.전자 제어 부분은 터치 스크린과 버튼 패널의 조합 디자인을 채택합니다.진공 시스템, 샘플 스테이지 등의 보조 기능은 터치스크린의 버튼 하나로 조작되며, 전원을 켜면 증발 및 막 두께 조절이 패널을 통해 독립적으로 조작되므로 사용자에게 최대한 편리함을 동시에 제공합니다.오용의 가능성을 피하십시오.완벽한 디자인과 우수한 성능을 갖춘 장비로, 실험실에서 고정밀 증발코팅 실험에 꼭 필요한 장비입니다.
적용 분야:
금속 및 유전체 필름
박막센서 제조
광학소자
나노 및 마이크로전자공학
태양전지
기술적인 매개변수:
세 가지 소스 고진공 증발 코팅기 | ||
샘플 스테이지 | 크기 | 최고 Φ150mm 샘플 지원 |
기능 | 회전 가능, 최대 500°C까지 가열 | |
증발 원천 | 수량 | 텅스텐 보트 x3 |
힘 | 각 증발 소스에는 독립 전원 공급 장치가 장착되어 있습니다.삼 증발 소스에는 총 3개의 독립적인 전원 공급 장치가 있습니다. | |
진공 챔버 | 캐비티 크기 | Φ300x400mm |
관찰 창문 | 전면 Φ100mm | |
공동 재료 | 304 스테인레스 강철 | |
개방형 방식 | 앞문 | |
필름 두께 제어(선택사항) | 크리스탈형 필름 두께 측정기, 다중 채널 필름 두께 옵션 제어 장치 | |
진공 시스템 | 포어라인 펌프 | 바이폴라 로터리 베인 펌프 |
배기구 | KF16 | |
2차 펌프 | 터보분자 펌프 | |
배기구 | CF160 | |
진공 측정 | 저항 + Ionization 합성물 진공 게이지 | |
배기율 | 기계 펌프 1.1L/s 분자펌프 600L/초 | |
궁극적인 진공 | 1.0E-5Pa | |
전원 공급 장치 | AC 220V 50/60Hz | |
펌핑 속도 | 로터리베인 펌프: 1.1L/S | |
제어 시스템 | PLC 자동 제어 작업 인터페이스: 터치스크린 + 조작 패널 (터치 스크린 증착 프로세스 및 빠른 데이터 입력을 제어합니다.사용자 친화적인 PLC 소프트웨어 시스템, 네트워크를 통해 업데이트 가능) | |
다른 | 전원 전압 | AC380V,50Hz |
전체 크기 | 1000mm X 800mm X 1500mm | |
총 전력 | 5kW | |
총 무게 | 350kg | |
본 장비는 3개의 증발원을 갖춘 고진공 코터입니다.장비는 넓은 챔버 공간과 강력한 확장성을 갖춘 전면 도어형 진공 챔버 설계를 채택하여 다중 스타일 및 대형 샘플의 증발 코팅을 충족할 수 있습니다.챔버에는 상부 시료 스테이지가 장착되어 있으며, 사용자의 시료 스타일에 따라 클램핑 또는 클램핑 시료 장착 부품을 선택할 수 있습니다.샘플 스테이지는 회전 가능하고 가열되며 모든 작업은 터치스크린을 통해 통합됩니다.장비의 진공 펌프 그룹은 양극 회전 날개 진공 펌프와 터보 분자 펌프로 구성된 2단계 진공 시스템으로, 진공 코팅 실험에 깨끗하고 오일이 없는 고진공 환경을 제공할 수 있습니다.진공 시스템에는 완전한 공압 밸브 시스템이 포함되어 있어 사용자는 터치 스크린을 통한 원버튼 작동으로 진공 추출, 논스톱 샘플링 및 완전한 종료와 같은 작업을 실현할 수 있습니다.
세부사항 소개:
이 장비에는 텅스텐 보트 증발원과 수냉식 구리 전극의 세 그룹의 증발원이 있으며 최대 전류 260A를 지원할 수 있고 가열 온도는 최대 1800℃에 도달할 수 있습니다.다양한 내화 금속의 증발을 실현할 수 있습니다.세 그룹은 독립적인 열 증발원이므로 도금 재료의 상호 오염을 일으키지 않습니다.장비는 통합 설계를 채택하고 캐비티와 전기 제어 부분이 왼쪽과 오른쪽으로 분리되어 물과 전기의 분리를 실현하고 사용자의 안전을 효과적으로 보장합니다.전자 제어 부분은 터치 스크린과 버튼 패널의 조합 디자인을 채택합니다.진공 시스템, 샘플 스테이지 등의 보조 기능은 터치스크린의 버튼 하나로 조작되며, 전원을 켜면 증발 및 막 두께 조절이 패널을 통해 독립적으로 조작되므로 사용자에게 최대한 편리함을 동시에 제공합니다.오용의 가능성을 피하십시오.완벽한 디자인과 우수한 성능을 갖춘 장비로, 실험실에서 고정밀 증발코팅 실험에 꼭 필요한 장비입니다.
적용 분야:
금속 및 유전체 필름
박막센서 제조
광학소자
나노 및 마이크로전자공학
태양전지
기술적인 매개변수:
세 가지 소스 고진공 증발 코팅기 | ||
샘플 스테이지 | 크기 | 최고 Φ150mm 샘플 지원 |
기능 | 회전 가능, 최대 500°C까지 가열 | |
증발 원천 | 수량 | 텅스텐 보트 x3 |
힘 | 각 증발 소스에는 독립 전원 공급 장치가 장착되어 있습니다.삼 증발 소스에는 총 3개의 독립적인 전원 공급 장치가 있습니다. | |
진공 챔버 | 캐비티 크기 | Φ300x400mm |
관찰 창문 | 전면 Φ100mm | |
공동 재료 | 304 스테인레스 강철 | |
개방형 방식 | 앞문 | |
필름 두께 제어(선택사항) | 크리스탈형 필름 두께 측정기, 다중 채널 필름 두께 옵션 제어 장치 | |
진공 시스템 | 포어라인 펌프 | 바이폴라 로터리 베인 펌프 |
배기구 | KF16 | |
2차 펌프 | 터보분자 펌프 | |
배기구 | CF160 | |
진공 측정 | 저항 + Ionization 합성물 진공 게이지 | |
배기율 | 기계 펌프 1.1L/s 분자펌프 600L/초 | |
궁극적인 진공 | 1.0E-5Pa | |
전원 공급 장치 | AC 220V 50/60Hz | |
펌핑 속도 | 로터리베인 펌프: 1.1L/S | |
제어 시스템 | PLC 자동 제어 작업 인터페이스: 터치스크린 + 조작 패널 (터치 스크린 증착 프로세스 및 빠른 데이터 입력을 제어합니다.사용자 친화적인 PLC 소프트웨어 시스템, 네트워크를 통해 업데이트 가능) | |
다른 | 전원 전압 | AC380V,50Hz |
전체 크기 | 1000mm X 800mm X 1500mm | |
총 전력 | 5kW | |
총 무게 | 350kg | |
