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반도체 필름용 4개의 가열원을 갖춘 다중 증발원 고진공 증발 코팅기 장비

다중 증발원 고진공 증발 코팅기 주로 다양한 전도성 필름, 반도체 필름, 강유전성 필름, 광학 필름, 마이크로 나노 장치 미세 가공, 전자 현미경 샘플 전처리 등의 제조에 사용되는 장비입니다.

접점용 Ti 및 Au 증착을 위한 다중 증발 소스 고진공 증발 코팅기를 소개합니다.이 최첨단 장비는 증착 공정에서 탁월한 성능과 정밀도를 제공하도록 설계되었습니다.

당사의 고진공 증발 코팅기는 주로 금속/유기 소스 증발에 초점을 맞춘 최신 기술로 제작되었습니다.이는 금속 원소, 산화물, 유전체 및 반도체 필름의 준비를 포함한 다양한 응용 분야에 이상적인 선택입니다.

고급 기능과 기능을 갖춘 이 코터는 고진공 환경을 보장하여 접점용 티타늄(Ti)과 금(Au)을 정밀하고 제어된 증착이 가능합니다.그 결과 전자 장치 및 기타 관련 산업에서 최적의 성능을 달성하는 데 필수적인 균일하고 안정적인 코팅이 탄생합니다.

이 전문가급 장비는 연구실, 대학, 산업 시설의 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다.견고한 구조로 인해 내구성과 수명이 보장되며 수년간 신뢰할 수 있는 서비스를 보장합니다.

또한 당사의 다중 증발 소스 고진공 증발 코팅기는 사용자 친화적인 제어와 직관적인 인터페이스를 자랑하므로 작업자가 쉽게 매개변수를 설정하고 증착 프로세스를 모니터링할 수 있습니다.이를 통해 생산성과 효율성이 향상되고 귀중한 시간과 자원이 절약됩니다.

뛰어난 성능 외에도 이 코터는 최고의 안전 표준을 준수하여 전체 증착 공정에서 작업자에게 안전한 환경을 제공합니다.

접점용 Ti 및 Au 증착을 위한 다중 증발 소스 고진공 증발 코팅기에 투자하고 박막 증착의 정밀도와 신뢰성의 정점을 경험해 보세요.최고의 효율성과 정확성으로 귀하의 연구 및 생산 요구 사항을 충족할 수 있는 당사의 전문가급 장비를 믿으십시오.

기술적인 매개변수:

견본 단계	크기	맥스 Φ150mm 샘플 지원	키	Adjustable 상하 70mm
증발 원천	수량	텅스텐 보트×2
진공 방	방 크기	다이아. 300mm X 400mm	관찰 창문	앞쪽 Φ100mm(차광 시트 포함)
진공 방	방 재료	304 스테인레스 스틸	열리는 방법	앞쪽 문 열림
영화 두께 조절	결정 진동 필름 두께 측정기, 다중 채널 필름 옵션 두께 컨트롤러
진공 체계	역행 펌프	듀얼 스테이지 로터리 베인 펌프	펌핑 포트	KF16
	중고등 학년 펌프	터보 분자 펌프	펌핑 포트	CF160
	진공 측정	저항 + 이온화 화합물 진공 게이지	배기가스 비율	기계 펌프 1.1L/초 분자 펌프 600L / 초
	궁극적인 진공	1.0E-5Pa	힘 공급	AC 220V 50/60Hz
	펌핑 비율	로타리 베인 펌프: 1.1L / S
유량계	하나 웨이 질량 유량계 500sccm Ar 가스
제어 체계	PLC 자동 제어 작업 인터페이스: 터치스크린 + 조작 패널
다른	공급 전압	AC380V,50Hz	기계 크기	1000mm x 800mm x 1500mm
다른	총 힘	5kW	기계 무게	350kg