TN
이 장비는 고진공 증발 코팅 장비, 증발 소스로 사용되는 텅스텐 와이어 바구니 (또는 텅스텐 보트)이며 샘플 테이블과 증발 소스 사이의 거리가 조정 가능합니다.이 장비는 금속과 특정 유기물을 꾸준히 증발시킬 수 있습니다.고진공 스테인레스 스틸 챔버, 우수한 밀봉 성능, 우수한 진공 성능.챔버에는 코팅 공정을 볼 수 있도록 관찰창이 장착되어 있습니다.분자 펌프 시스템의 최대 진공 10E-4Pa는 코팅 품질을 효과적으로 향상시키고 대부분의 증발 코팅 실험에 필요한 진공 환경을 충족시킬 수 있습니다.
고진공 열 증발 코팅 장비는 다음을 사용합니다.
코일 증발 코터는 다양한 종류의 재료, 대부분의 금속 및 금속, 반도체, 산화물 등과 같은 일부 유기 재료 필름의 필름 성장에 사용할 수 있습니다.
고진공 열 증발 코팅 장비 기술 매개변수:
전원 전압 | 단상, AC220V, 50Hz |
내벽 처리 | 전해연마 |
캐비티 재료 | 304 스테인레스 스틸 |
캐비티 크기 | 수평 Φ600mm x 500mm |
투시창 | 차광판 포함 전면 ø100mm |
개방 모드 | 현관문형 |
되감기 | Φ200mmx300mm |
속도 | 60m/분(조정가능) |
긴장 | Adjustable |
부품수 | 금속 증발원 1세트 독립 배플 |
전극 전압 | 10V |
와이어 이송 속도 | ≤3m/분 |
증발 전류 | 전력은 2KW, 최대 전류는 160A, 조정 정확도는 1A입니다. |
증발기 | 텅스텐 보트, 1개 |
프론트 펌프 | 양극 회전 날개 펌프, 펌핑 속도 1.1L/s |
터보분자 펌프 | 펌핑 속도: 600L/s; 정격 속도: 24000rpm; 시작 시간: ≤4.5min 냉각 모드: 수냉 + 공냉 흡기 인터페이스: ISO150 공기 출구 인터페이스: KF40 진공: 5.0*10-4Pa(5.0*10-6mbar) 40분 이내에 5.0×10-3 Pa(5.0*10-5mbar)까지 진공 청소기로 청소 |
복합 진공 게이지 | 측정 범위는 105Pa~10-5Pa입니다. |
측정 정확도 | 0.1Å |
측정된 속도 | 100ms-1s/시간 |
측정 범위 설정 가능 | 500000Å(알루미늄) |
표준 센서 크리스탈 | 6MHz |
적용 가능한 결정 크기 | Φ14mm(10개 기준) |
공기 압축기 | 전자 제어식 공압 밸브에 작용 |
워터 쿨러 | 냉각수 온도: ≤37℃ 유량: 10L/분 힘: 0.1KW 냉각력: 50W/C 탱크 용량: 9L |
제어 시스템 | PLC 자동 제어 작동 인터페이스: 터치스크린 + 조작 패널 |
이 장비는 고진공 증발 코팅 장비, 증발 소스로 사용되는 텅스텐 와이어 바구니 (또는 텅스텐 보트)이며 샘플 테이블과 증발 소스 사이의 거리가 조정 가능합니다.이 장비는 금속과 특정 유기물을 꾸준히 증발시킬 수 있습니다.고진공 스테인레스 스틸 챔버, 우수한 밀봉 성능, 우수한 진공 성능.챔버에는 코팅 공정을 볼 수 있도록 관찰창이 장착되어 있습니다.분자 펌프 시스템의 최대 진공 10E-4Pa는 코팅 품질을 효과적으로 향상시키고 대부분의 증발 코팅 실험에 필요한 진공 환경을 충족시킬 수 있습니다.
고진공 열 증발 코팅 장비는 다음을 사용합니다.
코일 증발 코터는 다양한 종류의 재료, 대부분의 금속 및 금속, 반도체, 산화물 등과 같은 일부 유기 재료 필름의 필름 성장에 사용할 수 있습니다.
고진공 열 증발 코팅 장비 기술 매개변수:
전원 전압 | 단상, AC220V, 50Hz |
내벽 처리 | 전해연마 |
캐비티 재료 | 304 스테인레스 스틸 |
캐비티 크기 | 수평 Φ600mm x 500mm |
투시창 | 차광판 포함 전면 ø100mm |
개방 모드 | 현관문형 |
되감기 | Φ200mmx300mm |
속도 | 60m/분(조정가능) |
긴장 | Adjustable |
부품수 | 금속 증발원 1세트 독립 배플 |
전극 전압 | 10V |
와이어 이송 속도 | ≤3m/분 |
증발 전류 | 전력은 2KW, 최대 전류는 160A, 조정 정확도는 1A입니다. |
증발기 | 텅스텐 보트, 1개 |
프론트 펌프 | 양극 회전 날개 펌프, 펌핑 속도 1.1L/s |
터보분자 펌프 | 펌핑 속도: 600L/s; 정격 속도: 24000rpm; 시작 시간: ≤4.5min 냉각 모드: 수냉 + 공냉 흡기 인터페이스: ISO150 공기 출구 인터페이스: KF40 진공: 5.0*10-4Pa(5.0*10-6mbar) 40분 이내에 5.0×10-3 Pa(5.0*10-5mbar)까지 진공 청소기로 청소 |
복합 진공 게이지 | 측정 범위는 105Pa~10-5Pa입니다. |
측정 정확도 | 0.1Å |
측정된 속도 | 100ms-1s/시간 |
측정 범위 설정 가능 | 500000Å(알루미늄) |
표준 센서 크리스탈 | 6MHz |
적용 가능한 결정 크기 | Φ14mm(10개 기준) |
공기 압축기 | 전자 제어식 공압 밸브에 작용 |
워터 쿨러 | 냉각수 온도: ≤37℃ 유량: 10L/분 힘: 0.1KW 냉각력: 50W/C 탱크 용량: 9L |
제어 시스템 | PLC 자동 제어 작동 인터페이스: 터치스크린 + 조작 패널 |
