순도 석영 챔버가 있는 글러브 박스형 소형 열 증발 코팅기

제품   모델

TN-EVP180G-1S-G(G   글러브 박스를 의미합니다)

설치 조건

1、일하다   환경 온도: 25℃±15℃, 습도: 55%Rh±10%Rh;

2, 장비   전원 공급 장치: AC220V,50Hz,   접지가 잘 되어 있어야 합니다.

3, 등급   전력 : 1200w;

4、장비   가스용: 장비 챔버는 아르곤으로 채워져야 합니다.   청소용 가스.고객은 순도 ≥99.99%의 아르곤 가스를 준비해야 합니다.

5, 테이블   크기 요구 사항: 580mm×250mm×330mm, 베어링   용량 ≥ 30kg;

6、   통풍이 잘되고 냉각되어야 합니다.

기술 지표

1, 증발원   전압: 10V

2, 증발 전류   0에서 100A까지 지속적으로 조정 가능

3, 텅스텐 보트를 사용하면   텅스텐 바구니;

4、  스테인레스 스틸   샘플 테이블, 직경 60mm;

5、  거리   샘플 플랫폼과 증발 소스 사이는 20에서 조정 가능   55mm까지;

6, 진공 캐비티는   직경 180mm, 높이 100mm의 석영 캐비티;

7, 공기 펌핑 인터페이스   진공 챔버의 KF16입니다

8、 공기 흡입구 인터페이스는 다음과 같습니다.   1/4인치 이중 페럴 조인트

9, 터치스크린은 7인치입니다.   컬러 터치 스크린

10、 조정 가능한 스퍼터링   전류, 스퍼터링   안전 전류 값과 안전 진공 값을 설정할 수 있습니다.

11、  안전 보호:   과전류, 진공이 너무 낮으면 자동으로 스퍼터링 전류가 차단됩니다.

12, 궁극적인 진공: 5E-4Pa (일치   분자 펌프);

13, 진공 측정은 다음과 같습니다.   파라나 진공 게이지,   범위는 1~10⁵아빠

알아채다

1. 재료의 경우   산소에 민감하므로 분자 펌프 그룹을 추가하는 것이 좋습니다.

2、목표를 달성하기 위해   산소가 없는 환경에서는 진공 챔버를 최소 3회 이상 청소해야 합니다.   고순도 불활성 가스로 시간을 절약하십시오.

선택 과목   부속물

영화

두께   감시 장치

1, 필름 두께   분해능: 0.0136Å(알루미늄)

2、필름의 정확성   두께 : ±0.5%, 공정 조건, 특히 센서에 따라 다릅니다.   위치, 재료 응력, 온도 및 밀도  

3, 측정 속도: 회당 100ms ~ 1s, 측정 범위 설정 가능: 500000Å(알루미늄)

4, 표준 센서   크리스탈: 6MHz

5, 적합   웨이퍼 주파수: 6MHz

웨이퍼 크기에 적합: Φ14mm

장착 플랜지: CF35

또 다른 액세서리

1, 텅스텐 보트, 텅스텐   바구니;

2, 유기 증발   소스 (석영 보트 및 텅스텐 와이어 가열 소스 포함)

3, TN-CZK103 시리즈 높이   고성능 분자 펌프 세트(복합 진공 게이지 포함, 측정   범위 10-5Pa~105Pa);

TN-GZK60 시리즈 소분자 펌프 세트(포함   복합 진공 게이지, 측정 범위 10-5Pa~102Pa)

VRD-4 바이폴라 로터리 베인   진공 펌프

4、KF40   진공 벨로우즈;길이는 0.5m, 1m 또는 1.5m일 수 있습니다.KF40 클램프 브래킷;

5、영화   두께 측정기 수정 발진기;