페로브스카이트 태양전지의 금속 증착을 위한 수냉식 샘플 테이블을 갖춘 데스크탑 열 증발 코팅기

제품   모델

TN-EVP195S-2S-WT(T   높은 탱크를 의미하고, W는 수냉식 샘플 테이블을 의미합니다)

설치   Condition

1、일하다   환경 온도: 25℃±15℃, 습도: 55%Rh±10%Rh;

2, 장비   전원 공급 장치: AC220V,50Hz,   접지가 잘 되어 있어야 합니다.

3, 등급   전력 : 2500w;

4、장비   가스용: 장비 챔버는 아르곤으로 채워져야 합니다.   청소용 가스.고객은 순도 ≥99.99%의 아르곤 가스를 준비해야 합니다.

5, 테이블   크기 요구 사항: 600mm×600mm×700mm, 베어링   용량 ≥ 70kg;

6、   통풍이 잘되고 냉각되어야 합니다.

인위적인   지표

1,  숫자   증발 소스: 2, 각 증발 소스에는 배플이 장착되어 있습니다.

2, 증발   소스 전압: 10V

3、   증발 전류는 0에서 100A까지 지속적으로 조정 가능합니다.

4、와 함께   두 개의 텅스텐 보트, 두 개의 텅스텐 바구니;

5, 스테인레스   강철 수냉식 회전 상부 샘플 플랫폼, 직경은 100mm,   회전 속도 1~20rpm 지속적으로 조정 가능;

6、   샘플 플랫폼과 증발 소스 사이의 거리는 300mm입니다.

7、   샘플 테이블의 수냉식 인터페이스는 ø6mm 퀵 플러그 커넥터입니다.   순환수 냉각기를 장착해야 합니다.

8、   진공 캐비티는 외부 직경이 195mm인 스테인레스 스틸 캐비티입니다.    내경 185mm, 높이   350mm;

9, 석영   배플이 있는 관찰 창, 크기: 60mm

10、   진공 챔버의 공기 펌핑 인터페이스는 KF40입니다.

11、 공기   흡기 인터페이스는 1/4 인치 이중 페럴 조인트, 스테인레스 스틸 미세 조정입니다.   공기 흡입량을 조정하기 위해 기본적으로 밸브가 제공됩니다.

12、 터치   화면은 7인치 컬러 터치스크린입니다.

13, 조정 가능   스퍼터링 전류, 스퍼터링 안전 전류 값 및 안전 진공   값을 설정할 수 있습니다.

14、  안전   보호: 과전류, 진공이 너무 낮으면 자동으로 차단됩니다.   스퍼터링 전류;

15、 궁극   진공 : 1Pa (2단 로터리 베인 펌프와 일치);

16、 진공   측정은 파라나 진공 게이지, 범위입니다.   는 : 1~105Pa

알아채다

1、 에   캐비티의 진공 성능을 최대한 발휘하기 위해서는   분자 펌프 그룹과 함께 사용하는 것이 좋습니다.

2、 그것   CW3000 워터 쿨러 또는 더 나은 순환 워터 쿨러를 구입하는 것이 좋습니다.

선택 과목   부속물

영화

두께 모니터

1、영화   두께 분해능: 0.0136Å(알루미늄)

2, 정확성   필름 두께 : ± 0.5 %, 공정 조건, 특히 센서에 따라 다릅니다.   위치, 재료 응력, 온도 및 밀도  

3、측정   속도 : 회당 100ms ~ 1s, 측정   범위 설정 가능 : 500000Å(알루미늄)

4、표준   센서 크리스탈: 6MHz

5, 적합   웨이퍼 주파수: 6MHz

적합한   웨이퍼 크기: Φ14mm

설치   플랜지 : CF35

또 다른   부속물

1. 텅스텐   보트, 텅스텐 바구니;

2、 유기농   증발원(석영보트, 텅스텐선 가열원 포함)

3、   증발 소스의 수는 1~2 그룹으로 선택될 수 있습니다.

4, CY-CZK103   시리즈 고성능 분자 펌프 세트(복합 진공 게이지 포함,   측정 범위 10-5Pa~105Pa);

CY-GZK60 시리즈 소분자 펌프 세트(포함   복합 진공 게이지, 측정 범위 10-5Pa~102Pa)

VRD-4   양극 회전 날개 진공 펌프;

5, CW3000   순환수 냉각기(공냉식, 분당 유량 10L)

6, KF40   진공 벨로우즈;길이는 0.5m, 1m 또는 1.5m일 수 있습니다.KF40 클램프 브래킷;

7、 영화   두께 측정기 수정 발진기;