반도체 필름용 스테인레스 스틸 캐비티가 있는 데스크탑 열 증발 코팅기

제품 모델

TN-EVP170S-1S-A

설치   Condition

1、작업환경   온도: 25℃±15℃, 습도: 55%Rh±10%Rh;

2, 장비 전원 공급 장치: AC220V,50Hz, 접지가 잘 되어 있어야 합니다.

3, 정격 출력: 1200w;

4, 가스 장비 : 장비 챔버   청소를 위해 아르곤 가스를 채워야 합니다.고객이 준비해야 합니다.   순도 ≥99.99%의 아르곤 가스.

·              5, 테이블   크기 요구 사항: 600mm×600mm×700mm, 베어링   용량 ≥ 50kg

·           ；

6、위치는 다음과 같아야 한다   통풍이 잘되고 냉각됩니다.

인위적인   지표

1, 증발원   전압: 10V

2, 증발 전류   0에서 100A까지 지속적으로 조정 가능

3, 텅스텐 보트를 사용하면   텅스텐 바구니;

4, 스테인레스 스틸 샘플   테이블, 직경 60mm;

5、  거리   샘플 플랫폼과 증발 소스 사이는 60에서 조정 가능   100mm까지;

6, 진공 캐비티는   외경 170mm의 스테인레스 스틸 캐비티,  내경 160mm, 높이   210mm;

7, 그것은 갖추고 있습니다   배플이 있는 석영 관찰 창, 크기는 Φ60mm

8, 공기 펌핑 인터페이스   진공 챔버는 KF40입니다.

9, 공기 흡입구 인터페이스는 다음과 같습니다.   1/4인치 이중 페룰 조인트;

10、 터치스크린은 7인치입니다.   컬러 터치스크린;

11, 조정 가능한 스퍼터링   전류, 스퍼터링   안전 전류 값과 안전 진공 값을 설정할 수 있습니다.

12、  안전 보호:   과전류, 진공이 너무 낮으면 스퍼터링 전류가 자동으로 차단됩니다.

13, 최종 진공: 1Pa(이중 스테이지 일치)   회전 날개 펌프);

14, 진공 측정은 다음과 같습니다.   파라나 진공 게이지,   범위는 1~105Pa입니다.

알아채다

1. 온전하게 드리기 위해   캐비티의 진공 성능에 영향을 미치므로 사용하는 것이 좋습니다.   분자 펌프 그룹으로.

옵션 액세서리

영화  

두께 모니터

1, 필름 두께 분해능: 0.0136Å(알루미늄)

2、필름의 정확성   두께 : ±0.5%, 공정에 따라 다름   조건, 특히 센서 위치, 재료 응력, 온도 및   밀도  

3, 측정 속도: 회당 100ms ~ 1s, 측정 범위는 다음과 같습니다.   세트 : 500000Å(알루미늄)

4, 표준 센서 크리스탈: 6MHz

5, 웨이퍼에 적합   주파수 : 6MHz  

웨이퍼 크기에 적합: Φ14mm

설치   플랜지 : CF35

또 다른   부속물

1, 텅스텐 보트, 텅스텐   바구니;

2, 유기 증발   소스 (석영 보트 및 텅스텐 와이어 가열 소스 포함)

3, CY-CZK103 시리즈 높이   고성능 분자 펌프 세트(복합 진공 게이지 포함, 측정   범위 10-5Pa~105Pa);

CY-GZK60 시리즈 소분자 펌프 세트(포함   복합 진공 게이지, 측정 범위 10-5Pa~102Pa)

VRD-4 바이폴라 로터리 베인   진공 펌프

4, KF40 진공 벨로우즈;그만큼   길이는 0.5m, 1m 또는 1.5m일 수 있습니다.KF40 클램프 브래킷;

5, 필름 두께 측정기   수정 발진기;