다양한 전도성 필름을 준비하기 위한 석영 캐비티가 있는 데스크탑 열 증발 코팅기

제품 모델

TN-EVP180G-1S-A

설치 조건

1、일하다   환경 온도: 25℃±15℃, 습도: 55%Rh±10%Rh;

2, 장비 전력   공급: AC220V, 50Hz, 접지가 잘 되어 있어야 합니다.

3, 정격 출력: 1200w;

4、장비   가스 : 장비   챔버는 청소를 위해 아르곤 가스로 채워져야 합니다.고객은   순도 ≥99.99%의 아르곤 가스를 준비합니다.

5, 테이블 크기   요구 사항: 600mm×600mm×700mm, 지지력 ≥ 50kg;

6、위치   통풍이 잘되고 냉각되어야 합니다.

기술 지표

1, 증발 소스 전압: 10V

2, 증발 전류는 지속적으로 조정 가능합니다.   0에서 100A까지

3, 텅스텐 보트, 텅스텐 바구니;

4、  스테인레스 스틸 회전 상부 샘플 테이블,   직경 60mm;

5、  샘플 플랫폼과 사이의 거리   증발 소스는 60에서 100mm까지 조정 가능합니다.

6, 진공 캐비티는 직경이 있는 석영 캐비티입니다.   180mm, 높이 200mm;

7, 진공 챔버의 공기 펌핑 인터페이스는 다음과 같습니다.   KF25

8, 공기 흡입구 인터페이스는 1/4인치 이중 페룰입니다.   관절

9, 터치 스크린은 7인치 컬러 터치 스크린입니다.

10, 조정 가능한 스퍼터링 전류, 스퍼터링 안전 전류 값 및 안전 진공   값을 설정할 수 있습니다.

11、  안전 보호: 과전류, 진공도   낮은 자동으로 스퍼터링 전류를 차단

12, 최종 진공: 5E-4Pa(일치하는 분자 펌프);

13, 진공 측정은 파라나 진공 게이지이며, 범위는 1~105Pa입니다.

알아채다

1. 재료의 경우   산소에 민감하므로 분자 펌프 그룹을 추가하는 것이 좋습니다.

2、목표를 달성하기 위해   산소가 없는 환경에서는 진공 챔버를 최소 3회 이상 청소해야 합니다.   고순도 불활성 가스로 시간을 절약하십시오.

선택 과목   부속물

영화

두께   감시 장치

1, 필름 두께 분해능: 0.0136Å(알루미늄)

2、필름의 정확성   두께 : ± 0.5 %, 공정에 따라 다름   조건, 특히 센서 위치, 재료 응력, 온도 및   밀도  

3, 측정 속도: 회당 100ms ~ 1s, 측정 범위는 다음과 같습니다.   세트 : 500000Å(알루미늄)

4, 표준 센서 크리스탈: 6MHz

5, 웨이퍼에 적합   주파수 : 6MHz  

웨이퍼 크기에 적합: Φ14mm

장착 플랜지: CF35

또 다른 액세서리

1, 텅스텐 보트, 텅스텐   바구니;

2, 유기 증발   소스 (석영 보트 및 텅스텐 와이어 가열 소스 포함)

3, CY-CZK103 시리즈 높이   고성능 분자 펌프 세트(복합 진공 게이지 포함, 측정   범위 10-5Pa~105Pa);

CY-GZK60 시리즈 소분자 펌프 세트(포함   복합 진공 게이지, 측정 범위 10-5Pa~102Pa)

VRD-4 바이폴라 로터리 베인   진공 펌프

4, KF25 진공 벨로우즈;그만큼   길이는 0.5m, 1m 또는 1.5m일 수 있습니다.KF25 클램프 브래킷;

5, 필름 두께 측정기   수정 발진기;