TN-VPC-300
TN
PECVD(Perelin True Air Phase Deposition)는 표면에 박막을 준비하기 위해 일반적으로 사용되는 박막 증착 기술입니다. 재료.기상화학반응을 이용하여 진공환경에서 박막을 증착하는 공정이다.Perelin 진정한 공기상 증착에서는 가스 간섭이 없는지 확인하기 위해 먼저 진공 환경을 구축해야 합니다. 침적. 그 다음에, ~에 의해 소개 그만큼 가스 로 반응 방, 그것 반응하다 표면과 함께 증착되어 필름을 형성합니다.
Perelin 진정한 공기상 증착은 실리콘과 같은 다양한 유형의 필름을 준비하는 데 사용할 수 있습니다. 질화물, 규소 산화물, 알류미늄 질화물, 등. 그것 가지다 a 넓은 범위 ~의 애플리케이션 반도체, 광전자 공학, 디스플레이 장치 및 기타 분야에서 박막 저항기, 광학 코팅, 단열재 등을 제조하는 데 사용할 수 있습니다.
피렐린 트루 공기 단계 침적 가지다 일부 장점, 그런 ~처럼 빠른 침적 속도, 좋은 증착 균일하고 강함 제어 가능성. 하지만, 그것 또한 가지다 일부 대면적의 박막을 증착할 수 없고 고진공 환경이 필요하다는 등의 한계가 있습니다.
전반적인, 페렐린 트루에어 위상 증착은 중요한 영화 준비 기술 다양한 용도에 고품질의 필름 소재를 제공할 수 있는 제품입니다.
Perelin 진정한 공기 증착 장비의 매개변수
장치 이름 | Perelin 진정한 공기상 증착 장비 | |||
제품 모델 | TN-VPC-300 | |||
일하다 환경 | 전원 공급 장치: 380V 5선 4각형 케이블, 최대 전력 10KW | |||
주위 온도: 0-40℃ | ||||
주변 습도: < 90% | ||||
크기 | 그만큼 모습 크기 ~이다 1580*880*1550mm, 커버 안 영역 ~의 ~에 대한 1.5제곱미터 미터, 그리고 거기 ~해야 한다 BE 더 ~보다 50cm 운영 중 설치 주변 공간 | |||
가열부 | 승화 영역 | 원료통: Ø69*200mm 용량 : 300g | ||
증발 온도: 실온 200℃ | ||||
온도편차 : ±2℃ | ||||
열분해 존 | 부수는 온도: 650-700℃ 온도 안정성: ±2℃ | |||
단열재 영역 | 가열 온도 < 300 . 씨 | |||
제어 시스템 | 브랜딩 | PLC 제어 시스템 | ||
프로그램 | 거기 ~이다 둘 부속 ~을 위한 자동적 인 침적 체계 및 수동 증착 시스템 | |||
표시하다 | 디스플레이 크기: 12 '터치 컬러 스크린 | |||
퇴적 체계 | 진공 기판 | 1, 사이즈 Φ300xH400, 304 스테인레스 스틸 | ||
방 | 28L | |||
용량 | ||||
관찰 창문 | 투시창 1개 쉽게 관찰할 수 있도록 ~의 상태 에 있는 제품의 증착 챔버 | |||
회전 부분 | 모터 속도 조절 가능 1-10 RPM | |||
진공 시스템 | 진공펌프 | |||
진공게이지 | ||||
냉각 체계 | 보냉 TH-95-15 -G(냄비형), 냉장 온도 ≤90 。 C 30분 이내 ~ 후에 시작 냉각 ~할 수 있다 BE ~에서 방 온도 -70까지 . 씨 | |||
커플 링 에이전트 증발 장치 | 페렐린의 접착력 향상 코팅할 기판 표면에 코팅 | |||
기본 부속 ~의 장비 | 1, 증발 시스템: 증발 챔버, 전력 n 열 장치, 온도 센서 2, 크래킹 시스템: 크래킹 챔버, 전기 열 장치, 온도 센서 3, 증착 시스템: 증착 챔버, 진공 센서, 샘플 랙 4, 진공 시스템: 진공 펌프, 진공 게이지 5, 응축 시스템: 냄비 유형 콜드 트랩 6, 장비 호스트: 장비 쉘, 제어 회로, 진공관 7, 석영관: 1 | |||
퇴적성 원료 유형 | 파릴렌 C, N, F, D | |||
장비 특징 | 1, 그만큼 가스화 난방 ~할 수 있다 BE 움직이는, 적합한 ~을 위한 지속적인 생산, 그런 ~처럼 갑자기 힘 failure 그리고 다른 예상치 못한 상황은 언제든지 제거되어 제품을 보장할 수 있습니다. 안전. 2, 가스화 부분은 투명하다. 할 수 있는 유리관 언제든지 볼 수 있다 시간은, 최고를 만나기 위하여 저온 생산을 유지할 수 있습니다 코팅 요구 사항. 3, 가스화 이동 가능, 보내는 것이다 특허 설정, 보장할 수 있습니다 특허 충돌 없음, 생산 안전. 4. 그만큼 특별한 설계 ~의 그만큼 내부 회전 액자 ~의 그만큼 공동 효과적으로 나쁜 수를 줄일 수 있습니다 포인트들. 5. 시각적이고 인간화된 인터페이스, 간편함 작동을 이해합니다.6, 유리관은 가열을 크게 줄일 수 있으며 냉각 시간. 7. 단열부분이 최적화되어 있어 페렐린은 유리관 내벽에 쉽게 침전되지 않는다는 점, 오랫동안 유지될 수 있는 것 긴 시간과 유지 보수 시간을 줄입니다. | |||
PECVD(Perelin True Air Phase Deposition)는 표면에 박막을 준비하기 위해 일반적으로 사용되는 박막 증착 기술입니다. 재료.기상화학반응을 이용하여 진공환경에서 박막을 증착하는 공정이다.Perelin 진정한 공기상 증착에서는 가스 간섭이 없는지 확인하기 위해 먼저 진공 환경을 구축해야 합니다. 침적. 그 다음에, ~에 의해 소개 그만큼 가스 로 반응 방, 그것 반응하다 표면과 함께 증착되어 필름을 형성합니다.
Perelin 진정한 공기상 증착은 실리콘과 같은 다양한 유형의 필름을 준비하는 데 사용할 수 있습니다. 질화물, 규소 산화물, 알류미늄 질화물, 등. 그것 가지다 a 넓은 범위 ~의 애플리케이션 반도체, 광전자 공학, 디스플레이 장치 및 기타 분야에서 박막 저항기, 광학 코팅, 단열재 등을 제조하는 데 사용할 수 있습니다.
피렐린 트루 공기 단계 침적 가지다 일부 장점, 그런 ~처럼 빠른 침적 속도, 좋은 증착 균일하고 강함 제어 가능성. 하지만, 그것 또한 가지다 일부 대면적의 박막을 증착할 수 없고 고진공 환경이 필요하다는 등의 한계가 있습니다.
전반적인, 페렐린 트루에어 위상 증착은 중요한 영화 준비 기술 다양한 용도에 고품질의 필름 소재를 제공할 수 있는 제품입니다.
Perelin 진정한 공기 증착 장비의 매개변수
장치 이름 | Perelin 진정한 공기상 증착 장비 | |||
제품 모델 | TN-VPC-300 | |||
일하다 환경 | 전원 공급 장치: 380V 5선 4각형 케이블, 최대 전력 10KW | |||
주위 온도: 0-40℃ | ||||
주변 습도: < 90% | ||||
크기 | 그만큼 모습 크기 ~이다 1580*880*1550mm, 커버 안 영역 ~의 ~에 대한 1.5제곱미터 미터, 그리고 거기 ~해야 한다 BE 더 ~보다 50cm 운영 중 설치 주변 공간 | |||
가열부 | 승화 영역 | 원료통: Ø69*200mm 용량 : 300g | ||
증발 온도: 실온 200℃ | ||||
온도편차 : ±2℃ | ||||
열분해 존 | 부수는 온도: 650-700℃ 온도 안정성: ±2℃ | |||
단열재 영역 | 가열 온도 < 300 . 씨 | |||
제어 시스템 | 브랜딩 | PLC 제어 시스템 | ||
프로그램 | 거기 ~이다 둘 부속 ~을 위한 자동적 인 침적 체계 및 수동 증착 시스템 | |||
표시하다 | 디스플레이 크기: 12 '터치 컬러 스크린 | |||
퇴적 체계 | 진공 기판 | 1, 사이즈 Φ300xH400, 304 스테인레스 스틸 | ||
방 | 28L | |||
용량 | ||||
관찰 창문 | 투시창 1개 쉽게 관찰할 수 있도록 ~의 상태 에 있는 제품의 증착 챔버 | |||
회전 부분 | 모터 속도 조절 가능 1-10 RPM | |||
진공 시스템 | 진공펌프 | |||
진공게이지 | ||||
냉각 체계 | 보냉 TH-95-15 -G(냄비형), 냉장 온도 ≤90 。 C 30분 이내 ~ 후에 시작 냉각 ~할 수 있다 BE ~에서 방 온도 -70까지 . 씨 | |||
커플 링 에이전트 증발 장치 | 페렐린의 접착력 향상 코팅할 기판 표면에 코팅 | |||
기본 부속 ~의 장비 | 1, 증발 시스템: 증발 챔버, 전력 n 열 장치, 온도 센서 2, 크래킹 시스템: 크래킹 챔버, 전기 열 장치, 온도 센서 3, 증착 시스템: 증착 챔버, 진공 센서, 샘플 랙 4, 진공 시스템: 진공 펌프, 진공 게이지 5, 응축 시스템: 냄비 유형 콜드 트랩 6, 장비 호스트: 장비 쉘, 제어 회로, 진공관 7, 석영관: 1 | |||
퇴적성 원료 유형 | 파릴렌 C, N, F, D | |||
장비 특징 | 1, 그만큼 가스화 난방 ~할 수 있다 BE 움직이는, 적합한 ~을 위한 지속적인 생산, 그런 ~처럼 갑자기 힘 failure 그리고 다른 예상치 못한 상황은 언제든지 제거되어 제품을 보장할 수 있습니다. 안전. 2, 가스화 부분은 투명하다. 할 수 있는 유리관 언제든지 볼 수 있다 시간은, 최고를 만나기 위하여 저온 생산을 유지할 수 있습니다 코팅 요구 사항. 3, 가스화 이동 가능, 보내는 것이다 특허 설정, 보장할 수 있습니다 특허 충돌 없음, 생산 안전. 4. 그만큼 특별한 설계 ~의 그만큼 내부 회전 액자 ~의 그만큼 공동 효과적으로 나쁜 수를 줄일 수 있습니다 포인트들. 5. 시각적이고 인간화된 인터페이스, 간편함 작동을 이해합니다.6, 유리관은 가열을 크게 줄일 수 있으며 냉각 시간. 7. 단열부분이 최적화되어 있어 페렐린은 유리관 내벽에 쉽게 침전되지 않는다는 점, 오랫동안 유지될 수 있는 것 긴 시간과 유지 보수 시간을 줄입니다. | |||
