고온 수직 슬라이딩 회전식 PECVD 관로 기계

당사의 고온 수직 슬라이딩 회전식 PECVD 관로 기계는 이러한 산업의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 설계된 최첨단 장비입니다.

이 기계는 PECVD 기술을 활용하여 탁월한 균일성과 접착력을 갖춘 고품질 박막을 증착합니다.수직 슬라이딩 회전식 설계를 통해 증착 공정에서 향상된 유연성과 효율성을 제공합니다.수직 슬라이딩 기능을 사용하면 인쇄물을 쉽게 로드 및 언로드할 수 있어 가동 중지 시간이 최소화되고 생산성이 최대화됩니다.

퍼니스는 정밀한 온도 제어를 통해 최대 [온도 범위 삽입]까지 높은 온도에 도달할 수 있습니다.이는 필름 증착을 위한 최적의 조건을 보장하여 탁월한 필름 품질과 성능을 제공합니다.회전 운동은 기판 표면 전체에 전구체 가스를 고르게 분포시켜 필름 균일성을 더욱 향상시킵니다.

고급 플라즈마 생성 기술을 갖춘 당사의 PECVD 관로 기계는 효율적인 플라즈마 여기를 보장하여 필름 특성을 향상시키고 결함을 줄입니다.플라즈마는 화학 반응을 강화하여 필름 밀도, 경도 및 접착력을 향상시킵니다.이는 고성능 박막이 필요한 응용 분야에 이상적인 선택입니다.

이 기계에는 사용자 친화적인 제어판이 장착되어 있어 증착 공정을 쉽게 작동하고 모니터링할 수 있습니다.증착 시간, 온도, 가스 유속, 압력 등 다양한 프로그래밍 가능 매개변수를 제공하여 필름 특성을 정밀하게 제어하고 사용자 정의할 수 있습니다.

또한 당사의 PECVD 관로 기계는 작업자 보호를 보장하고 사고 위험을 최소화하기 위한 안전 기능을 갖추고 설계되었습니다.고품질 소재와 부품으로 제작되어 내구성과 장기적인 신뢰성을 보장합니다.

전반적으로 당사의 고온 수직 슬라이딩 회전식 PECVD 관로 기계는 전자 산업의 박막 증착을 위한 최첨단 솔루션입니다.뛰어난 성능, 유연성, 사용 편의성을 제공하므로 연구실, 대학, 생산 시설에 필수적인 도구입니다.탁월한 박막 품질을 달성하고 연구 개발 프로세스를 가속화하려면 PECVD 관로 기계에 투자하십시오.

기술적인 매개변수