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가스 공급을 위한 3채널 플로트 유량계를 갖춘 1200℃ 3개 가열 구역 저진공 CVD 시스템

화학 기상 증착 기계는 대학, 연구 기관, 산업 및 광업 기업의 고온 소결, 금속 어닐링, 품질 검사 등에 적합하며 특히 다양한 가스 혼합 분위기가 필요한 CVD 실험에 적합합니다.
 
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  • TN-1200X-III-50IC

  • TN

이 장비는 3개 가열 구역 관상로와 3채널 플로트 유량계로 구성됩니다.관상로의 3개 가열 구역은 정밀 온도 조절 장치에 의해 독립적으로 온도 조절됩니다.각 온도대의 온도를 조정함으로써 관상로는 가열대에서 3개의 온도 구배를 형성하거나 길고 일정한 온도대를 형성할 수 있습니다.각 구역은 과열 및 단락 보호 기능을 갖춘 온도 상승 및 하강 섹션 30개로 편집할 수 있습니다.퍼니스 튜브 양쪽의 플랜지에는 퍼니스 튜브의 분위기를 제어하는 ​​데 사용할 수 있는 디지털 진공 게이지와 기계식 압력 게이지가 장착되어 있습니다.동시에, 튜브로는 사용하기 쉬운 풀 컬러 고화질 터치 스크린으로 작동됩니다.전문가가 아니더라도 간단한 교육을 통해 장비 사용법을 익힐 수 있어 실험 효율성이 크게 향상될 수 있습니다.

시스템에는 실험에 필요한 혼합가스를 정확하게 준비할 수 있는 3채널 플로트 유량계가 장착되어 있습니다.또 다른 압력 게이지는 플로트 유량계 전면에 설치되어 가스 압력과 혼합 탱크 압력을 모니터링합니다.

대학, 연구소, 산업 및 광업 기업의 고온 소결, 금속 어닐링, 품질 검사 등에 적합하며, 특히 다양한 가스 혼합 분위기가 필요한 CVD 실험에 적합합니다.

진공관   노

모델

TN-1200X-III-50IC

튜브 재질

고순도   석영

튜브 직경

50mm

튜브 길이

1000mm

용광로 챔버   길이

660mm

가열 구역   길이

200mm+200mm+200mm

운영 중   온도

0~1100℃

온도   제어 정확도

±1℃

온도   제어 모드

30 또는 50   세그먼트 프로그램 온도 제어

디스플레이 모드

주도의   (디지털 튜브 디스플레이 강조 표시)

씰링   방법

304   스테인레스 스틸 진공 플랜지

플랜지   상호 작용

1/4' 절단   슬리브 조인트 (Ø8 파고다 조인트)

진공

4.4×10E-3아빠

전원공급장치

교류:220V   50/60Hz

가스 공급   체계

모델

CY-3F

가스 채널

3채널

자질   단위

가스 플로트   유량계

자질   범위

채널: 0~100ml H2 가스

비고: 만약   다른 범위나 가스 유형이 필요하면 주문 시 지정해야 합니다.   고객의 특정 요구 사항에 따라 유량계는   해당 가스 유형과 범위를 선택할 수 있습니다.

B 채널: 16~160ml N2 가스

C 채널: 25~250ml Ar 가스

측정   정확성

±2.0%

파이프   압력 저항

3MPa

일하고 있는   압력차

50~500KPa

연결 중   파이프

304   스테인레스 스틸

가스 채널

304 스테인레스   강철 니들 밸브

상호 작용   사양

1/4' 절단   가스 입구 및 출구용 슬리브 조인트

배기가스   체계

기계   펌프

GHD-031B

펌핑 속도

4리터/초

배기가스   상호 작용

KF16

진공   측정

피라니 게이지

궁극적인   진공

1×10E-1Pa

전원 공급 장치

교류:220V   50/60Hz

펌핑   상호 작용

KF40


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제품문의
Zhengzhou Tainuo Thin Film Materials Co., Ltd.
실험실 과학 기기 생산 전문 제조업체입니다.당사의 제품은 대학, 연구 기관 및 실험실에서 널리 사용됩니다.

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