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기판 재료 처리에 혁명을 일으키도록 설계된 최첨단 CVD(화학 기상 증착) 시스템을 소개합니다.최고의 정밀도와 신뢰성을 갖춘 당사의 CVD 시스템은 실리콘, 유리, 금속 등을 포함한 광범위한 재료를 처리하도록 설계되었습니다.
업계 최고의 전문 지식으로 제작된 당사의 CVD 시스템은 뛰어난 성능과 일관된 결과를 보장하므로 다양한 응용 분야에 이상적인 선택입니다.섬세한 유리 기판이든 튼튼한 금속 표면이든 관계없이 당사의 CVD 시스템은 비교할 수 없는 품질과 효율성을 제공합니다.
첨단 기술을 갖춘 당사의 CVD 시스템은 원활하고 제어된 증착 프로세스를 제공합니다.온도, 압력 및 가스 흐름을 정밀하게 제어하면 원하는 필름 특성을 최대한 정확하게 얻을 수 있습니다.이러한 수준의 제어는 균일하고 결함 없는 코팅을 보장하여 제품의 전반적인 성능과 내구성을 향상시킵니다.
당사의 CVD 시스템은 사용자 친화성을 염두에 두고 설계되었으며 직관적인 인터페이스와 간소화된 운영을 특징으로 합니다.최소한의 교육만으로 시스템을 쉽게 작동할 수 있어 귀중한 시간과 자원을 절약할 수 있습니다.
또한 당사의 CVD 시스템은 최고의 안전 표준을 충족하도록 제작되어 안전한 작업 환경을 보장합니다.강력한 안전 기능과 포괄적인 모니터링 시스템을 통해 장비를 사용하는 동안 안심할 수 있습니다.
최첨단 CVD 시스템에 투자하여 기판 재료 처리 요구 사항에 대한 무한한 가능성을 열어보세요.전문가급 CVD 시스템으로 최고의 성능, 비교할 수 없는 신뢰성, 뛰어난 품질을 경험해 보세요.생산 능력을 향상하고 오늘날의 경쟁 시장에서 앞서 나가십시오.
RF 전원 공급 장치 | 신호 빈도 | 13.56MHz±0.005% | |
힘 출력 범위 | 0~300W | ||
최고 반사력 | 100W | ||
반영됨 전력 (최대 전력에서) | <3W | ||
힘 안정 | ±0.1% | ||
관상로 | 튜브 재료 | 높은 순도 석영 | |
밖의 튜브의 직경 | 100mm | ||
튜브 길이 | 1200mm | ||
노 챔버 길이 | 440mm | ||
난방 구역 길이 | 200mm+200mm (2개의 온도대) | ||
끊임없는 온도대 길이 | 200mm | ||
마디 없는 작동 온도 | |||
온도 제어 정확도 | ±1℃ | ||
온도 제어 모드 | 30 세그먼트 프로그램 온도 제어 | ||
표시하다 방법 | LCD | ||
씰링 방법 | 304 스테인레스 스틸 진공 플랜지 | ||
가스 공급 체계 | 모델 | CY-6Z | |
채널 숫자 | 6 | ||
자질 단위 | 대량의 흐름 컨트롤러 | ||
자질 범위 | A 채널: 0~200SCCM H의 경우2 | 비고: 다른 범위가 필요한 경우 주문 시 지정하십시오.에 따르면 고객의 특정 요구 사항, 해당 가스 유형의 유량계 범위는 선택 사항입니다. | |
B 채널: 0~200SCCM CH의 경우4 | |||
C 채널: 0~200SCCM C의 경우2H4 | |||
C 채널: 0~500SCCM N의 경우2 | |||
D 채널: 0~500SCCM NH의 경우3 | |||
E 채널: 0~500SCCM Ar의 경우 | |||
측정 정확도 | ±1.5%FS | ||
일하고 있는 압력차 | -0.15Mpa~0.15Mpa | ||
연결 중 파이프 | 304 스테인레스 스틸 | ||
가스 채널 | 304 스테인레스 스틸 니들 밸브 | ||
상호 작용 사양 | 1/4' 가스 입구 및 출구용 페룰 커넥터 | ||
진공 체계 | 기계 펌프 | 2단 회전 날개 펌프 | |
펌핑 비율 | 1.1L/초 | ||
진공 측정 | 저항 계량기 | ||
궁극적인 진공 | 1.0E-1Pa | ||
펌핑 상호 작용 | KF16 | ||
슬라이딩 레일 | 할 수 있다 빠른 온도를 실현하기 위해 두 개의 온도대 노의 슬라이딩을 달성합니다. 상승 및 하강. | ||
힘 공급 | AC220V 50Hz | ||
기판 재료 처리에 혁명을 일으키도록 설계된 최첨단 CVD(화학 기상 증착) 시스템을 소개합니다.최고의 정밀도와 신뢰성을 갖춘 당사의 CVD 시스템은 실리콘, 유리, 금속 등을 포함한 광범위한 재료를 처리하도록 설계되었습니다.
업계 최고의 전문 지식으로 제작된 당사의 CVD 시스템은 뛰어난 성능과 일관된 결과를 보장하므로 다양한 응용 분야에 이상적인 선택입니다.섬세한 유리 기판이든 튼튼한 금속 표면이든 관계없이 당사의 CVD 시스템은 비교할 수 없는 품질과 효율성을 제공합니다.
첨단 기술을 갖춘 당사의 CVD 시스템은 원활하고 제어된 증착 프로세스를 제공합니다.온도, 압력 및 가스 흐름을 정밀하게 제어하면 원하는 필름 특성을 최대한 정확하게 얻을 수 있습니다.이러한 수준의 제어는 균일하고 결함 없는 코팅을 보장하여 제품의 전반적인 성능과 내구성을 향상시킵니다.
당사의 CVD 시스템은 사용자 친화성을 염두에 두고 설계되었으며 직관적인 인터페이스와 간소화된 운영을 특징으로 합니다.최소한의 교육만으로 시스템을 쉽게 작동할 수 있어 귀중한 시간과 자원을 절약할 수 있습니다.
또한 당사의 CVD 시스템은 최고의 안전 표준을 충족하도록 제작되어 안전한 작업 환경을 보장합니다.강력한 안전 기능과 포괄적인 모니터링 시스템을 통해 장비를 사용하는 동안 안심할 수 있습니다.
최첨단 CVD 시스템에 투자하여 기판 재료 처리 요구 사항에 대한 무한한 가능성을 열어보세요.전문가급 CVD 시스템으로 최고의 성능, 비교할 수 없는 신뢰성, 뛰어난 품질을 경험해 보세요.생산 능력을 향상하고 오늘날의 경쟁 시장에서 앞서 나가십시오.
RF 전원 공급 장치 | 신호 빈도 | 13.56MHz±0.005% | |
힘 출력 범위 | 0~300W | ||
최고 반사력 | 100W | ||
반영됨 전력 (최대 전력에서) | <3W | ||
힘 안정 | ±0.1% | ||
관상로 | 튜브 재료 | 높은 순도 석영 | |
밖의 튜브의 직경 | 100mm | ||
튜브 길이 | 1200mm | ||
노 챔버 길이 | 440mm | ||
난방 구역 길이 | 200mm+200mm (2개의 온도대) | ||
끊임없는 온도대 길이 | 200mm | ||
마디 없는 작동 온도 | |||
온도 제어 정확도 | ±1℃ | ||
온도 제어 모드 | 30 세그먼트 프로그램 온도 제어 | ||
표시하다 방법 | LCD | ||
씰링 방법 | 304 스테인레스 스틸 진공 플랜지 | ||
가스 공급 체계 | 모델 | CY-6Z | |
채널 숫자 | 6 | ||
자질 단위 | 대량의 흐름 컨트롤러 | ||
자질 범위 | A 채널: 0~200SCCM H의 경우2 | 비고: 다른 범위가 필요한 경우 주문 시 지정하십시오.에 따르면 고객의 특정 요구 사항, 해당 가스 유형의 유량계 범위는 선택 사항입니다. | |
B 채널: 0~200SCCM CH의 경우4 | |||
C 채널: 0~200SCCM C의 경우2H4 | |||
C 채널: 0~500SCCM N의 경우2 | |||
D 채널: 0~500SCCM NH의 경우3 | |||
E 채널: 0~500SCCM Ar의 경우 | |||
측정 정확도 | ±1.5%FS | ||
일하고 있는 압력차 | -0.15Mpa~0.15Mpa | ||
연결 중 파이프 | 304 스테인레스 스틸 | ||
가스 채널 | 304 스테인레스 스틸 니들 밸브 | ||
상호 작용 사양 | 1/4' 가스 입구 및 출구용 페룰 커넥터 | ||
진공 체계 | 기계 펌프 | 2단 회전 날개 펌프 | |
펌핑 비율 | 1.1L/초 | ||
진공 측정 | 저항 계량기 | ||
궁극적인 진공 | 1.0E-1Pa | ||
펌핑 상호 작용 | KF16 | ||
슬라이딩 레일 | 할 수 있다 빠른 온도를 실현하기 위해 두 개의 온도대 노의 슬라이딩을 달성합니다. 상승 및 하강. | ||
힘 공급 | AC220V 50Hz | ||
