유연한 투명 전극의 연속 생산을 위한 롤투롤 PECVD 그래핀 준비 장비

제품   이름

롤   PEVCD를 굴리다

제품   모델

TN-OTF-1200X-III-PE300-RR

1000W 플라즈마 소스

● 출력 전력: 50-1000W  최대 조정 가능 ±1%
  ● RF 속도: 13.56MHz, 안정성±0.005%
  ● dB: 55DB 이하
  ● 냉각 모드 : 강제 공랭
  ● 입력전력 : 1KW  교류 220V

3개의 양성자 유량계 제어 시스템

● 전압: AC220V/50Hz
  ● 전력: 23W
  ● PLC 터치스크린 제어
  ● 혼합탱크 크기 : Φ80*120mm
  ●작동온도：5~45℃
  ● 최대 압력: 3x106 Pa
  ● 정밀도 : ±1.5% FS
  ● 선형: ±(0.5-1.5)%FS
  ● 반복 정확도: ±0.2%FS
  ● 흐름 범위:
  ● 첫 번째 경로 : 1~50 SCCM (메탄 교정)
  ● 두 번째 경로: 1~200 SCCM(수소   구경 측정)
  ● 세 번째 경로: 1~200 SCCM(아르곤 교정)
  고객에 따라 가스 유형 교정을 위한 다른 옵션을 사용할 수 있습니다.   요구 사항

진공 측정 장치

●모델 : PCG-800
  ● 표시 범위 : 3.8E-5 ~ 1125torr
  정도:
  ● 5×10-4 … 1×10-3mbar(N2) 판독값의 % ±50
  ● 1×10-3 … 100mbar(N2) 판독값의 % ±15
  ● 100 ~ 950mbar 판독값의 % ±5
  ● 950 ~ 1050mbar 판독값의 % ±2.5

저진공 유닛

● 복회전하는 기계식 펌프로 구성되어 있으며,   이중층 수직 오일 미스트 필터(PE 재질), 저항 진공 게이지   그리고 연결관 조인트

● 진공 펌프의 흡입 속도≥4.4L/s
  ● 한계진공도 10^-1아빠
  ●진공 게이지 측정 범위 10^-1PA-10⁵ 아빠

동박용 릴투릴 밀봉 장치

·           ● 코일-코일 권취 및 풀림 메커니즘   동박을 재료 안팎으로 이동시키는 데 사용되며 이동 속도는   구리 호일의 속도는 1-400mm/min으로 조정 가능합니다.
  ● 테스트 동박 롤 구성

● 감기 및 풀기 메커니즘은   구리를 보장하기 위해 튜브 퍼니스의 양쪽 끝에 진공 챔버   호일은 밀봉된 성장 조건에서 움직일 수 있으며 대규모 달성이 가능합니다.   준비
  ● 와인딩 메커니즘 사이에 냉각 장치가 설치되어 있습니다.   동박의 급속 냉각을 위한 관형로.

제품 크기

약 2400*800*1250mm

상품 무게

약 720kg

품질 인증

CE 인증은 전기 부품에 대한 선택 사항입니다.

보증 기간

특별 참고 사항:  

1. 발열체, 석영관, 시료 도가니 등의 소모품,   등은 포함되지 않습니다.  

2. 부식성 가스, 산성 가스로 인한 손상은 보증 대상에서 제외됩니다.   보증.