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유연한 투명 전극의 연속 생산을 위한 롤투롤 PECVD 그래핀 준비 장비

Roll to Roll PEVCD는 그래핀 제조를 위한 Roll-to-Roll 관형로 시스템으로, 컴퓨터 및 휴대폰의 스크린, 초경량 유연 태양전지, 새로운 발광 장치 및 기타 필름 전자 분야에 사용할 수 있습니다.
가용성 상태:
수량:
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  • TN-OTF-1200X-III-PE300-RR

  • TN

Roll to Roll PEVCD는 그래 핀 준비를위한 롤 투 롤 관형 용광로 시스템입니다. 이 장비는 코일에서 코일 코일 코일 포일 되감기 및 밀봉 장치, 1200 ° C 튜브 퍼니스를 3 개의 온도 영역과 진공 장치로 구성합니다. 고품질 그래 핀 및 기타 2 차원 재료의 대규모 성장에 사용할 수 있습니다.


PEVCD 롤 롤 : 기술 매개 변수

성능 사양 및 기본 구성

제품   이름

PEVCD를 굴리기 위해   롤

제품   모델

TN-OTF-1200X-III-PE300-RR

1000W 혈장 소스

● 출력 전력 : 50-1000W  최대 조절 가능 ± 1%
  ● RF 속도 : 13.56MHz, 안정성 ± 0.005%
  ● DB : ≤55dB
  ● 냉각 모드 : 강제 공기 냉각
  ● 1kw  AC 220V

3 개의 양성자 유량계 제어 시스템

● 전압 : AC220V/50Hz
  ● 전원 ● 전력 : 23W
  ● PLC 터치 스크린 제어
  ● 믹싱 탱크의 크기 : φ80*120mm
  ● 작동 온도 : 5 ~ 45 ℃
  ● 최대 압력 : 3x106 PA
  ● 정밀도 : ± 1.5% FS
  ● 선형 : ± ± (± ±). 0.5-1.5)%FS
  ● 반복적 인 정확도 : ± 0.2%FS
  ● 흐름 범위 :
  ● 첫 번째 경로 : 1 ~ 50 SCCM (Methane Calibration) ● 두 번째 경로 : 1 ~ 200 SCCM (수소
  교정) ● 세 번째 경로 :   ● 세 번째 경로 :
  ● 세 번째 경로 : ● 세 번째 경로 : 1 ~ 200 SCCM (Argon Calibration) 고객
  요구 사항   에 따라 가스 유형 교정에 다른 옵션을 사용할 수 있습니다.

진공 측정 장치

● 모델 : PCG-800
  ● 표시 범위 : 3.8E-5 ~ 1125TORR
  정밀도 :
  ● 5 × 10-4… 1 × 10-3 MBAR (N2) %의 읽기 ± 50
  ● 1 × 10-3… 100 MBAR (N2 ) 읽기의 % ± 15
  ● 100… 950 mbar의 읽기 ± 5
  ● 950… 1050 mbar의 읽기 ± 2.5

낮은 진공 장치

● 이중 회전 기계 펌프, 로 구성됩니다.   이중층 수직 오일 미스트 필터 (PE 재료), 저항 진공 게이지   및 연결 파이프 조인트

● 진공 펌프의 흡입 속도 4.4L/s
  ● 제한 진공 정도 10 -1PA
  ● 진공 게이지 측정 범위 10 -1PA-10 5 PA

구리 호일 용 릴 투 릴 밀봉 장치

·           ● 코일에 대한 코일에 대한 감기 및 풀기 메커니즘을   사용하여 구리 호일을 재료 안팎으로 이동시키고   구리 포일의 움직이는 속도는 1-400mm/분에서 조절할 수 있습니다.
  ● 테스트 구리 호일 롤을 구성하십시오

● 구리 권선 및 풀기 메커니즘은   호일이 밀봉 된 성장 조건 하에서 움직일 수 있고 대규모   준비를 달성 할 수 있도록   튜브 퍼니스의 양쪽 끝에있는 진공 챔버
  에 구리 호일의 빠른 냉각을위한 용광로.   배치됩니다.

제품 크기

약 2400*800*1250mm

제품 체중

약 720kg

품질 인증서

CE 인증은 전기 부품의 선택 사항입니다

보증 기간

특별 노트 :  

1. 가열 요소, 석영 튜브, 샘플 도가니 등과 같은 소모품은   포함되지 않습니다.  

2. 부식성 및 산성 가스로 인한 손상은 보증에 의해 적용되지 않습니다   .


Roll to Roll PECVD 그래 핀 준비 장비는 그래 핀 필름의 효율적이고 고품질 생산을 위해 설계되었습니다. 이 장비 사용을 시작하려면 오염을 방지하기 위해 설정이 깨끗하고 제어 된 환경에 설치되어 있는지 확인하십시오. PECVD 공정과 호환되는 기판 재료를 준비하여 시작하십시오. 일반적인 기질은 구리 및 실리콘을 포함하며, 이는 그래 핀 성장을위한 안정적인 염기를 제공한다.


다음으로, 기판을 롤 투 롤 시스템에로드하여 안전하게 배치 할 수 있도록하십시오. 증착 과정에서 일관된 공급 속도를 유지하기 위해 장력 설정을 조정하십시오. 기판이 배치되면 일반적으로 메탄과 같은 탄소 함유 가스를 포함하여 그래 핀 합성에 대한 적절한 가스 혼합물을 선택하십시오. 원하는 필름 특성에 따라 압력 및 온도 파라미터를 설정하십시오.


혈장 생성을 시작하여 PECVD 프로세스를 시작하십시오. 시스템을 면밀히 모니터링하여 기판을 가로 지르는 안정적인 혈장 및 균일 증착을 점검하십시오. 롤 투 롤 설계를 통해 지속적인 처리를 가능하게하여 품질을 유지하면서 생산성을 향상시킵니다. 증착이 완료되면 기판을 조심스럽게 풀고 균일 성과 준수를 위해 그래 핀 필름을 평가합니다.


마지막으로, 그래 핀의 전기 및 기계적 특성을 최적화하기 위해 어닐링과 같은 치료 후 과정을 수행하십시오. 장비의 정기적 인 유지 보수는 수명과 일관된 성능을 보장하는 데 중요합니다. 이러한 단계를 수행함으로써, 사용자는 롤에 PECVD 그래 핀 준비 장비를 효과적으로 활용하여 다양한 응용 분야를위한 고품질 그래 핀 필름을 생산할 수 있습니다.


롤 투-롤 PECVD 그래 핀 준비 장비는 다양한 분야, 특히 전자 제품 및 재생 가능 에너지 부문에서 사용되는 고급 기술입니다. 이 장비는 주로 구리 호일과 같은 유연한 기판에서 고품질 그래 핀 필름의 지속적인 성장에 사용됩니다. 이 장비를 사용하여 준비된 그래 핀의 적용은 다양하고 영향을 미칩니다.


롤-롤 PECVD 기술을 통해 제조 된 그래 핀의 두드러진 응용 중 하나는 컴퓨터 및 핸드폰 화면을 생산하는 것입니다. 그래 핀의 우수한 전기 전도성, 투명성 및 기계적 강도는 터치 스크린 및 디스플레이 패널에 이상적인 재료입니다. 이 화면의 민감도와 내구성을 향상시켜 더 나은 사용자 경험을 제공합니다.


또한,이 장비는 초경량 유연한 태양 전지의 개발에 중요합니다. 높은 전자 이동성 및 열전도율과 같은 그래 핀의 고유 한 특성은 효율적이고 경량 태양 전지판을 생성 할 수 있습니다. 이 태양 전지는 더 유연 할뿐만 아니라 더 비용 효율적 일 가능성이있어 재생 가능 에너지에 더 접근 할 수 있습니다.


태양 전지 외에도 그래 핀에는 새로운 발광 장치에 응용이 있습니다. 그래 핀을 가벼운 방출 다이오드 (LED) 및 유기 광 방출 다이오드 (OLED)에 통합하면 성능이 크게 향상 될 수 있습니다. 그래 핀 기반 발광 장치는 에너지 효율이 높고 수명이 길어 디스플레이 기술 및 일반 조명 솔루션의 발전에 기여할 것으로 예상됩니다.


롤 투 롤 PECVD 그래 핀 준비 장비는 다양한 필름 전자 분야에서도 사용됩니다. 그래 핀의 얇고 유연한 특성은 유연한 회로, 센서 및 웨어러블 기술을 포함한 광범위한 전자 애플리케이션에 적합합니다. 이러한 응용 분야는 그래 핀의 뛰어난 전기적 특성과 기존 전자 시스템에 완벽하게 통합 될 수있는 능력의 이점을 얻습니다.


요약하면, 롤-롤 PECVD 그래 핀 준비 장비는 컴퓨터 및 핸드폰 스크린, 초조한 유연한 태양 전지, 새로운 발광 장치 및 기타 다양한 필름 전자 장치에 사용할 수있는 고품질 그래 핀을 생산할 수있는 다양한 도구입니다. 응용 프로그램. 이러한 분야에 미치는 영향은 중요하며 전자 장치 및 재생 가능한 에너지 솔루션의 성능을 향상시킵니다.


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제품문의
Zhengzhou Tainuo Thin Film Materials Co., Ltd.
실험실 과학 기기 생산 전문 제조업체입니다.당사의 제품은 대학, 연구 기관 및 실험실에서 널리 사용됩니다.

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