TNO1200-60IIC-R
TN
분말 PE CVD 세척을 위한 회전식 관상로 공급 장치는 PECVD 공정의 효율성과 정확성을 향상시키도록 설계된 최첨단 솔루션입니다.
이 혁신적인 제품은 PECVD 세척에 사용되는 분말 재료에 대한 원활하고 정밀한 공급 및 수용 메커니즘을 제공합니다.회전식 관상로 설계를 통해 분말의 균일한 가열 및 분포를 보장하여 일관되고 고품질의 박막 증착이 가능합니다.
분말 PE CVD 세정을 위한 회전식 관상로 공급 리시버에는 첨단 플라즈마 기술이 탑재되어 있어 뛰어난 접착력과 균일성으로 얇은 필름을 증착할 수 있습니다.이를 통해 최종 필름은 전자 산업의 엄격한 요구 사항을 충족하고 최적의 성능과 신뢰성을 보장합니다.
최고의 전문성을 바탕으로 디자인된 본 제품은 고품질의 소재와 부품을 사용하여 제작되어 내구성과 오래 지속되는 성능을 보장합니다.사용자 친화적인 인터페이스와 직관적인 제어 기능을 통해 작동 및 유지 관리가 쉬워지고 가동 중지 시간이 줄어들며 생산성이 극대화됩니다.
컴팩트하고 공간 절약형 디자인을 갖춘 분말 PE CVD 세정용 회전관로 공급 장치는 기존 PECVD 시스템에 완벽하게 통합되어 설치 및 설정 시간을 최소화할 수 있습니다.견고한 구조와 정밀한 엔지니어링으로 까다로운 산업 환경에서도 안정적이고 신뢰할 수 있는 작동을 보장합니다.
요약하면, 분말 PE CVD 세척을 위한 회전식 관상로 공급 장치는 PECVD 세척 공정에 혁명을 일으키는 최첨단 솔루션입니다.고급 기능, 전문적인 디자인 및 뛰어난 성능을 갖춘 이 제품은 전자 산업에 없어서는 안 될 도구로, 우수한 박막 증착과 최적의 제품 품질을 보장합니다.
기술적인 매개변수
이중 온도대 튜브로 | 제품 모델 | TNO1200-60IIC-R |
장비 전력 | 3KW | |
용광로 튜브 재료 | 고순도 석영 | |
퍼니스 튜브 크기 | Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm (석영 이형관) | |
퍼니스 챔버 길이 | 440mm | |
가열 영역 길이 | 200mm+200mm | |
작동 온도 | 0~1150℃ | |
한계 온도 | 1200℃ | |
온도 조종 정확도 | ±1℃ | |
열전대 유형 | K형 열전대 | |
온도 조절 모드 | 30개 세그먼트 프로그램 온도 제어, PID 매개변수 자체 조정 | |
디스플레이 모드 | HD 풀 컬러 LCD 터치 스크린 | |
밀봉방식 | 304 스테인레스 스틸 진공 플랜지 | |
전원공급장치 | 교류: 220V 50/60Hz | |
회전 속도 | 0~13rpm | |
경사각 | 0~35° | |
3채널 질량유량계 | 제품 모델 | CY-3Z |
가스 경로 수 | 3채널 | |
유량계 유형 | 질량유량계 | |
측정 범위 | 채널: 0~100sccm;B 채널: 0~200 sccm;C 채널: 0~500sccm | |
측정 정확도 | ±1.5% | |
작동 압력 차이 | 0.1~0.5MPa | |
파이프라인 인터페이스 | 1/4인치 페럴 커넥터 | |
전원공급장치 | AC220V 50/60Hz | |
진공 시스템 | 진공펌프 | 듀얼 스테이지 로터리 베인 펌프 |
펌핑 속도 | 1.1L/초 | |
펌핑 포트 | KF16 | |
펌프 궁극적인 진공 | 10E-1Pa | |
전원공급장치 | AC220V 50/60Hz | |
RF 전원 공급 장치 | 신호 주파수 | 13.56MHz±0.005% |
전원 출력 범위 | 0~500W | |
최대 반사 전력 | 100W | |
RF 출력 인터페이스 | 50Ω, N형, 암 | |
전력 안정성 | 5W 이하 |
분말 PE CVD 세척을 위한 회전식 관상로 공급 장치는 PECVD 공정의 효율성과 정확성을 향상시키도록 설계된 최첨단 솔루션입니다.
이 혁신적인 제품은 PECVD 세척에 사용되는 분말 재료에 대한 원활하고 정밀한 공급 및 수용 메커니즘을 제공합니다.회전식 관상로 설계를 통해 분말의 균일한 가열 및 분포를 보장하여 일관되고 고품질의 박막 증착이 가능합니다.
분말 PE CVD 세정을 위한 회전식 관상로 공급 리시버에는 첨단 플라즈마 기술이 탑재되어 있어 뛰어난 접착력과 균일성으로 얇은 필름을 증착할 수 있습니다.이를 통해 최종 필름은 전자 산업의 엄격한 요구 사항을 충족하고 최적의 성능과 신뢰성을 보장합니다.
최고의 전문성을 바탕으로 디자인된 본 제품은 고품질의 소재와 부품을 사용하여 제작되어 내구성과 오래 지속되는 성능을 보장합니다.사용자 친화적인 인터페이스와 직관적인 제어 기능을 통해 작동 및 유지 관리가 쉬워지고 가동 중지 시간이 줄어들며 생산성이 극대화됩니다.
컴팩트하고 공간 절약형 디자인을 갖춘 분말 PE CVD 세정용 회전관로 공급 장치는 기존 PECVD 시스템에 완벽하게 통합되어 설치 및 설정 시간을 최소화할 수 있습니다.견고한 구조와 정밀한 엔지니어링으로 까다로운 산업 환경에서도 안정적이고 신뢰할 수 있는 작동을 보장합니다.
요약하면, 분말 PE CVD 세척을 위한 회전식 관상로 공급 장치는 PECVD 세척 공정에 혁명을 일으키는 최첨단 솔루션입니다.고급 기능, 전문적인 디자인 및 뛰어난 성능을 갖춘 이 제품은 전자 산업에 없어서는 안 될 도구로, 우수한 박막 증착과 최적의 제품 품질을 보장합니다.
기술적인 매개변수
이중 온도대 튜브로 | 제품 모델 | TNO1200-60IIC-R |
장비 전력 | 3KW | |
용광로 튜브 재료 | 고순도 석영 | |
퍼니스 튜브 크기 | Φ60*420+Φ100*360+Φ60*420mm (석영 이형관) | |
퍼니스 챔버 길이 | 440mm | |
가열 영역 길이 | 200mm+200mm | |
작동 온도 | 0~1150℃ | |
한계 온도 | 1200℃ | |
온도 조종 정확도 | ±1℃ | |
열전대 유형 | K형 열전대 | |
온도 조절 모드 | 30개 세그먼트 프로그램 온도 제어, PID 매개변수 자체 조정 | |
디스플레이 모드 | HD 풀 컬러 LCD 터치 스크린 | |
밀봉방식 | 304 스테인레스 스틸 진공 플랜지 | |
전원공급장치 | 교류: 220V 50/60Hz | |
회전 속도 | 0~13rpm | |
경사각 | 0~35° | |
3채널 질량유량계 | 제품 모델 | CY-3Z |
가스 경로 수 | 3채널 | |
유량계 유형 | 질량유량계 | |
측정 범위 | 채널: 0~100sccm;B 채널: 0~200 sccm;C 채널: 0~500sccm | |
측정 정확도 | ±1.5% | |
작동 압력 차이 | 0.1~0.5MPa | |
파이프라인 인터페이스 | 1/4인치 페럴 커넥터 | |
전원공급장치 | AC220V 50/60Hz | |
진공 시스템 | 진공펌프 | 듀얼 스테이지 로터리 베인 펌프 |
펌핑 속도 | 1.1L/초 | |
펌핑 포트 | KF16 | |
펌프 궁극적인 진공 | 10E-1Pa | |
전원공급장치 | AC220V 50/60Hz | |
RF 전원 공급 장치 | 신호 주파수 | 13.56MHz±0.005% |
전원 출력 범위 | 0~500W | |
최대 반사 전력 | 100W | |
RF 출력 인터페이스 | 50Ω, N형, 암 | |
전력 안정성 | 5W 이하 |
