TN-O1200-50IIT
TN
본 제품은 1200℃ 플라즈마 강화 하이브리드 물리화학기상증착(HPCVD) 이중가열구역 회전관로 시스템입니다.장비에는 이중 가열 구역 관로, 텅스텐 필라멘트 증발원 세트, 플라즈마 발생기 세트 및 질량 유량계 시스템 세트가 포함됩니다.작동 원리는 증발원을 통해 가스 입구 끝에서 반응물을 증발시키고 이를 공기 흐름을 통해 관상로의 가열 영역으로 로드하여 CVD 반응을 수행하는 것입니다.동시에, 플라즈마 강화에 의해 반응이 촉진됩니다.무기 복합 분말의 열처리 및 표면 코팅 균일성에 적합합니다(예: 시료 표면에 전도성 코팅이 있는 리튬 이온 배터리 음극 분말 준비).
기술적인 매개변수:
둘 가열 구역 관상로 | 제품 모델 | TN-O1200-50IIT | |
노 튜브 재료 | 높은 순도 석영 | ||
튜브 지름 | 50mm | ||
노 튜브 길이 | 1200mm | ||
노 챔버 길이 | 440mm | ||
난방 구역 길이 | 200mm+200mm | ||
운영 중 온도 | 0~1100℃ | ||
온도 제어 정확도 | ±1℃ | ||
온도 제어 모드 | 30 또는 50 세그먼트 프로그램 온도 제어 | ||
표시하다 방법 | HD 풀 컬러 LCD 터치 스크린 | ||
씰링 방법 | 304 스테인레스 스틸 진공 플랜지 | ||
힘 공급 | 교류: 220V 50/60Hz 2.5kw | ||
RF 출력 시스템 | 힘 범위 | 0~500W 조절할 수 있는 | |
일하고 있는 빈도 | 13.56MHz+0.005% | ||
일하고 있는 방법 | 마디 없는 산출 | ||
일치함 임피던스 모드 | 그것 일치할 수 있으며 글로우는 용광로 전체에 고르게 분포됩니다. 튜브 | ||
힘 안정 | 2W 이하 | ||
정상 작용하는 반사력 | 3W 이하 | ||
증폭됨 반사력 | 70W 이하 | ||
고조파 요소 | ≤-50dBc | ||
전반적인 능률 | ≥70% | ||
힘 요인 | ≥90% | ||
공급 전압/주파수 | 단상 AC(187V~153V) 주파수 50/60Hz | ||
제어 방법 | 내부 제어/PLC 아날로그 수량/RS232/485 의사소통 | ||
힘 보호 설정 | DC 과전류 보호, 전력 증폭기 과열 보호, 반사 전력 보호 | ||
냉각 방법 | 강요된 공기 냉각 | ||
불타는 듯한 빛깔 존 | 아래에 Ar, 무선 주파수 전원 공급 장치 및 코일이 글로우와 협력하여 용광로 튜브를 채우다 | ||
증발 보트 | 일하고 있는 온도 | 1300℃ | |
증발 원천 | 텅스텐 와이어 바스켓, 테이퍼형 알루미나 도가니 옵션 | ||
열전대 | S 열전대 유형 | ||
일하고 있는 현재의 | ≤30A | ||
최대. 힘 | 500W | ||
가스 배달 시스템 | 유량계 | 4채널 질량유량계 | |
흐름 범위 | MFC1 범위: 0~200sccm MFC2 범위: 0~200sccm MFC3 범위: 0~500sccm MFC4 범위: 0~500sccm 동 가스 H2, CH4, N2, Ar. | ||
측정 정확성 | ±1.5%FS | ||
반복성 | ±0.2%FS | ||
선형 정확도 | ±1%FS | ||
응답 시간 | 4초 이하 | ||
업무 압력 | -0.15Mpa~0.15Mpa | ||
흐름 제어 | LCD 터치 스크린 제어, 디지털 디스플레이, 각 채널 가스에는 니들 밸브가 포함되어 있습니다. 개별적으로 제어할 수 있습니다. | ||
섭취 상호 작용 | 그것 1/4NPS 또는 6mm 외경 스테인레스 스틸 파이프와 연결 가능 | ||
콘센트 상호 작용 | 그것 1/4NPS 또는 6mm 외경 스테인레스 스틸 파이프와 연결 가능 | ||
연결 방법 | 더블 페룰 커넥터 | ||
운영 중 온도 | 5~45℃ | ||
가스 미리 섞은 것 | 갖추게 하는 가스 사전 혼합 장치 포함 | ||
배기가스 체계 | 제품 모델 | CY-GZK103-A | |
분자 펌프 | 터보분자 펌프 | ||
역행 펌프 | 2단 회전 날개 펌프 | ||
펌핑 비율 | 분자 펌프: 600L/S | 포괄적인 펌핑 성능: 30분 진공 도달 가능: 5×10E-3Pa | |
로타리 바람개비 펌프: 1.1L/S | |||
궁극적인 진공 | 5×10E-4Pa | ||
펌핑 포트 | KF40 | ||
배기가스 상호 작용 | KF16 | ||
진공 측정 | 화합물 진공 게이지 | ||
본 제품은 1200℃ 플라즈마 강화 하이브리드 물리화학기상증착(HPCVD) 이중가열구역 회전관로 시스템입니다.장비에는 이중 가열 구역 관로, 텅스텐 필라멘트 증발원 세트, 플라즈마 발생기 세트 및 질량 유량계 시스템 세트가 포함됩니다.작동 원리는 증발원을 통해 가스 입구 끝에서 반응물을 증발시키고 이를 공기 흐름을 통해 관상로의 가열 영역으로 로드하여 CVD 반응을 수행하는 것입니다.동시에, 플라즈마 강화에 의해 반응이 촉진됩니다.무기 복합 분말의 열처리 및 표면 코팅 균일성에 적합합니다(예: 시료 표면에 전도성 코팅이 있는 리튬 이온 배터리 음극 분말 준비).
기술적인 매개변수:
둘 가열 구역 관상로 | 제품 모델 | TN-O1200-50IIT | |
노 튜브 재료 | 높은 순도 석영 | ||
튜브 지름 | 50mm | ||
노 튜브 길이 | 1200mm | ||
노 챔버 길이 | 440mm | ||
난방 구역 길이 | 200mm+200mm | ||
운영 중 온도 | 0~1100℃ | ||
온도 제어 정확도 | ±1℃ | ||
온도 제어 모드 | 30 또는 50 세그먼트 프로그램 온도 제어 | ||
표시하다 방법 | HD 풀 컬러 LCD 터치 스크린 | ||
씰링 방법 | 304 스테인레스 스틸 진공 플랜지 | ||
힘 공급 | 교류: 220V 50/60Hz 2.5kw | ||
RF 출력 시스템 | 힘 범위 | 0~500W 조절할 수 있는 | |
일하고 있는 빈도 | 13.56MHz+0.005% | ||
일하고 있는 방법 | 마디 없는 산출 | ||
일치함 임피던스 모드 | 그것 일치할 수 있으며 글로우는 용광로 전체에 고르게 분포됩니다. 튜브 | ||
힘 안정 | 2W 이하 | ||
정상 작용하는 반사력 | 3W 이하 | ||
증폭됨 반사력 | 70W 이하 | ||
고조파 요소 | ≤-50dBc | ||
전반적인 능률 | ≥70% | ||
힘 요인 | ≥90% | ||
공급 전압/주파수 | 단상 AC(187V~153V) 주파수 50/60Hz | ||
제어 방법 | 내부 제어/PLC 아날로그 수량/RS232/485 의사소통 | ||
힘 보호 설정 | DC 과전류 보호, 전력 증폭기 과열 보호, 반사 전력 보호 | ||
냉각 방법 | 강요된 공기 냉각 | ||
불타는 듯한 빛깔 존 | 아래에 Ar, 무선 주파수 전원 공급 장치 및 코일이 글로우와 협력하여 용광로 튜브를 채우다 | ||
증발 보트 | 일하고 있는 온도 | 1300℃ | |
증발 원천 | 텅스텐 와이어 바스켓, 테이퍼형 알루미나 도가니 옵션 | ||
열전대 | S 열전대 유형 | ||
일하고 있는 현재의 | ≤30A | ||
최대. 힘 | 500W | ||
가스 배달 시스템 | 유량계 | 4채널 질량유량계 | |
흐름 범위 | MFC1 범위: 0~200sccm MFC2 범위: 0~200sccm MFC3 범위: 0~500sccm MFC4 범위: 0~500sccm 동 가스 H2, CH4, N2, Ar. | ||
측정 정확성 | ±1.5%FS | ||
반복성 | ±0.2%FS | ||
선형 정확도 | ±1%FS | ||
응답 시간 | 4초 이하 | ||
업무 압력 | -0.15Mpa~0.15Mpa | ||
흐름 제어 | LCD 터치 스크린 제어, 디지털 디스플레이, 각 채널 가스에는 니들 밸브가 포함되어 있습니다. 개별적으로 제어할 수 있습니다. | ||
섭취 상호 작용 | 그것 1/4NPS 또는 6mm 외경 스테인레스 스틸 파이프와 연결 가능 | ||
콘센트 상호 작용 | 그것 1/4NPS 또는 6mm 외경 스테인레스 스틸 파이프와 연결 가능 | ||
연결 방법 | 더블 페룰 커넥터 | ||
운영 중 온도 | 5~45℃ | ||
가스 미리 섞은 것 | 갖추게 하는 가스 사전 혼합 장치 포함 | ||
배기가스 체계 | 제품 모델 | CY-GZK103-A | |
분자 펌프 | 터보분자 펌프 | ||
역행 펌프 | 2단 회전 날개 펌프 | ||
펌핑 비율 | 분자 펌프: 600L/S | 포괄적인 펌핑 성능: 30분 진공 도달 가능: 5×10E-3Pa | |
로타리 바람개비 펌프: 1.1L/S | |||
궁극적인 진공 | 5×10E-4Pa | ||
펌핑 포트 | KF40 | ||
배기가스 상호 작용 | KF16 | ||
진공 측정 | 화합물 진공 게이지 | ||
