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진공 자동 공급 장치가 장착된 단일 가열 구역 회전식 PECVD와 용광로 튜브 끝에 예약된 KF40 인터페이스를 수용 탱크에 연결할 수 있습니다.피더는 스크류 공급을 채택하고 분말을 정격 속도로 퍼니스 튜브에 공급할 수 있으며 회전 속도를 조정하여 공급 속도를 변경할 수 있습니다.대기 보호 환경에서 PECVD 방법으로 분말 재료의 연속 코팅 및 변형을 실현할 수 있습니다.수용 탱크는 대기 보호 환경에서 가공된 분말을 수집할 수 있습니다.
이 장비에는 13.56MHz에서 100W RF 전력이 장착되어 있습니다.진공 상태에서 플라즈마를 생성할 수 있습니다.고에너지 플라즈마는 시료 표면을 활성화하고 반응 효과를 효과적으로 향상시키며 반응 속도를 높일 수 있습니다.이 보조 방법은 그래핀 제조, 입자 코팅 등 과학 실험에 널리 사용됩니다.
이 장비는 특히 세분화된 시료 실험에 적합합니다.기계적 전달을 통해 조정 가능한 회전 속도로 작업 튜브의 연속 회전을 360° 제어할 수 있으므로 튜브 내의 재료가 지속적으로 교반 및 혼합되고 가스 및 플라즈마와 완전히 접촉하여 시료의 반응이 이루어집니다. 더 균일하고 안정적입니다.
기술적인 매개변수：
RF 전원 공급 장치 | 산출 힘 | 150W |
산출 정확성 | ±1% | |
RF 빈도 | 13.56MHz | |
RF 안정 | ±0.005% | |
냉각 방법 | 공냉식 | |
1200℃ 싱글 가열 구역 관상로 | 공급 전압 | AC220V,50Hz |
최고 힘 | 2KW | |
난방 존 | 하나의 가열 구역 200mm | |
일하고 있는 온도 | 최고 1200℃, 연속 작동 온도는 ≤1100 ℃ 여야 합니다. | |
온도 정확성 | ± 1℃ | |
온도 제어 방법 | AI-PID 30단계 프로세스 곡선, 여러 개 저장 가능 삼 과열 및 열전대 오류가 있는 온도 영역 독립 제어 보호 | |
노 튜브 재료 | 높은 순도 석영 | |
노 튜브 크기 | 다이아. 50x800mm | |
씰링 방법 | 진공 스테인레스 스틸 플랜지, KF16 플랜지 | |
Adjustable 속도 | 0-20rpm | |
경사 | 0-15° | |
진공 펌프 | 로타리 베인 기계식 펌프 | |
궁극적인 진공 | 1.0E-1Pa | |
급송 방법 | 진공 깔때기 및 나사 공급 |
진공 자동 공급 장치가 장착된 단일 가열 구역 회전식 PECVD와 용광로 튜브 끝에 예약된 KF40 인터페이스를 수용 탱크에 연결할 수 있습니다.피더는 스크류 공급을 채택하고 분말을 정격 속도로 퍼니스 튜브에 공급할 수 있으며 회전 속도를 조정하여 공급 속도를 변경할 수 있습니다.대기 보호 환경에서 PECVD 방법으로 분말 재료의 연속 코팅 및 변형을 실현할 수 있습니다.수용 탱크는 대기 보호 환경에서 가공된 분말을 수집할 수 있습니다.
이 장비에는 13.56MHz에서 100W RF 전력이 장착되어 있습니다.진공 상태에서 플라즈마를 생성할 수 있습니다.고에너지 플라즈마는 시료 표면을 활성화하고 반응 효과를 효과적으로 향상시키며 반응 속도를 높일 수 있습니다.이 보조 방법은 그래핀 제조, 입자 코팅 등 과학 실험에 널리 사용됩니다.
이 장비는 특히 세분화된 시료 실험에 적합합니다.기계적 전달을 통해 조정 가능한 회전 속도로 작업 튜브의 연속 회전을 360° 제어할 수 있으므로 튜브 내의 재료가 지속적으로 교반 및 혼합되고 가스 및 플라즈마와 완전히 접촉하여 시료의 반응이 이루어집니다. 더 균일하고 안정적입니다.
기술적인 매개변수：
RF 전원 공급 장치 | 산출 힘 | 150W |
산출 정확성 | ±1% | |
RF 빈도 | 13.56MHz | |
RF 안정 | ±0.005% | |
냉각 방법 | 공냉식 | |
1200℃ 싱글 가열 구역 관상로 | 공급 전압 | AC220V,50Hz |
최고 힘 | 2KW | |
난방 존 | 하나의 가열 구역 200mm | |
일하고 있는 온도 | 최고 1200℃, 연속 작동 온도는 ≤1100 ℃ 여야 합니다. | |
온도 정확성 | ± 1℃ | |
온도 제어 방법 | AI-PID 30단계 프로세스 곡선, 여러 개 저장 가능 삼 과열 및 열전대 오류가 있는 온도 영역 독립 제어 보호 | |
노 튜브 재료 | 높은 순도 석영 | |
노 튜브 크기 | 다이아. 50x800mm | |
씰링 방법 | 진공 스테인레스 스틸 플랜지, KF16 플랜지 | |
Adjustable 속도 | 0-20rpm | |
경사 | 0-15° | |
진공 펌프 | 로타리 베인 기계식 펌프 | |
궁극적인 진공 | 1.0E-1Pa | |
급송 방법 | 진공 깔때기 및 나사 공급 |
