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ITO 인듐 주석 산화물 필름용 필름 두께 게이지가 있는 3개의 타겟 스테인레스 스틸 마그네트론 스퍼터링 코터

Three Targets 마그네트론 스퍼터링 코터는 단층 또는 다층 강유전성 박막, 전도성 필름, 합금 필름, 반도체 필름, 세라믹 필름, 유전체 필름, 광학 필름, 산화 필름, 경질 필름, PTFE 필름을 제조하는 데 사용할 수 있습니다.
가용성 상태:
수량:
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  • CY-MSP325S-2DC-1RF

  • TN

Three Target 스테인레스 스틸 마그네트론 스퍼터링 코터에는 스테인레스 스틸 챔버와 3개의 마그네트론 스퍼터링 타겟이 장착되어 있어 재료를 효율적이고 정확하게 증착할 수 있습니다.코터에는 필름 두께 게이지도 포함되어 있어 코팅 공정 중 필름 두께를 정확하게 제어할 수 있습니다.


첨단 마그네트론 스퍼터링 기술을 적용하여 접착력과 균일성이 우수한 고품질의 박막을 생산할 수 있는 코터입니다.스테인리스 스틸 챔버는 필름 증착을 위한 깨끗하고 안정적인 환경을 제공하여 오염을 최소화하고 일관된 결과를 보장합니다.


ITO(인듐 주석 산화물) 박막 또는 기타 기능성 필름을 준비해야 하는 경우 이 3타겟 마그네트론 스퍼터링 코터는 안정적이고 다양한 솔루션을 제공합니다.사용자 친화적인 인터페이스와 직관적인 컨트롤을 통해 경험이 부족한 사용자도 쉽게 작동할 수 있습니다.


코터는 전문가급 구성 요소로 설계되었으며 실험실이나 생산 환경에서 지속적인 사용을 견딜 수 있도록 제작되었습니다.견고한 구조와 안정적인 성능으로 장기적인 내구성과 최소한의 유지 관리 요구 사항을 보장합니다.


ITO 인듐 T용 필름 두께 측정기가 있는 3개 타겟 스테인리스강 마그네트론 스퍼터링 코터에 투자하고 다양한 응용 분야에서 효율적이고 정밀한 필름 증착을 경험해 보세요.전문가급 기능과 사용자 친화적인 디자인을 갖춘 이 코터는 고품질 박막 코팅을 원하는 연구원, 엔지니어 및 제조업체에게 완벽한 선택입니다.


샘플 스테이지

크기

직경 140mm

가열 온도

최대 500℃

온도 정확도

±1℃

회전 속도

1-20rpm 조절 가능

마그네트론 스퍼터링 헤드

수량

2'×3(1',2' 선택)

냉각 모드

수냉식

물 냉각기

유속 10L/min의 순환수 냉각기

진공 챔버

챔버 크기

직경300mm×300mm

챔버 재료

스테인레스 스틸

감시 창

직경 100mm

개방 모드

상단 커버 열림

질량유량계

2개 채널;측정 범위 100SCCM;100SCCM (고객 요구에 따라 맞춤 설정 가능)

진공 시스템

모델

TN-GZK103-A

분자펌프

TN-600

배압 펌프

로터리 베인 펌프

궁극의 진공

1.0E-5Pa

펌핑 인터페이스

CF160

배기 인터페이스

KF40

진공 측정

복합 진공 게이지

전원 공급 장치

AC;220V   50/60Hz

펌핑 속도

분자 펌프: 600L/S 회전 날개 펌프: 1.1L/S  

포괄적인 가스 펌핑 성능: 20분 안에 최대 1.0E-3Pa까지 진공 처리

전원 구성

수량

DC 전원 x2

RF 전원 공급 장치 x1

최대 출력 전력

DC 500W, RF 500W

기타 매개변수

전원 전압

AC220V,50Hz

총 전력

4KW

전체 크기

600mm×650mm×1200mm

총 무게

약 350kg


에: 
아래: 
제품문의
Zhengzhou Tainuo Thin Film Materials Co., Ltd.
실험실 과학 기기 생산 전문 제조업체입니다.당사의 제품은 대학, 연구 기관 및 실험실에서 널리 사용됩니다.

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