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진공 코팅 마그네트론 스퍼터링용 60KW 다기능 코팅 전원 공급 장치

진공 코팅 마그네트론 스퍼터링용 60KW 다기능 코팅 전원 공급 장치
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다기능 코팅 전원 공급 장치는 플라즈마 응용 기술을 기반으로 빠른 응답, 조정 가능한 전류 및 지속적인 정상 전류, 다단계 전압 적응 출력, 출력 전력 60kW를 갖춘 진공 코팅 기술을 위해 개발된 다기능 다목적 전원 공급 장치입니다. 단락 전류 100A.

다기능 코팅 전원 공급 장치는 진공 코팅, 마그네트론 스퍼터링, 플라즈마 응용, 플라즈마 표면 처리, 플라즈마 가열, 플라즈마 소결, 플라즈마 열처리, 플라즈마 열 처리, 플라즈마 합성, 화학적 초미세 정화, 가스 방전에 적합합니다. 광원, 자성유체 발전 , 초전도 자기장, 플라즈마 차폐, 일정한 토크 전기 구동 및 기타 전기 산업.

마그네트론 스퍼터링 전원, 멀티 아크 전원, 고속 스위칭 전원, 고전력 안정 펄스 전원, 중간주파 전류, 바이어스 전원 등 여러 기능을 결합한 다기능 전원입니다.

주요 기술적 특징: 작동 중 순간적인 단락이 발생하더라도 단락 전류는 계속해서 안정적으로 출력되어 코팅 효과를 보장할 수 있습니다.

기술적인 매개변수:

입력   전압

교류   380±10%V   (3상 5선식)

산출   힘

60KW

일하고 있는   현재의

0-100A

운영 중   전압

DC   20~1000V

빈도

80kHz

일하고 있는   방법

적응형   정전압, 맞춤형 정전류

제어   방법

힘   패널 버튼 제어

외부   제어

DB9   인터페이스 제어(아날로그 또는 디지털 인터페이스 옵션)

TTL   인터페이스 제어

높은   레벨(5±2V), 로우   레벨 0~2V

표시하다   방법

중국인   및 영어 LCD 디스플레이(맞춤형)

표시하다   콘텐츠

일하고 있는   상태, 출력전압, 출력전류, 설정값.

입력   보호

입력   과전압, 입력 저전압, 입력 과전류, 위상 손실

산출   보호

산출   과전압, 출력 과전류, 출력 오프셋

안전   보호

접지   보호, 누전보호, 외부제어보호, 낙뢰   보호, 과열

단열재   수업

수업   B

보호   수준

IP20

보호   응답 시간

1uS

주변   온도

-5~45℃

습기

85% 이하

냉각   방법

공기   냉각


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Zhengzhou Tainuo Thin Film Materials Co., Ltd.
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