금속 필름 도금을 위한 MSDP 단극 펄스 마그네트론 스퍼터링 전원 공급 장치

MSDP 단극 펄스 마그네트론 스퍼터링 전원 공급 장치

주요 특징:

1. 타겟 표면 전하 축적 현상을 대폭 개선하고 스퍼터링 표면의 스파크 수를 줄이며 필름 품질을 향상시킵니다.

2. 평균 전원 안정화 기능과 이상적인 전압 급강하 특성을 갖고 있어 마그네트론 스퍼터링 공정의 연속성을 완벽하게 충족합니다.

3. 무부하 전압 1000V, 작동 전압 200~800V.

4. 주파수 40kHz, 듀티 사이클 20%~80%.

5. 선택적인 수동 제어/아날로그 인터페이스 제어, 선택적인 RS485 통신 인터페이스.

고급 PWM 펄스 폭 변조 기술을 사용하고 가져온 IGBT 또는 MOSFET을 전원 스위치 장치로 사용하여 크기가 작고 무게가 가벼우며 기능이 풍부하고 성능이 안정적이고 신뢰할 수 있으며 생산 공정이 엄격하고 완벽합니다.

이 제품 시리즈는 고급 DSP 제어 시스템을 사용하여 코팅 공정의 반복성을 완벽하게 보장하고 타겟 아크 방전을 억제하고 단락을 방지하는 기능을 갖추고 있습니다.

이 제품 시리즈는 뛰어난 로드 매칭 기능을 갖추고 있어 대상 표면 청소 공정의 안정성을 보장할 뿐만 아니라 대상 표면 청소 속도도 향상시킵니다.

주요 매개변수는 넓은 범위에서 지속적으로 조정될 수 있습니다.

유지보수가 쉽고 신뢰성이 높습니다.

PLC 인터페이스 및 RS485 인터페이스 확장 기능으로 자동 제어가 용이합니다.

MSDP 단극 펄스 마그네트론 스퍼터링 전원 공급 장치는 주로 금속 필름, 탄소 필름 및 일부 산화물, 질화물 및 탄화물 필름 도금에 사용되는 특수 마그네트론 스퍼터링 전원 공급 장치입니다.특히 금속, 합금, 흑연 등의 타겟 재료 코팅에 적합합니다.

마그네트론 스퍼터링에서 MSDP 단극 펄스 마그네트론 스퍼터링 전원 공급 장치는 고에너지 이온을 생성할 수 있습니다.이러한 이온은 타겟 표면과 상호 작용하여 타겟 표면의 원자가 스퍼터링되어 기판 표면에 형성되도록 할 수 있습니다.얇은 필름.이 코팅 기술은 표면처리, 전자소자 제조, 광학코팅, 의료기기 제조 등 다양한 분야에서 널리 활용되고 있습니다.

또한 MSDP 단극 펄스 마그네트론 스퍼터링 전원 공급 장치는 높은 안정성, 높은 반복성 및 높은 균일성과 같은 몇 가지 장점도 있습니다.이러한 장점으로 인해 이 전원 공급 장치는 산업 생산 분야에서 광범위한 응용 가능성을 갖습니다.

일반적으로 MSDP 단극 펄스 마그네트론 스퍼터링 전원 공급 장치는 광범위한 응용 전망과 장점을 갖춘 고급 코팅 기술입니다.

기술적인 매개변수: