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PECVD(플라즈마 강화 화학 기상 증착)용 BD 시리즈 DC 바이어스 전원 공급 장치

불균형 마그네트론 스퍼터링 코팅 및 트윈 타겟 중주파 마그네트론 스퍼터링 코팅, 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD) 등
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바이어스 전원 공급 장치는 주로 다중 아크 이온 도금, 자기 필터 아크 이온 도금, DC 마그네트론 스퍼터링 코팅,

불균형 마그네트론 스퍼터링 코팅 및 트윈 타겟 중주파 마그네트론 스퍼터링 코팅, 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD) 등.

주요 기능으로는 도금할 피가공물 표면의 글로우 방전 세정, 코팅 전 이온 충격, 코팅 중 이온 가속 등이 있습니다.

바이어스 전원 공급 장치를 합리적으로 선택하면 공작물 표면의 발화를 효과적으로 억제하고 도금 부품의 수율, 표면 마감 및 필름 기반 결합력을 크게 향상시킬 수 있습니다.

상표

테네시

모델

BD   시리즈 DC 바이어스 전원 공급 장치

단계 번호

삼   단계 + N

입력 전압

380V

빈도

50HZ

입력 방식

4   라인(제로 라인 포함)

출력파형

맥박

10KW~100KW   (사용자 정의 가능)

전압

0~1200V   (사용자 정의 가능)

현재의

0-100A   (사용자 정의 가능)

안정

1% 이하

리플 &   소음

2% 이하

≥90%

제어 방법

끊임없는   전압, 고전압 및 저전압 스위칭

제어   상호 작용

선택 과목:   패널 매뉴얼, PLC 아날로그 인터페이스, RS485(Modbus)

보호

와 함께   위상 손실, 과열, 전압 제한, 과전압, 과전류, 단락   회로, 과부하 및 기타 보호 기능

냉각방식

공기   아니면 수냉식

보호 수준

IP21

Dimensions   (폭*세*높이)

힘   공급량: 440(W) ×260   (H)×580   (D) (20KW 공냉식)

패널:   482(W)×280(H)

작동 전압은 A 또는 B 등급으로 나눌 수 있습니다.각 등급의 전압은 지속적으로 조정 가능하며 자동으로 조절됩니다.전압 안정화 정확도는 1%FS입니다.

답: 100V-1000V

비: 50V-500V


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Zhengzhou Tainuo Thin Film Materials Co., Ltd.
실험실 과학 기기 생산 전문 제조업체입니다.당사의 제품은 대학, 연구 기관 및 실험실에서 널리 사용됩니다.

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