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마그네트론 스퍼터링 코터용 전자기 다중 파형 전원 공급 장치

불균형 마그네트론 스퍼터링 코팅 및 트윈 타겟 중주파 마그네트론 스퍼터링 코팅, 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD) 등
가용성 상태:
수량:
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  • TN

다중파 전원 공급 장치

주요 특징:

1. 삼각파, 직사각형파, 사인파의 세 가지 종류의 파형을 선택할 수 있습니다.파형의 최고값과 최저값을 독립적으로 설정할 수 있습니다.

2. 출력 전압 범위: -40V~+40V.

3. 파형 주파수 범위: 0.1-50Hz

4. 삼각파, 직사각형파 듀티 사이클 10%~90%

5. 선택적인 수동 제어/아날로그 인터페이스 제어, 선택적인 RS485 통신 인터페이스.

수입된 IGBT 또는 MOSFET을 전원 스위칭 장치로 사용하는 고급 PWM 펄스 폭 변조 기술을 사용하여 크기가 작고, 무게가 가벼우며, 기능이 풍부하고, 성능이 안정적이고 신뢰할 수 있으며, 생산 공정이 엄격하고 완벽합니다.

이 제품 시리즈는 고급 DSP 제어 시스템을 채택하여 코팅 공정의 반복성을 완벽하게 보장하고 타겟 아크 방전을 억제하고 단락을 방지하는 기능을 갖추고 있습니다.

이 제품 시리즈는 뛰어난 로드 매칭 기능을 갖추고 있어 대상 표면 청소 공정의 안정성을 보장할 뿐만 아니라 대상 표면 청소 속도도 향상시킵니다.

주요 매개변수는 광범위한 범위에서 지속적으로 조정될 수 있습니다.

유지보수가 쉽고 신뢰성이 높습니다.

PLC 인터페이스 및 RS485 인터페이스 확장 기능으로 자동 제어가 용이합니다.

기술적인 매개변수:

모델

힘   (W)

일하고 있는   전압(V)

최고   피크 전류(A)

Dimensions

냉각   방법

MS-10A

400W

-40~+40

-10~+10

482*175*550

(WHD)[4U]

공기   냉각

MS-20A

800W

-40~+40

-20~+20

MS-30A

1200W

-40~+40

-30~+30


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Zhengzhou Tainuo Thin Film Materials Co., Ltd.
실험실 과학 기기 생산 전문 제조업체입니다.당사의 제품은 대학, 연구 기관 및 실험실에서 널리 사용됩니다.

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