마그네트론 스퍼터링용 BP 시리즈 펄스 바이어스 전원 공급 장치

BP 시리즈 펄스 바이어스 전원 공급 장치

주요 특징:

1. 전압 안정화 기능이 있으며 이상적인 전압 급강하 특성을 가지고 있어 공작물 표면의 발화를 효과적으로 억제하고 도금 부품의 수율, 표면 조도 및 필름 접착력을 크게 향상시킵니다.

2. Duty비를 적절하게 조절함으로써 성막 속도 및 온도를 향상 및 제어할 수 있으며, 필름 접착력을 높이고 증착 속도를 높일 수 있습니다.

3. 고압과 저압의 두 가지 파일로 구분됩니다.고압은 글로우 클리닝 및 이온 충격에 적합합니다.낮은 압력은 코팅 중 이온 가속에 적합합니다.

4. 주파수 40kHz, 듀티 사이클 20%~80%.

5. 선택적인 수동 제어/아날로그 인터페이스 제어, 선택적인 RS485 통신 인터페이스.

고급 PWM 펄스 폭 변조 기술을 사용하고 가져온 IGBT 또는 MOSFET을 전원 스위칭 장치로 사용하여 크기가 작고 무게가 가벼우며 기능이 풍부하고 성능이 안정적이고 신뢰할 수 있으며 생산 공정이 엄격하고 완벽합니다.

이 제품 시리즈는 고급 DSP 제어 시스템을 사용하여 코팅 공정의 반복성을 완벽하게 보장하고 타겟 아크 방전을 억제하고 단락을 방지하는 기능을 갖추고 있습니다.

이 제품 시리즈는 뛰어난 로드 매칭 기능을 갖추고 있어 대상 표면 청소 공정의 안정성을 보장할 뿐만 아니라 대상 표면 청소 속도도 향상시킵니다.

주요 매개변수는 광범위한 범위에서 지속적으로 조정될 수 있습니다.

유지보수가 쉽고 신뢰성이 높습니다.

PLC 인터페이스 및 RS485 인터페이스 확장 기능으로 자동 제어가 용이합니다.

기술적인 매개변수: