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MSB 중파 마그네트론 스퍼터링 진공 코팅 전원 공급 장치

불균형 마그네트론 스퍼터링 코팅 및 트윈 타겟 중주파 마그네트론 스퍼터링 코팅, 플라즈마 강화 화학 기상 증착(PECVD) 등
가용성 상태:
수량:
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  • TN

MSB 중주파 마그네트론 스퍼터링 진공 코팅 전원 공급 장치

주요 특징:

1. 고급 전류 모드 스위칭 전원 공급 장치 기술을 사용하여 출력 에너지 저장 구성 요소를 줄입니다.동시에 스파크 억제 및 재시작 속도가 향상되며 알루미늄 타겟 코팅의 장점이 더욱 분명해집니다.

2. 정전류/정전력 모드에서 사용 가능합니다.정전력 모드는 기존 정전류 모드에 비해 코팅 공정의 반복성을 보장합니다.

3. 이상적인 전압 급강하 특성을 가지며 의사 점화 현상을 자동으로 인식하고 마그네트론 스퍼터링 공정의 연속성을 완벽하게 충족합니다.

4. 주요 매개 변수는 넓은 범위에서 조정될 수 있습니다

5. 선택적인 수동 제어/아날로그 인터페이스 제어, 선택적인 RS485 통신 인터페이스.

수입된 IGBT 또는 MOSFET을 전원 스위칭 장치로 사용하는 고급 PWM 펄스 폭 변조 기술을 사용하여 크기가 작고, 무게가 가벼우며, 기능이 풍부하고, 성능이 안정적이고 신뢰할 수 있으며, 생산 공정이 엄격하고 완벽합니다.

이 제품 시리즈는 고급 DSP 제어 시스템을 사용하여 코팅 공정의 반복성을 완벽하게 보장하고 타겟 아크 방전을 억제하고 단락을 방지하는 기능을 갖추고 있습니다.

이 시리즈 제품은 로드 매칭 기능을 갖추고 있어 대상 표면 청소 공정의 안정성을 보장할 뿐만 아니라 대상 표면 청소 속도도 향상시킵니다.

주요 매개변수는 광범위한 범위에서 지속적으로 조정될 수 있습니다.

유지보수가 쉽고 신뢰성이 높습니다.

PLC 인터페이스 및 RS485 인터페이스 확장 기능으로 자동 제어가 용이합니다.

기술적인 매개변수:

모델

힘   (kW)

맥스   작업 전류(A)

Dimensions

냉각   방법

무부하   전압(V)

일하고 있는   전압(V)

MSB-10k

10

12.5

1   단위

공기 냉각

1000

150~800V

MSB-20k

20

25

1   단위

MSB-30k

30

37.5

2   단위

MSB-40k

40

50

2   단위

MSB-20k

20

25

1   단위

공기 냉각 및   수냉

1000

150~800V

MSB-30k

30

37.5

1   단위

MSB-40k

40

50

1   단위

MSB-60k

60

75

2   단위

MSB-80k

80

100

2   단위

MSB-100k

100

125

3   단위

MSB-120k

120

150

3   단위


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아래: 
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실험실 과학 기기 생산 전문 제조업체입니다.당사의 제품은 대학, 연구 기관 및 실험실에서 널리 사용됩니다.

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